本实用新型专利技术公开了一种晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备，晶圆料盒开盖机构包括置物平台、开盖组件及平移组件，开盖组件包括安装基体及取盖件，取盖件能够抓取盒盖，平移组件与置物平台、安装基体中的至少一个连接，平移组件用于带动置物平台与安装基体相互靠近或远离；晶圆上料装置包括晶圆料盒开盖机构；晶圆检测设备包括晶圆上料装置。本实用新型专利技术中，通过开盖组件与平移组件配合开盖，安装基体在平移组件的驱动下相对料盒移动，使取盖件能够接触料盖并将料盖取下，完成料盒开盖，自动化程度高，有利于提高料盒的开盖效率。有利于提高料盒的开盖效率。有利于提高料盒的开盖效率。
【技术实现步骤摘要】
晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备
[0001]本技术涉及晶圆生产及检测
，尤其涉及一种晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备。
技术介绍
[0002]为提高晶圆的上料效率，并且避免晶圆上料过程中受到环境污染，晶圆通常放置于料盒内，通过转运料盒，实现晶圆的批量上料，料盒转运过程中，盒盖保持锁定状态，晶圆上料时，需将盒盖打开，料盒的转运平台空间有限，人工操作受限，人工开盖的效率较低，影响晶圆的上料及检测效率。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种晶圆料盒开盖机构，能够提高晶圆料盒的开盖效率。
[0004]本技术还提出一种具有上述晶圆料盒开盖机构的晶圆上料装置。
[0005]本技术还提出一种具有上述晶圆上料装置的晶圆检测设备。
[0006]根据本技术的第一方面实施例的晶圆料盒开盖机构，用于打开晶圆料盒的盒盖，包括：
[0007]置物平台，用于放置并固定所述晶圆料盒；
[0008]开盖组件，位于所述晶圆料盒设置所述盒盖的一侧，所述开盖组件包括安装基体及取盖件，所述取盖件连接于所述安装基体，并朝向所述盒盖设置，所述取盖件能够抓取所述盒盖；
[0009]平移组件，与所述置物平台、所述安装基体中的至少一个连接，所述平移组件用于带动所述置物平台与所述安装基体相互靠近或远离。
[0010]根据本技术实施例的晶圆料盒开盖机构，至少具有如下有益效果：
[0011]本技术实施例中的晶圆料盒开盖机构，通过开盖组件与平移组件配合开盖，安装基体在平移组件的驱动下相对料盒移动，使取盖件能够接触料盖并将料盖取下，完成料盒开盖，自动化程度高，有利于提高料盒的开盖效率。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述平移组件包括滑动连接的第一滑动体与第一导轨，所述第一导轨沿水平方向设置，所述第一滑动体连接于所述置物平台的底部。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述置物平台包括移动部，所述晶圆料盒开盖机构还包括支撑架，所述移动部位于所述支撑架的上方，所述移动部供所述晶圆料盒放置，所述平移组件位于所述移动部与所述支撑架之间，所述移动部与所述第一滑动体连接。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述置物平台还包括限位钩，所述移动部具有避让孔，所述限位钩设置为，通过所述避让孔，伸出至所述移动部的上方，以钩持所述晶圆料盒，或者退回至所述移动部的下方，对所述晶圆料盒避位。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括避让组件，所述避
让组件包括滑动连接的第二导轨与第二滑动体，所述第二导轨沿竖直方向设置，所述第二滑动体与所述安装基体连接，所述安装基体跟随所述第二滑动体的移动，露出或遮挡所述晶圆料盒。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括机架，所述置物平台固定于机架的上方，所述机架的内部具有容纳腔，所述安装基体能够伸出至所述容纳腔的外部，或者回退至所述容纳腔内。
[0017]根据本技术的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括安装架，所述安装架沿竖直方向设置，所述安装架的两端分别与所述安装基体、所述第二滑动体连接，至少部分的所述第二导轨容置于所述容纳腔内，所述安装架能够跟随所述第二滑动体进出所述容纳腔。
[0018]根据本技术的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括开锁组件，所述开锁组件包括开锁件，所述开锁件转动连接于所述安装基体，并相对于所述安装基体朝向所述盒盖突出设置，所述开锁件能够插入所述盒盖的锁芯并解锁。
[0019]根据本技术的第二方面实施例的晶圆上料装置，包括：
[0020]第一方面实施例的晶圆料盒开盖机构；
[0021]上料组件，位于所述置物平台设置所述盒盖的一侧，所述上料组件向所述晶圆料盒取放晶圆。
[0022]根据本技术的第二方面实施例的晶圆检测设备，包括：
[0023]第二方面实施例的晶圆上料装置；
[0024]检测装置，沿晶圆的转移路径，设置于所述晶圆上料装置的下游，所述检测装置用于检测所述晶圆。
[0025]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0026]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0027]图1为本技术晶圆料盒开盖机构一个实施例的结构示意图；
[0028]图2为图1中安装基体一个实施例的结构示意图；
[0029]图3为图1中置物平台一个实施例的结构示意图；
[0030]图4为图1中避让组件一个实施例的结构示意图。
[0031]附图标记：
[0032]置物平台100，移动部110，避让孔111，限位钩120；开盖组件200，安装基体210，取盖件220；平移组件300，第一导轨310，第一滑动体320；支撑架400；避让组件500，第二导轨510，第二滑动体520；机架600，容纳腔610；安装架700；开锁组件800，开锁件810。
具体实施方式
[0033]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的
限制。
[0034]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0035]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0036]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0037]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[003本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.晶圆料盒开盖机构，用于打开晶圆料盒的盒盖，其特征在于，包括：置物平台，用于放置并固定所述晶圆料盒；开盖组件，位于所述晶圆料盒设置所述盒盖的一侧，所述开盖组件包括安装基体及取盖件，所述取盖件连接于所述安装基体，并朝向所述盒盖设置，所述取盖件能够抓取所述盒盖；平移组件，与所述置物平台、所述安装基体中的至少一个连接，所述平移组件用于带动所述置物平台与所述安装基体相互靠近或远离。2.根据权利要求1所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述平移组件包括滑动连接的第一滑动体与第一导轨，所述第一导轨沿水平方向设置，所述第一滑动体连接于所述置物平台的底部。3.根据权利要求2所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述置物平台包括移动部，所述晶圆料盒开盖机构还包括支撑架，所述移动部位于所述支撑架的上方，所述移动部供所述晶圆料盒放置，所述平移组件位于所述移动部与所述支撑架之间，所述移动部与所述第一滑动体连接。4.根据权利要求3所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述置物平台还包括限位钩，所述移动部具有避让孔，所述限位钩设置为，通过所述避让孔，伸出至所述移动部的上方，以钩持所述晶圆料盒，或者退回至所述移动部的下方，对所述晶圆料盒避位。5.根据权利要求1所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述晶圆料盒开盖机构还包括避让组件，所述避让组件包括滑动连接的第二导轨与第二滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢世敏，陶靖飞，
申请(专利权)人：精芯智能装备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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