石墨热场挡气环及石墨热场制造技术

本实用新型专利技术涉及石墨热场技术领域，具体为石墨热场挡气环，包括第一挡气板，所述第一挡气板的一侧固定连接有第二挡气板，所述第一挡气板的一侧固定连接有固定连接有密封环，所述第一挡气板的一侧开设有密封槽。本实用新型专利技术的优点在于：在进行单晶硅的熔化工作时，首先完成石墨热场的搭建，随后将适量的固体单晶硅放置在石墨坩埚中，并将石墨坩埚放置在加热器上，将热屏罩在加热器外部，将挡气环套在热屏上，并拿起第二个挡气环使其套在热屏上，并将定位柱对准定位孔使其运动进定位孔内部，直至密封环完全运动进密封槽内部，不仅可以对热屏进行固定，而且可以阻挡外界的空气流进石墨坩埚内部，防止因空气的流入造成单晶硅的污染。防止因空气的流入造成单晶硅的污染。防止因空气的流入造成单晶硅的污染。

【技术实现步骤摘要】
石墨热场挡气环及石墨热场


[0001]本技术涉及石墨热场
，特别是石墨热场挡气环及石墨热场。

技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，单晶硅在进行生产时需要使用石墨热场，石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场，石墨热场主要是由坩埚组成，在进行单晶硅的生产制造时需要使用石墨热场对单晶硅进行熔化，石墨热场系统的作用是指为了熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。
[0003]目前的石墨热场在进行工作时，外界的空气经常会通过热屏流进石墨坩埚内部，将会对熔融状态的单晶硅造成污染，进而会降低单晶硅的生产品质，而且挡气环经常会因撞击热屏而碎裂，因此需要一种石墨热场挡气环来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供石墨热场挡气环，有效解决了现有技术的不足。
[0005]本技术的目的通过以下技术方案来实现：石墨热场挡气环，包括第一挡气板，所述第一挡气板的一侧固定连接有第二挡气板，所述第一挡气板的一侧固定连接有固定连接有密封环，所述第一挡气板的一侧开设有密封槽，所述第二挡气板的一侧固定连接有定位柱，所述第二挡气板的一侧开设有定位孔，所述第二挡气板的一侧设置有防撞构件，所述防撞构件包括防撞环，所述防撞环的一侧固定连接有弹簧，所述防撞环的一侧固定连接有限位柱，所述限位柱的一侧滑动连接有限位套。
[0006]可选的，所述第一挡气板的一侧设置有安装槽，所述安装槽的形状与大小和第二挡气板的形状与大小相适配，将石墨热场搭建完成之后，可以将第一挡气环与第二挡气环组装完成，随后将组装完成的挡气环套在热屏上，可以再进行加热时有效的对热屏进行保护和进行挡风，防止因外界气流影响单晶硅的拉晶作业。
[0007]可选的，所述第一挡气板和第二挡气板的材质为石墨，石墨是碳的一种同素异形体，为灰黑色、不透明固体，化学性质稳定，耐腐蚀，同酸、碱等药剂不易发生反应。天然石墨来自石墨矿藏，也可以以石油焦、沥青焦等为原料，经过一系列工序处理而制成人造石墨，由于石墨的高导热性和高耐热性，可以使挡气环能经受住热屏的高温，可以防止挡气板在使用时发生变形。
[0008]可选的，所述定位柱的数量为若干个，若干个所述定位柱圆周阵列在第二挡气板的一侧，所述定位柱的直径大小与定位孔的直径大小相等，在进行单晶硅的熔化工作时，首
先需要完成石墨热场的搭建，随后将适量的固体单晶硅放置在石墨坩埚中，并将石墨坩埚放置在加热器上，随后将热屏罩在加热器外部，最后将挡气环套在热屏上，并拿起第二个挡气环使其套在热屏上，并将定位柱对准定位孔使其运动进定位孔内部，直至密封环完全运动进密封槽内部，不仅可以对热屏进行固定，而且可以阻挡外界的空气流进石墨坩埚内部，防止因空气的流入造成单晶硅的污染。
[0009]可选的，所述密封环的形状与大小和密封槽的形状与大小相适配，在进行挡气环的组装时，首先将第一挡气环与第二挡气环进行拼接，拼接完成之后将进行重叠放置，并使密封环完全运动进密封槽内部，通过密封环可以使挡气环两两之间不存在缝隙，可以极大的提高挡气环的挡气效果。
[0010]可选的，所述弹簧的数量为若干个，若干个所述弹簧圆周阵列在防撞环的一侧。
[0011]可选的，所述限位柱的数量为若干个，若干个所述限位柱圆周阵列在防撞环的一侧，所述限位柱的直径大小与限位套的内径大小相等，当挡气环撞击热屏时，热屏将会对防撞环产生一个冲击力，冲击力将会带动弹簧进行压缩，并使限位柱在限位套内部进行滑动，进而可以将冲击力抵消。
[0012]本申请还提供了一种石墨热场，具有所述的石墨热场挡气环。
[0013]本技术具有以下优点：
[0014]1、该石墨热场挡气环，通过第一挡气板、第二挡气板、密封环、密封槽、定位柱和定位孔之间的配合设置，在进行单晶硅的熔化工作时，首先需要完成石墨热场的搭建，随后将适量的固体单晶硅放置在石墨坩埚中，并将石墨坩埚放置在加热器上，随后将热屏罩在加热器外部，最后将挡气环套在热屏上，并拿起第二个挡气环使其套在热屏上，并将限位柱对准限位孔使其运动进限位孔内部，直至密封环完全运动进密封槽内部，不仅可以对热屏进行固定，而且可以阻挡外界的空气流进石墨坩埚内部，防止因空气的流入造成单晶硅的污染。
[0015]2、该石墨热场挡气环，通过第二挡气板、防撞环、弹簧、限位柱和限位套之间的配合设置，当挡气环撞击热屏时，热屏将会对防撞环产生一个冲击力，冲击力将会带动弹簧进行压缩，并使限位柱在限位套内部进行滑动，进而可以将冲击力抵消，可以防止挡气环因撞击热屏二损坏。
附图说明
[0016]图1为本技术挡气环的第一视角结构示意图；
[0017]图2为本技术挡气环的第二视角结构示意图；
[0018]图3为本技术挡气环的第三视角结构示意图
[0019]图4为本技术挡气环的剖面结构示意图
[0020]图5为本技术挡气环A处的结构示意图。
[0021]图中：1
‑
第一挡气板，2
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第二挡气板，3
‑
密封环，4
‑
密封槽，5
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定位柱， 6
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定位孔，7
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防撞构件，701
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防撞环，702
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弹簧，703
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限位柱，704
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限位套， 8
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安装槽。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术做进一步的描述，但本技术的保护范围不局限于
以下。
[0023]实施例一：
[0024]如图1至图3所示，石墨热场挡气环，包括第一挡气板1，可以使挡气环能经受住热屏的高温，可以防止挡气板在使用时发生变形，第一挡气板1的一侧固定连接有第二挡气板2，可以再进行加热时有效的对热屏进行保护和进行挡风，防止因外界气流影响单晶硅的拉晶作业，第一挡气板1的一侧固定连接有固定连接有密封环3，通过密封环3可以使挡气环两两之间不存在缝隙，可以极大的提高挡气环的挡气效果，第一挡气板1的一侧开设有密封槽4，第二挡气板2的一侧固定连接有定位柱5，第二挡气板2的一侧开设有定位孔6，不仅可以对热屏进行固定，而且可以阻挡外界的空气流进石墨坩埚内部，防止因空气的流入造成单晶硅的污染，第二挡气板2的一侧设置有防撞构件7，防撞构件7包括防撞环701，防撞环701的一侧固定连接有弹簧702，防撞环 701的一侧固定连接有限位柱703，限位柱703的一侧滑动连接有限位套704。
[0025]作为本技术的一种可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.石墨热场挡气环，其特征在于：包括第一挡气板(1)，所述第一挡气板(1)的一侧固定连接有第二挡气板(2)，所述第一挡气板(1)的一侧固定连接有固定连接有密封环(3)，所述第一挡气板(1)的一侧开设有密封槽(4)，所述第二挡气板(2)的一侧固定连接有定位柱(5)，所述第二挡气板(2)的一侧开设有定位孔(6)，所述第二挡气板(2)的一侧设置有防撞构件(7)，所述防撞构件(7)包括防撞环(701)，所述防撞环(701)的一侧固定连接有弹簧(702)，所述防撞环(701)的一侧固定连接有限位柱(703)，所述限位柱(703)的一侧滑动连接有限位套(704)。2.根据权利要求1所述的石墨热场挡气环，其特征在于：所述第一挡气板(1)的一侧设置有安装槽(8)，所述安装槽(8)的形状与大小和第二挡气板(2)的形状与大小相适配。3.根据权利要求1所述的石墨热场挡气环，其特征在于：所述第一挡气板(1)和第二挡气板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷君启，陈文杰，
申请(专利权)人：浙江翔日科技炭素有限公司，
类型：新型
国别省市：