环绕栅晶体管及其制作方法、电子设备技术

技术编号:35332068 阅读:10 留言:0更新日期:2022-10-26 11:50
本申请实施例公开了一种环绕栅晶体管及其制作方法、电子设备,包括:设置在衬底上的沟道、源极、栅极和漏极,该栅极环绕该沟道设置,且该沟道一端与该源极连接,另一端与该漏极连接;设置在漏极和该栅极之间的调制电极,该调制电极包括:环绕该沟道设置的调制电极介质层,以及环绕该调制电极介质层设置的调制电极金属层,其中,该调制电极金属层与该漏极和该栅极分离。由此,该环绕栅晶体管采用GAA环绕栅设计,栅极控制能力更强,栅极和漏极之间设置调制电极,该调制电极上产生耦合电荷,对栅极与漏极之间的能带结构进行调制,增大了载流子隧穿的势垒宽度,可以降低载流子的隧穿几率,降低了环绕栅晶体管关态时的漏电。降低了环绕栅晶体管关态时的漏电。降低了环绕栅晶体管关态时的漏电。降低了环绕栅晶体管关态时的漏电。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘翔宇孙永生刘长泽
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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