牙叉式基板输送装置及基板输送方法制造方法及图纸

本发明专利技术是有关一种牙叉式基板输送装置及基板输送方法，牙叉式基板输送装置包括一第一输送层、一第二输送层、一第一牙叉式传送模组及一第二牙叉式传送模组。基板于该第一输送层沿一第一方向输送。第二输送层与该第一传送层具有一间距，该基板于该第二输送层沿该第一方向的相反方向传送。第一牙叉式传送模组承载该基板且在对应于该第一输送层的一第一位置与对应于该第二输送层的一第二位置间移动。第二牙叉式传送模组设置于该第二输送层，且可移动至与位于该第二位置的该第一牙叉式传送模组错位重叠，且将该基板于该第二传输层沿第一方向的相反方向传送。向的相反方向传送。向的相反方向传送。

【技术实现步骤摘要】
牙叉式基板输送装置及基板输送方法


[0001]本专利技术是有关于一种基板传送装置及方法，特别是有关于一种在上下两个传送层间传送基板的牙叉式基板输送装置及基板输送方法。

技术介绍

[0002]一般来说，常见的基板运输装置，通常是由输送线将基板传送至由许多输送滚轮组成的输送结构，再由设置于输送结构附近的机械手臂将基板移至指定位置，或是由机械手臂截取基板后，将基板提送至另一组传输结构，而机械手臂虽然能将基板横向或上下移动，但有介于机械手臂需要一步一步的进行动作，并且对于移动基板时的大小也有所限制，局限住了基板传输时的大小，并且在机械手臂移动时需花费过多不必要的等待时间，进而连带影响了基板传输时的效率。
[0003]因此如何提供一种更能缩短运送时间，同时能解决基板在搬运过程中无法有效的在短时间内运送至定位，并且同时能无大小限制的运送基板至定位，是目前仍需克服技术以及解决的课题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种牙叉式基板输送装置及基板输送方法，借由两个牙叉式传送模组彼此错位重叠而达到基板水平传送的作用。
[0005]在本专利技术的次一目的在于提供一种牙叉式基板输送装置及基板输送方法，使其能借由控制模组控制旋转驱动件自转、并同时控制第二驱动件使二侧的第三基座同时进行水平分离，接续再控制第一驱动组件垂直下降，借此达到旋转、水平移动的同时作动，以节省基板输送时间，能有效缩短基板输送时程的优势。
[0006]在本专利技术的另一目的在于提供一种牙叉式基板输送装置及基板输送方法，使其能借由控制模组控制旋转驱动件自转、并同时控制第二驱动件使二侧的第三基座同时进行水平分离，以及同时控制第一驱动组件垂直下降而同步控制，借此达到旋转、水平移动与垂直移动的同时作动，以节省近三成的输送时间，能有效缩短基板输送时程的优势。
[0007]本专利技术的牙叉式基板输送装置的一实施例包括一第一输送层、一第二输送层、一第一牙叉式传送模组及一第二牙叉式传送模组。基板于该第一输送层沿一第一方向输送。第二输送层与该第一传送层具有一间距，该基板于该第二输送层沿该第一方向的相反方向传送。第一牙叉式传送模组承载该基板且在对应于该第一输送层的一第一位置与对应于该第二输送层的一第二位置间移动。第二牙叉式传送模组设置于该第二输送层，且可移动至与位于该第二位置的该第一牙叉式传送模组错位重叠，且将该基板于该第二传输层沿第一方向的相反方向传送。
[0008]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一牙叉式传送模组包括一第一驱动组件以及一第一牙叉式组件，该第一驱动组件驱动该第一牙叉式组件在该第一输送层与该第二输送层之间移动。
[0009]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一驱动组件包括一第一基座、一第一驱动件以及一第一导引件，该第一驱动件及该第一导引件设置于该第一基座，该第一牙叉式组件连接于该第一驱动件，该第一驱动件驱动该第一牙叉式组件由该第一导引件导引于该第一基座上移动。
[0010]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一驱动件包括一第一伺服马达以及一第一导螺杆，该第一牙叉式组件可移动地设置于该第一导螺杆，该第一伺服马达转动该第一导螺杆，使该第一牙叉式组件沿该第一导螺杆移动。
[0011]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一牙叉式组件包括一第二基座、一第二导引件、一第二驱动件以及一对第一牙叉式承载臂，该第二驱动件及该第二导引件设置于该第二基座，该第二驱动件驱动该对第一牙叉式承载臂沿该第二导引件相对移动。
[0012]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二驱动件包括一第二伺服马达以及一对第二导螺杆，该对第一牙叉式承载臂是设置于该对第二导螺杆，该第二伺服马达转动该对第二导螺杆，使该对第一牙叉式承载臂彼此相对移动。
[0013]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一牙叉式组件更包括一对第三基座以及一对旋转驱动件，该对第三基座可移动地设置于该对第二导螺杆，该对第一牙叉式承载臂分别可旋转地设置于该对第三基座，该对旋转驱动件驱动该对第一牙叉式承载臂转动。
[0014]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该旋转驱动件包括一第三伺服马达以及一传动齿轮组，该第三伺服马达的扭力经由该传动齿轮组传送至该对第一牙叉式承载臂，使该对第一牙叉式承载臂旋转。
[0015]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二牙叉式传送模组包括一第二驱动组件及一第二牙叉式组件，该第二驱动组件驱动该第二牙叉式组件在该第二输送层移动。
[0016]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二驱动组件包括一第四基座、一第三驱动件以及一第三导引件，该第四基座是沿该第二输送层延伸设置，该第三导引件及该第三驱动件设置于该第四基座，该第三驱动件驱动该对第二牙叉式组件由该第三导引件导引于该第四基座上沿该第一方向移动。
[0017]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第三驱动件包括一第四伺服马达以及一第三导螺杆，该第二牙叉式组件设置于该第三导螺杆，该第四伺服马达转动该第三导螺杆，使该第二牙叉式组件沿该第三导螺杆移动。
[0018]如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二牙叉式组件包括一第五基座以及一第二牙叉式承载臂，该第二牙叉式承载臂设置于该第五基座，该第五基座由该第三驱动件驱动于该第四基座上移动。
[0019]本专利技术的基板输送方法的一实施例包括下列步骤：一基板于一第一传送层沿一第一方向传送；以上述第一牙叉式传送模组将该基板从该第一传送层传送至一第二传送层；使上述第二牙叉式传送模组在该第二传送层移动至与该第一牙叉式传送模组错位重叠；使该第一牙叉式传送模组从该第二传送层移动至该第一传送层，而且该基板由该第二牙叉式传送模组承载；使承载该基板的该第二牙叉式传送模组于该第二传送层沿与该第一方向相反的方向传送。
[0020]如上所述的基板输送方法，其中步骤S2至步骤S3之间更包含以下步骤：步骤S21：一基板于一第一输送层的一第一位置就定位，一第一牙叉式传送模组位于该第一输送层的
第一位置下方待命；步骤S22：该第一牙叉式传送模组借由一第一驱动组件由底部向上升起，并与第一输送层交叉定位以承载该基板；步骤S23：该第一牙叉式传送模组承载该基板向上升起至顶部后，与第二输送层水平定位；步骤S24：第二输送层位移进入至该基板下方，并与该第一牙叉式传送模组以交错方式定位，该第二输送层承载该基板后，以水平方向位移带开该基板；步骤S25：该第一牙叉式传送模组借由一旋转驱动件枢转，并同时由第二驱动组件向外移开；步骤S26：该第一牙叉式传送模组再直接下降至该第一位置；步骤S27：该第一牙叉式传送模组再借由该旋转驱动件枢转，以使该第一牙叉式传送模组与该第一驱动组件垂直；步骤S28：进入待机状态，待该基板被输送到该第一输送层就定位，重复步骤S21至步骤S27。
[0021]如上所述的基板输送方法，其中该步骤S25与步骤S26同步进行，借以同时将该第一牙叉式传送模组进行枢转、水平移动及垂直移动。
[0022]在本专利技术的牙叉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种牙叉式基板输送装置，其特征在于，至少包括：一第一输送层(10)，一基板(S)于该第一输送层(10)沿一第一方向(L1)输送；一第二输送层(20)，其与该第一输送层(10)具有一间距，该基板(S)于该第二输送层(20)沿该第一方向(L1)的相反方向传送；一第一牙叉式传送模组(30)，承载该基板(S)且在对应于该第一输送层(10)的一第一位置与对应于该第二输送层(20)的一第二位置间移动；一第二牙叉式传送模组(40)，设置于该第二输送层(20)，且可移动至与位于该第二位置的该第一牙叉式传送模组(30)错位重叠，且将该基板(S)于该第二输送层(20)沿该第一方向(L1)的相反方向传送。2.如权利要求1所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一牙叉式传送模组(30)包括一第一驱动组件(31)以及一第一牙叉式组件(32)，该第一驱动组件(31)驱动该第一牙叉式组件(32)在该第一输送层(10)与该第二输送层(20)之间移动。3.如权利要求2所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一驱动组件(31)包括一第一基座(311)、一第一驱动件(312)以及一第一导引件(313)，该第一驱动件(312)及该第一导引件(313)设置于该第一基座(311)，该第一牙叉式组件(32)连接于该第一驱动件(312)，该第一驱动件(312)驱动该第一牙叉式组件(32)由该第一导引件(313)导引于该第一基座(311)上移动。4.如权利要求3所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一驱动件(312)包括一第一伺服马达(3121)以及一第一导螺杆(3122)，该第一牙叉式组件(32)可移动地设置于该第一导螺杆(3122)，该第一伺服马达(3121)转动该第一导螺杆(3122)，使该第一牙叉式组件(32)沿该第一导螺杆(3122)移动。5.如权利要求2至4任一项所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一牙叉式组件(32)包括一第二基座(321)、一第二导引件(322)、一第二驱动件(323)以及一对第一牙叉式承载臂(324)，该第二驱动件(323)及该第二导引件(322)设置于该第二基座(321)，该第二驱动件(323)驱动该对第一牙叉式承载臂(324)沿该第二导引件(322)相对移动。6.如权利要求5所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二驱动件(323)包括一第二伺服马达(3231)以及一对第二导螺杆(3232)，该对第一牙叉式承载臂(324)是设置于该对第二导螺杆(3232)，该第二伺服马达(3231)转动该对第二导螺杆(3232)，使该对第一牙叉式承载臂(324)彼此相对移动。7.如权利要求6所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一牙叉式组件(32)更包括一对第三基座(325)以及一对旋转驱动件(326)，该对第三基座(325)可移动地设置于该对第二导螺杆(3232)，该对第一牙叉式承载臂(324)分别可旋转地设置于该对第三基座(325)，该对旋转驱动件(326)驱动该对第一牙叉式承载臂(324)转动。8.如权利要求7所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该旋转驱动件(326)包括一第三伺服马达(3261)以及一传动齿轮组，该第三伺服马达(3261)的扭力经由该传动齿轮组传送至该对第一牙叉式承载臂(324)，使该对第一牙叉式承载臂(324)旋转。9.如权利要求1所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二牙叉式传送模组(40)包括一第二驱动组件(41)及一第二牙叉式组件(42)，该第二驱动组件(41)驱动该第二牙叉式组件(42)在该第二输送层(20)移动。
10.如权利要求9所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二驱动组件(41)包括一第四基座(411)、一第三驱动件(412)以及一第三导引件(413)，该第四基座(411)是沿该第二输送层(20)延伸设置，该第三导引件(413)及该第三驱动件(412)设置于该第四基座(411)，该第三驱动件(412)驱动该对第二牙叉式组件(42)由该第三导引件(413)导引于该第四基座(411)上沿该第一方向(L1)移动。11.如权利要求10所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第三驱动件(412)包括一第四伺服马达(4121)以及一第三导螺杆(4122)，该第二牙叉式组件(42)设置于该第三导螺杆(4122)，该第四伺服马达(4121)转动该第三导螺杆(4122)，使该第二牙叉式组件(42)沿该第三导螺杆(4122)移动。12.如权利要求9所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二牙叉式组件(42)包括一第五基座(421)以及一第二牙叉式承载臂(422)，该第二牙叉式承载臂(422)设置于该第五基座(421)，该第五基座(421)由该第三驱动件(412)驱动于该第四基座(411)上移动。13.一种基板输送方法，是适用于如权利要求1至12任一项所述的牙叉式基板输送装置(1)，其特征在于，至少包括下列步骤：步骤S1：一基板(S)于一第一输送层(10)沿一第一方向(L1)传送；步骤S2：以一第一牙叉式传送模组(30)将该基板(S)从该第一输送层(10)传送至一第二输送层(20)；步骤S3：一第二牙叉式传送模组(40)在该第二输送层(20)移动至与该第一牙叉式传送模组(30)错位重叠；步骤S4：使该第一牙叉式传送模组(30)从该第二输送层(20)移动至该第一输送层(10)，而且该基板(S)由该第二牙叉式传送模组(40)承载；步骤S5：使承载该基板(S)的该第二牙叉式传送模组(40)于该第二输送层(20)沿与该第一方向(L1)相反的方向传送。14.如权利要求13所述的基板输送方法，其特征在于，步骤S2至步骤S3之间更包含以下步骤：步骤S21：一基板(S)于一第一输送层(10)的一第一位置就...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄建凯，陈传宜，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：