一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置，属于二氯硅烷输送领域，包括有塔釜一和塔釜二，所述塔釜一和塔釜二之间并联有三个缓冲罐，每个缓冲罐均连接着高压气管道和泄压管线，高压气管道连接高压气，泄压管线连接不凝气收集系统；每个缓冲罐连接高压气管道的管路上均有高压进气控制阀，每个缓冲罐连接泄压管线的管路上均设置有泄压阀；通过采用三个缓冲罐以轮流充泄压的代替常规转料泵作为液相输送动力源，规避了转料泵选型难的问题，并能最大程度避免转料过程杂质引入和腐蚀泄漏的风险。漏的风险。漏的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置


[0001]本技术涉及二氯硅烷输送领域，尤其涉及一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置。

技术介绍

[0002]二氯硅烷作为半导体工业重要的外延沉积硅源，在沉积制备微电子器件上的二氧化硅以及氮化硅薄膜上有着显著的应用。随着半导体工业的快速发展，氯代硅烷尤其是二氯硅烷需求和应用不断增长，截止至2021年，全球年需求量已超过2000吨。
[0003]通常二氯硅烷来源于多晶硅制造过程中的副产品，再经过一系列工艺得到高纯半导体级二氯硅烷。纯化方法通常为恒温气化、多级精馏以及吸附等，其中，多级精馏都是各企业必须采用和最核心的提纯工艺。由于二氯硅烷反应活性高、禁水禁氧，且具有极强的腐蚀性，因此，对精馏设备尤其是动设备的密封性能和耐腐蚀性能要求极高。
[0004]实际生产过程中，连续精馏所必须的小流量(流量≤100kg/h）转料设备通常采用泵作为动力源。而当前市场上密封性好且耐腐蚀的转料泵主要为隔膜泵和磁力泵，其中，隔膜泵因其为非线性输出，因此，不利于小流量小高稳定性要求精馏塔进料；而磁力泵相对输出流量更大，无合适的小流量泵。综上所述，针对集成电路用二氯硅烷的连续精馏工艺，其转料的动力源反而成了一大难题。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本技术提供一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置，包括有塔釜一和塔釜二，所述塔釜一和塔釜二之间并联有三个缓冲罐，每个缓冲罐均连接着高压气管道和泄压管线，高压气管道连接高压气，泄压管线连接不凝气收集系统；每个缓冲罐连接高压气管道的管路上均有高压进气控制阀，每个缓冲罐连接泄压管线的管路上均设置有泄压阀；三个缓冲罐轮流切换充泄压实现塔釜一向塔釜二连续进料。
[0006]进一步改进在于，每个所述缓冲罐连接塔釜一的管路上均有进料阀。
[0007]进一步改进在于，每个所述缓冲罐连接塔釜二的管路上均有出料阀。
[0008]进一步改进在于，所述塔釜二连接所有缓冲罐的进料端设置有质量流量计。
[0009]进一步改进在于，每个缓冲罐连接高压气管道的管路上均有压力计。
[0010]进一步改进在于，每个所述缓冲罐通过高压气管道和泄压管线维持较低压力进行接收塔釜一的物料，维持较高压力进行物料出料到塔釜二。
[0011]缓冲罐包括有缓冲罐一，缓冲罐二，缓冲罐三，当物料由一塔塔釜向二塔进料时，首先，物料通过压力差由塔釜一流入缓冲罐一，且缓冲罐一采用自动控制的高压进气控制阀和泄压阀维持较低压力以便于物料接收；此时，已存满塔釜一料缓冲罐二维持较高压力并向二塔进料；缓冲罐三进行泄压并作为备用接收罐。当缓冲罐一接满后，通过进料阀和出料阀切换至缓冲罐三接收物料，同时，缓冲罐一补压至高压备用，直至向二塔进料的缓冲罐二中物料转空时，将缓冲罐一切换为塔釜二进料罐，并将缓冲罐二泄压至适合接收塔釜一
料的较低压力。以上三个缓冲罐轮流切换，最终实现塔釜一向塔釜二连续进料的目的。
[0012]本技术的有益效果：一、本技术通过采用三个缓冲罐以轮流充泄压的代替常规转料泵作为液相输送动力源，规避了转料泵选型难的问题，并能最大程度避免转料过程杂质引入和腐蚀泄漏的风险。
[0013]二、本技术缓冲罐通过连接高压气管道和泄压管线来实现气压的变化，通过高压进气控制阀控制高压进气，通过泄压阀泄压到不凝气收集系统，这样很好的实现对缓冲罐压力的控制。
[0014]三、本技术缓冲罐通过设置进料阀进料，设置出料阀出料，这样进出料可以自动进行控制，配合高压进气控制阀和泄压阀，这样很好的实现对缓冲罐充泄压和进料排料，以实现缓冲罐轮流切换的目的。
[0015]四、本技术还设置有质量流量计来检测塔釜二的进料流量；还设置压力计实时监控进气的压力，从而方便实时调整缓冲罐的压力。
附图说明
[0016]图1是本技术的系统示意图。
[0017]其中：1
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塔釜一，2
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塔釜二，31
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缓冲罐一，32
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缓冲罐二，33
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缓冲罐三，4
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高压气管道，5
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泄压管线，61
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高压进气控制阀一，62
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高压进气控制阀二，63
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高压进气控制阀三，71
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泄压阀一，72
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泄压阀二，73
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泄压阀三，81
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进料阀一，82
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进料阀二，83
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进料阀三，91
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出料阀一，92
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出料阀二，93
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出料阀三，10
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质量流量计，11
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压力计。
具体实施方式
[0018]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术作进一步详述，该实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。
[0019]如图1所示，本实施例提供一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置，包括有塔釜一1和塔釜二2，所述塔釜一1和塔釜二2之间并联有缓冲罐一31、缓冲罐32，缓冲罐三33，每个缓冲罐均连接着高压气管道4和泄压管线5，高压气管道4连接高压气，泄压管线5连接不凝气收集系统；缓冲罐一31连接高压气管道4的管路上有高压进气控制阀一61，缓冲罐二32连接高压气管道4的管路上有高压进气控制阀二62，缓冲罐三33连接高压气管道4的管路上有高压进气控制阀三63；缓冲罐一31连接泄压管线5的管路上设置有泄压阀一71，缓冲罐二32连接泄压管线5的管路上设置有泄压阀二72，缓冲罐三33连接泄压管线5的管路上设置有泄压阀三73；三个缓冲罐轮流切换充泄压实现塔釜一1向塔釜二2连续进料。这样通过采用三个缓冲罐以轮流充泄压的代替常规转料泵作为液相输送动力源，规避了转料泵选型难的问题，并能最大程度避免转料过程杂质引入和腐蚀泄漏的风险。缓冲罐通过连接高压气管道4和泄压管线5来实现气压的变化，通过高压进气控制阀控制高压进气，通过泄压阀泄压到不凝气收集系统，这样很好的实现对缓冲罐压力的控制。
[0020]缓冲罐一31连接塔釜一1的管路上有进料阀一81，缓冲罐二32连接塔釜一1的管路上有进料阀二82，缓冲罐三33连接塔釜一1的管路上有进料阀三83；缓冲罐一31连接塔釜二2的管路上有出料阀一91，缓冲罐二32连接塔釜二2的管路上有出料阀二92，缓冲罐三33连接塔釜二2的管路上有出料阀三93。这样缓冲罐通过设置进料阀进料，设置出料阀出料，这
样进出料可以自动进行控制，配合高压进气控制阀和泄压阀，这样很好的实现对缓冲罐充泄压和进料排料，以实现缓冲罐轮流切换的目的。
[0021]所述塔釜二2连接所有缓冲罐的进料端设置有质量流量计10来检测塔釜二的进料流量；每个缓冲罐连接高压气管道4的管路上均有压力计11实时监控进气的压力，从而方便实时调整缓冲罐的压力。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置，包括有塔釜一（1）和塔釜二（2），其特征在于，所述塔釜一（1）和塔釜二（2）之间并联有三个缓冲罐（3），每个缓冲罐（3）均连接着高压气管道（4）和泄压管线（5），高压气管道（4）连接高压气，泄压管线（5）连接不凝气收集系统；每个缓冲罐（3）连接高压气管道（4）的管路上均有高压进气控制阀（6），每个缓冲罐（3）连接泄压管线（5）的管路上均设置有泄压阀（7）；三个缓冲罐（3）轮流切换充泄压实现塔釜一（1）向塔釜二（2）连续进料。2.如权利要求1所述一种二氯硅烷连续精馏液相输送装置，其特征在于，每个所述缓冲罐（3）连接塔釜一（1）的管路上均有进料阀（8）。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，彭真，孙雪峰，
申请(专利权)人：全椒亚格泰电子新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：