一种旋转靶材管口保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种旋转靶材管口保护装置，包括环套和环盖，所述环套紧固套接于靶材的管口，所述环盖紧固连接于环套外，所述环套包括固定环，所述固定环的内壁上设有紧固环，所述固定环的上端设有多个固定爪，多个所述固定爪沿着固定环的上壁围成一圈，所述固定爪的外壁上设有外螺纹，所述固定爪的内壁上设有防滑橡胶，位于所述防滑橡胶上方的固定爪上设有凸块，所述凸块的侧壁上设有卡口，多个所述卡口之间卡接有盖板；本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，通过设置的环套和环盖能够将靶材的管口进行包裹，从而实现对靶材管口的保护。从而实现对靶材管口的保护。从而实现对靶材管口的保护。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材管口保护装置


[0001]本技术涉及靶材
，具体为一种旋转靶材管口保护装置。

技术介绍

[0002]在靶材运输过程中，靶材管口部分容易发生磕碰，导致管口的损坏，则无法继续正常使用，需要返厂维修，耗时耗力；另外，溅射设备常常需要在无尘车间内进行运作，在不设保护的情况下，管内容易积聚灰尘，污染车间，影响溅射工作的顺利进行，而且旋转靶材的管内难以清洁，所以在管口位置设置阻挡结构尤为重要。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种旋转靶材管口保护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种旋转靶材管口保护装置，包括环套和环盖，所述环套紧固套接于靶材的管口，所述环盖紧固连接于环套外，所述环套包括固定环，所述固定环的内壁上设有紧固环，所述固定环的上端设有多个固定爪，多个所述固定爪沿着固定环的上壁围成一圈，所述固定爪的外壁上设有外螺纹，所述固定爪的内壁上设有防滑橡胶，位于所述防滑橡胶上方的固定爪上设有凸块，所述凸块的侧壁上设有卡口，多个所述卡口之间卡接有盖板。
[0005]优选的，所述环盖内侧壁设有内螺纹，所述内螺纹与固定爪上的外螺纹相互咬合，所述环盖的上端内壁上设有限位环。
[0006]优选的，所述盖板的直径大小与靶材管口的直径大小相匹配。
[0007]优选的，所述固定爪由具有弹性的塑料制成。
[0008]优选的，所述紧固环由具有弹性的橡胶制成。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，通过设置的环套和环盖能够将靶材的管口进行包裹，从而实现对靶材管口的保护；其中特设的紧固环和防滑橡胶能够与靶材管口的管壁紧密贴合，橡胶材质不仅能够保护管口，同时防滑橡胶可起到防滑作用，确保保护装置不会从管口脱落；特设的盖板能够将管口封住，从而防止灰尘进入。
附图说明
[0010]图1为本技术整体结构示意图；
[0011]图2为本技术环套剖面结构示意图；
[0012]图3为本技术固定爪结构示意图；
[0013]图4为本技术环盖结构示意图。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种旋转靶材管口保护装置，包括环套1和环盖2，将环套1紧固套接于靶材的管口，此时位于所述环套1下方的固定环11紧紧套在管口上，所述固定环11的内壁上设置的紧固环12与管口的管壁紧紧相贴合，此时所述固定环11的上端设置的多个固定爪13，沿着固定环11的上壁围成一圈，通过多个所述固定爪13将管口外壁进行包围，再在所述固定爪13的内壁上设置防滑橡胶14，使防滑橡胶与管口外壁紧贴，从而将环套紧固于管口处；
[0016]通过在位于所述防滑橡胶14上方的固定爪上设有凸块132，并在所述凸块132的侧壁上开设卡口133，利用多个所述卡口133之间相互配合将盖板3卡接在管口的开口处，由于所述盖板3的直径大小与靶材管口的直径大小相匹配，因此通过盖板挡住管口的开口处，就能防止灰尘进入靶材内部；
[0017]另外，在所述固定爪13的外壁上设置外螺纹131，在所述环盖2内侧壁设有内螺纹21，然后把所述环盖2紧固连接于环套1外，这样所述内螺纹21与固定爪13上的外螺纹131相互拧紧后就会咬合，此时所述环盖2的上端内壁上设置的限位环22与凸块紧贴，这样就能通过环盖将环套进一步固定于管口上，继而保护了靶材管口。
[0018]本实施例中，所述固定爪13由具有弹性的塑料制成，所述紧固环12由具有弹性的橡胶制成，不仅方便环套进行套接，而且橡胶材质还不伤管口。
[0019]综上所述，本技术结构简单，设计新颖，通过设置的环套和环盖能够将靶材的管口进行包裹，从而实现对靶材管口的保护；其中特设的紧固环和防滑橡胶能够与靶材管口的管壁紧密贴合，橡胶材质不仅能够保护管口，同时防滑橡胶可起到防滑作用，确保保护装置不会从管口脱落；特设的盖板能够将管口封住，从而防止灰尘进入。
[0020]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材管口保护装置，包括环套（1）和环盖（2），所述环套（1）紧固套接于靶材的管口，所述环盖（2）紧固连接于环套（1）外，其特征在于：所述环套（1）包括固定环（11），所述固定环（11）的内壁上设有紧固环（12），所述固定环（11）的上端设有多个固定爪（13），多个所述固定爪（13）沿着固定环（11）的上壁围成一圈，所述固定爪（13）的外壁上设有外螺纹（131），所述固定爪（13）的内壁上设有防滑橡胶（14），位于所述防滑橡胶（14）上方的固定爪上设有凸块（132），所述凸块（132）的侧壁上设有卡口（133），多个所述卡口（133）之间卡接...

【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，
申请(专利权)人：江苏海泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：