本实用新型专利技术公开了一种靶材热处理装置,包括加热箱,所述加热箱上端的两侧设有滑行板,每个所述滑行板上均设有滑槽,两侧所述滑槽相对设置,每个所述滑行板的两端还设有限位孔;所述加热箱的内壁设有一层气凝胶隔热棉,所述加热箱的内部设有多个加热机构,每两个所述加热机构之间形成一个靶材放置区;所述加热机构包括壳体,所述壳体内设有多个电加热棒,所述壳体内填充有铁砂;本实用新型专利技术结构简单,设计新颖,通过在加热机构内填充铁砂并对其进行加热,加热后铁砂作为热处理的媒介,能够快速且均匀的进行导热,从而使加热机构之间的靶材受热更加均匀且平稳,使热处理的后的微观晶粒更加均匀,有利于提高热处理的品质。有利于提高热处理的品质。有利于提高热处理的品质。
【技术实现步骤摘要】
一种靶材热处理装置
[0001]本技术涉及热处理
,具体为一种靶材热处理装置。
技术介绍
[0002]热处理是金属靶材加工过程中不可或缺的工艺,主要通过施加不同的热处理温度、保温时间和加热方式,来实现材料的再结晶,使得金属靶材的组织均匀;但是现有的热处理装置导热性能差,导热不均匀,使得靶材升温和接收热量不够平稳,容易导致在靶材热处理后的晶粒不均匀,影响靶材的品质。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种靶材热处理装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种靶材热处理装置,包括加热箱,所述加热箱上端的两侧设有滑行板,每个所述滑行板上均设有滑槽,两侧所述滑槽相对设置,每个所述滑行板的两端还设有限位孔;
[0005]所述加热箱的内壁设有一层气凝胶隔热棉,所述加热箱的内部设有多个加热机构,每两个所述加热机构之间形成一个靶材放置区;
[0006]所述加热机构包括壳体,所述壳体内设有多个电加热棒,所述壳体内填充有铁砂。
[0007]优选的,两侧所述滑行板之间设有两个滑动门,每个所述滑动门的两侧侧壁均设有滑块,两侧所述滑块分别嵌于对应的滑槽内,每个所述滑动门的两侧端部均设有限位杆,两侧所述限位杆分别嵌于相对应的限位孔内,两个所述滑动门相互对应的一侧设有密封条,每个所述滑动门上还设有把手。
[0008]优选的,所述壳体采用氧化铝陶瓷板制成。
[0009]优选的,所述电加热棒通过导线连接着加热器,所述加热器设置在加热箱底部。
[0010]优选的,其中一个所述滑动门上设有温度计。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术结构简单,设计新颖,通过在加热机构内填充铁砂并对其进行加热,加热后铁砂作为热处理的媒介,能够快速且均匀的进行导热,从而使加热机构之间的靶材受热更加均匀且平稳,使热处理的后的微观晶粒更加均匀,有利于提高热处理的品质;
[0012]本技术特设的壳体采用氧化铝陶瓷板制成,氧化铝陶瓷有较好的机械强度,还具有优越的传导性,能够进一步的加快热量传递;
[0013]本技术特设的气凝胶隔热棉能够防止加热箱内的热量挥发,起到保温作用。
附图说明
[0014]图1为本技术整体结构正视示意图;
[0015]图2为本技术加热箱内部结构示意图;
[0016]图3为本技术加热机构内部结构示意图;
[0017]图4为本技术整体结构俯视示意图;
[0018]图5为本技术滑行板剖视示意图;
[0019]图6为本技术滑动门结构示意图。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1,本技术提供一种技术方案:一种靶材热处理装置,包括加热箱,所述加热箱1上端的两侧设有滑行板11,每个所述滑行板11上均设有滑槽111,两侧所述滑槽111相对设置,每个所述滑行板11的两端还设有限位孔112;
[0022]通过在所述加热箱1的内壁设置一层气凝胶隔热棉13,来提高保温效果,所述加热箱1的内部设有多个加热机构2,用于对靶材进行热处理,每两个所述加热机构2之间形成一个靶材放置区3,用于放置靶材;
[0023]所述加热机构2包括壳体21,所述壳体21内设有多个电加热棒22,当电加热棒进行加热时,所述壳体21内填充的铁砂23作为热处理的媒介,能够快速且均匀的进行导热,从而使加热机构之间的靶材受热更加均匀且平稳。
[0024]本实施例中,两侧所述滑行板11之间设有两个滑动门12,只要向着两边移动滑动门即可实现开关滑动门,通过在每个所述滑动门12的两侧侧壁均设置滑块121,将两侧所述滑块121分别嵌于对应的滑槽111内,这样滑动门就可以在滑行板之间进行移动,另外在每个所述滑动门12的两侧端部均设置限位杆122,当滑动门滑动关闭时,位于滑动门两侧的限位杆122分别嵌于相对应的滑行板的限位孔112内,进行限位固定,而且两个所述滑动门12相互对应的一侧设置的密封条123,能够将两个滑动门之间的间隙进行密封,每个所述滑动门12上还设有把手124,方便工作人员拉动把手移动滑动门。
[0025]本实施例中,所述壳体21采用氧化铝陶瓷板制成,氧化铝陶瓷有较好的机械强度,还具有优越的传导性,能够进一步的加快热量传递。
[0026]本实施例中,将所述电加热棒22用导线连接加热器221,通过启动加热器,即可带动电加热棒发热,该所述加热器221设置在加热箱1底部。
[0027]本实施例中,其中一个所述滑动门12上设有温度计14,用于实时监测加热箱内部的温度。
[0028]工作原理:先靶材放置到靶材放置区,然后移动两侧的滑动门进行关闭,然后启动加热器使电加热棒发热,从而对填充的铁砂进行加热,加热后铁砂作为热处理的媒介,能够快速且均匀的进行导热,从而使加热机构之间的靶材受热更加均匀且平稳,使热处理的后的微观晶粒更加均匀,有利于提高热处理的品质。
[0029]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种靶材热处理装置,包括加热箱,其特征在于:所述加热箱(1)上端的两侧设有滑行板(11),每个所述滑行板(11)上均设有滑槽(111),两侧所述滑槽(111)相对设置,每个所述滑行板(11)的两端还设有限位孔(112);所述加热箱(1)的内壁设有一层气凝胶隔热棉(13),所述加热箱(1)的内部设有多个加热机构(2),每两个所述加热机构(2)之间形成一个靶材放置区(3);所述加热机构(2)包括壳体(21),所述壳体(21)内设有多个电加热棒(22),所述壳体(21)内填充有铁砂(23)。2.根据权利要求1所述的一种靶材热处理装置,其特征在于:两侧所述滑行板(11)之间设有两个滑动门(12),每个所述滑动门(12)的两侧侧壁均设有滑块(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:常代展,王雷,
申请(专利权)人:江苏海泰新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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