压电驱动器阵列的制造方法和压电驱动器阵列技术

一种压电驱动器阵列的制造方法和压电驱动器阵列，属于压电驱动器领域，该方法包括：叠压基座层、多层压电功能层和保护层，对基座层、压电功能层和保护层进行排胶烧结，切割掉内电极所在的目标空间范围外的压电功能层和保护层，通过电极端对排胶烧结后的多个压电驱动器单元进行极化，得到由基座层、多个压电驱动器单元和保护层组成的压电驱动器阵列。在制造压电驱动器阵列的过程中，阵列中的多个压电驱动器单元同时制造，多个压电驱动器单元在制造过程中的工艺参数始终保持一致，可以使多个压电驱动器单元的性能参数保持一致，从而可以提高多个压电驱动器单元的一致性。多个压电驱动器单元的一致性。多个压电驱动器单元的一致性。

【技术实现步骤摘要】
压电驱动器阵列的制造方法和压电驱动器阵列


[0001]本申请属于压电驱动器领域，尤其涉及一种压电驱动器阵列的制造方法和压电驱动器阵列。

技术介绍

[0002]压电驱动器是利用逆压电效应，通过电场控制压电体的机械变形，从而产生直线运动的一类元件，广泛应用于航空技术、测量技术、精密加工、医学器械等领域。
[0003]通过多个压电驱动器单元组装成的压电驱动器阵列可以应用在不同的
，例如在自适应光学领域，压电驱动器阵列可以制造变形镜，变形镜可以实现激光通信等领域的精密成像、聚焦等功能。压电驱动器阵列中的多个压电驱动器单元需要保持一致，通过多个压电驱动器单元组装而成的压电驱动器阵列很难保证多个压电驱动器单元之间的一致性。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种压电驱动器阵列的制造方法和压电驱动器阵列，旨在解决压电驱动器阵列中多个压电驱动器单元之间的一致性问题。
[0005]本申请实施例的第一方面提了一种压电驱动器阵列的制造方法，包括：
[0006]叠压基座层、多层压电功能层和保护层，所述压电功能层位于所述基座层和所述保护层之间，目标压电功能层的表面印刷有内电极阵列，多个所述目标压电功能层在所述多层压电功能层中间隔设置，同一阵列位置对应的多个所述内电极构成一个叉指式内电极；
[0007]对所述基座层、所述压电功能层和所述保护层进行排胶烧结；
[0008]切割掉所述内电极所在的目标空间范围外的压电功能层和保护层，所述目标空间范围内的压电功能层、内电极和保护层构成一个压电驱动器单元，所述内电极的两个电极端在切割后分别从所述压电驱动器单元的两侧引出；
[0009]通过所述电极端对排胶烧结后的多个所述压电驱动器单元进行极化，得到由所述基座层、多个所述压电驱动器单元和所述保护层组成的压电驱动器阵列。
[0010]本申请实施例的第二方面提了一种压电驱动器阵列，包括：基座层和多个压电驱动器单元，所述压电驱动器单元的活动端设置有保护层；
[0011]所述多个压电驱动器单元阵列排布，所述多个压电驱动器单元的固定端与所述基座层连接；
[0012]所述压电驱动器单元、所述基座层和所述保护层一体成型。
[0013]本申请实施例的第三方面提了一种变形镜，包括如第二方面所述的压电驱动器阵列。
[0014]本专利技术实施例与现有技术相比存在的有益效果是：叠压基座层、多层压电功能层和保护层，对基座层、压电功能层和保护层进行排胶烧结，切割掉内电极所在的目标空间范
围外的压电功能层和保护层，通过电极端对排胶烧结后的多个压电驱动器单元进行极化，得到由基座层、多个压电驱动器单元和保护层组成的压电驱动器阵列。在制造压电驱动器阵列的过程中，阵列中的多个压电驱动器单元同时制造，多个压电驱动器单元在制造过程中的工艺参数始终保持一致，可以使多个压电驱动器单元的性能参数保持一致，从而可以提高多个压电驱动器单元的一致性。
附图说明
[0015]图1示出了本申请实施例提供的一种压电驱动器阵列的制造方法的步骤流程图；
[0016]图2示出了本申请实施例提供的一种电极网版的示意图；
[0017]图3示出了本申请实施例提供的一种目标空间范围的剖视图；
[0018]图4示出了本申请实施例提供的一种压电驱动器阵列的结构示意图；
[0019]图5示出了本申请实施例提供的另一种压电驱动器阵列的制造方法的步骤流程图；
[0020]图6示出了图2中区域A的局部放大图；
[0021]图7示出了本申请实施例提供的一种压电驱动器阵列俯视图；
[0022]图8示出了本申请实施例提供的另一种压电驱动器阵列的结构示意图；
[0023]图9示出了本申请实施例提供的一种压电驱动器单元的保护示意图。
具体实施方式
[0024]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0025]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0026]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定
[0028]图1示出了本申请实施例提供的一种压电驱动器阵列的制造方法的步骤流程图，该方法可以包括如下步骤：
[0029]步骤101、叠压基座层、多层压电功能层和保护层。
[0030]其中，压电功能层位于基座层和保护层之间，目标压电功能层的表面印刷有内电极阵列，多个目标压电功能层在多层压电功能层中间隔设置，同一阵列位置对应的多个内电极构成一个叉指式内电极。基座层用于承载整个压电驱动器阵列，并作为压电驱动器单
元的固定端，保护层位于压电驱动器单元远离基座层的一端，作为压电驱动器单元的活动端，对压电驱动器单元远离基座层的一端进行保护。
[0031]示例性地，基座层、压电驱动器单元和保护层可以使用相同的压电材料制成，压电材料例如生瓷片，生瓷片由生瓷带切割而成，生瓷带由压电陶瓷浆料经流延工艺得到。当基座层、压电驱动器单元和保护层使用相同的压电材料制成时，在制造压电驱动器阵列之前，首先需要准备三部分压电材料，第一部分压电材料用于制造基座层，第二部分压电材料用于制造位于基座层和保护层之间的压电驱动器单元，第三部分压电材料用于制造保护层。可以在第二部分压电材料中的部分压电材料的表面印刷内电极阵列，第二部分压电材料中的内电极用于构成压电驱动器阵列中每个压电驱动器单元的叉指式内电极。以生瓷片为例，首先可以根据压电驱动器阵列的尺寸规格、生瓷片的厚度和压电驱动器单元的尺寸，确定第一部分生瓷片的片数X，确定第二部分生瓷片的片数Y，以及确定第三部分生瓷片的片数Z。针对第二部分生瓷片，根据压电驱动器单元中相邻的两个内电极之间的厚度，确定需要印刷内电极阵列的生瓷片，该部分生瓷片即目标压电功能层，在目标压电功能层的表面印刷内电极阵列。X、Y和Z为正整数，第一部分生瓷片、第二部分生瓷片和第三部分生瓷片的尺寸相同，均为矩形生瓷片，以制造矩形的基座层，以及位于基座层上的压电驱动器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电驱动器阵列的制造方法，其特征在于，包括：叠压基座层、多层压电功能层和保护层，所述压电功能层位于所述基座层和所述保护层之间，目标压电功能层的表面印刷有内电极阵列，多个所述目标压电功能层在所述多层压电功能层中间隔设置，同一阵列位置对应的多个所述内电极构成一个叉指式内电极；对所述基座层、所述压电功能层和所述保护层进行排胶烧结；切割掉所述内电极所在的目标空间范围外的压电功能层和保护层，所述目标空间范围内的压电功能层、内电极和保护层构成一个压电驱动器单元，所述内电极的两个电极端在切割后分别从所述压电驱动器单元的两侧引出；通过所述电极端对排胶烧结后的多个所述压电驱动器单元进行极化，得到由所述基座层、多个所述压电驱动器单元和所述保护层组成的压电驱动器阵列。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述叠压基座层、多层压电功能层和保护层之前，所述方法还包括：在所述压电功能层的目标区域内打孔形成至少一个填充孔，所述目标区域对应所述压电驱动器单元的非活性区；在所述填充孔内填充导电体，同一位置的所述导电体组成连接柱，以连接所述连接柱所在的非活性区内的内电极。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在所述电极端所在的电极侧设置第一连接件，所述第一连接件连接所述电极侧引出的多个所述电极端。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：在具有相对电极侧的两列所述压电驱动器单元之间的基座层表面上设置第二连接件，所述第二连接件连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：张婷，肖倩，刘季超，徐鹏飞，张少峰，唐勇，
申请(专利权)人：深圳振华富电子有限公司，
类型：发明
国别省市：