本申请公开一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机，包括：设于蒸镀机外壳上的电机，设于蒸镀机腔体内的镀锅；所述镀锅内设有至少一个镀环结构，所述镀环结构包括多个用于放置晶圆的镀环，多个所述镀环沿水平方向呈直线排列，相邻两个所述镀环之间通过连接杆固定连接，每个所述镀环上设有用于活动夹持所述晶圆的固定件，所述镀锅外部设有与蒸镀机腔体的顶部固定连接的伞架，所述镀锅与所述伞架可拆卸连接；所述电机与所述镀锅之间设有旋转机构，所述旋转机构一端与所述电机的输出轴连接，所述旋转机构的另一端穿过所述伞架后与所述镀环结构固定连接，所述电机用于驱动旋转机构带动所述镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动。镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动。镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动。
【技术实现步骤摘要】
一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机
[0001]本申请实施例涉及半导体加工
，特别涉及一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机。
技术介绍
[0002]蒸镀，属于一种物理沉积，是通过某种方式将蒸镀材料升华使其变成气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在真空环境中运动附着在待蒸镀物表面，从而在待蒸镀物表面形成薄膜的过程。有机发光二极管(0rganicLight
‑
EmittingDiode，简称OLED)具有自发光，轻薄，易于实现柔性显示等特点，是一种具有良好发展前景的新一代显示技术。目前在OLED面板制程中，经常采用OLED蒸镀技术进行各个功能膜层的制作。
[0003]现有技术的真空蒸镀装置中，一般均为真空蒸镀，用于蒸镀的设备为蒸发源，而蒸发源又分为有机蒸发源和无机蒸发源，对于蒸镀不同材料的蒸渡源的设计会有所差别。从蒸镀源出来的气体分子蒸镀材料升华至蒸镀锅上，蒸镀设备的蒸镀锅用于放置和固定待蒸镀物，待蒸镀物比如晶圆。OLED蒸镀技术的大致原理为：将OLED有机材料和被蒸镀基板存放于真空环境下，加热有机材料，使有机材料蒸发或升华，并蒸镀到被蒸镀基板表面凝聚成膜。目前量产蒸镀机一般采用真空环境下点源或线源蒸发方式，有机材料利用率低于20％，绝大部分有机材料都成膜在蒸镀机腔体的防着板上，防着板需定期更换和清洗。
[0004]但现如今，蒸镀机镀锅上每个镀环为固定位置且只能单面摆放晶圆作业，也就是说在普遍的蒸发机中，需要将晶圆单面镀膜后，再打开镀膜机将镀锅从伞架上拆卸下来，更换晶圆，再将镀锅与伞架进行安装并重新开始镀膜，这也就导致了材料放置区局限性窄，且产出较低，抽气时间、加热时间、排气时间过长。
技术实现思路
[0005]本申请提供了一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机，以解决现有技术中，蒸镀机镀锅上每个镀环为固定位置且只能单面摆放晶圆作业的问题，也就是说在现有的蒸镀机中，需要将晶圆单面镀膜后，再打开镀膜机将镀锅从伞架上拆卸下来，更换晶圆，再将镀锅与伞架进行安装并重新开始镀膜，这也就导致了材料放置区局限性窄，且产出较低，抽气时间、加热时间、排气时间过长。
[0006]第一方面，本申请提供了一种可旋转镀环的镀锅机构，包括：设于蒸镀机外壳上的电机，设于蒸镀机腔体内的镀锅；
[0007]所述镀锅内设有至少一个镀环结构，所述镀环结构包括多个用于放置晶圆的镀环，多个所述镀环沿水平方向呈直线排列，相邻两个所述镀环之间通过连接杆固定连接，每个所述镀环上设有用于活动夹持所述晶圆的固定件，所述镀锅外部设有与蒸镀机腔体的顶部固定连接的伞架，所述镀锅与所述伞架可拆卸连接；
[0008]所述电机与所述镀锅之间设有旋转机构，所述旋转机构一端与所述电机的输出轴连接，所述旋转机构的另一端穿过所述伞架后与所述镀环结构固定连接，所述电机用于驱
动旋转机构带动所述镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动。
[0009]进一步的，所述固定件包括设置在所述镀环外圆周侧的至少两个弹簧卡箍，所述弹簧卡箍分别向所述镀环中心的方向抵压所述镀环。
[0010]进一步的，所述旋转机构包括齿轮箱和旋转操纵杆，所述齿轮箱内设有主动轮和多个从动轮，所述主动轮与所述电机的输出轴连接，所述从动轮靠近所述镀锅的一侧与所述旋转操纵杆固定连接，所述主动轮与所述从动轮啮合，且通过转轴固定安装在所述齿轮箱内，所述旋转操纵杆水平设置且连接至所述镀环结构的一端。
[0011]进一步的，所述镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动的旋转角度为180
°
。
[0012]进一步的，所述主动轮和所述从动轮为相互啮合的齿轮或者链传动的链轮。
[0013]进一步的，所述旋转机构包括支架和第一翻转臂，所述第一翻转臂与所述支架的一端固定连接，所述第一翻转臂远离所述支架的一端设有第一回转部，所述支架的另一端固定有与所述第一翻转臂和所述第一回转部对称设置的第二翻转臂和第二回转部；
[0014]所述第一回转部与所述电机的输出轴连接，所述镀环结构的一端与所述第一回转部固定连接，所述镀环结构的另一端与所述第二回转部固定连接。
[0015]第二方面，本专利技术还提供一种蒸镀机，包括第一方面所述的可旋转镀环的镀锅机构。
[0016]由上述内容可知，本申请提供的一种蒸镀机包括：镀锅的正下方设有与蒸镀机腔体底部固定连接的离子源，所述离子源的两侧分别设有与蒸镀机腔体底部固定连接电子枪和与蒸镀机腔体底部固定连接坩埚，所述镀锅的一侧设有位于蒸镀机腔体内壁上的防着板。
[0017]进一步的，所述防着板的形状为圆弧形或者折弯形，所述防着板一体成型或者为多块拼接而成。
[0018]本申请在蒸镀机外壳上增设了一个电机，电机可以通过旋转机构带动镀环结构进行旋转，这样在蒸镀机作业时每个镀环就可以摆放两片晶圆，当一侧的晶圆镀膜完成后，可以将晶圆进行翻转，为晶圆的另一侧镀膜，在作业时不但提升了工作效率，增加产出，还减少了抽气、加热、排气的时间。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的获得其他的附图。
[0020]图1为本申请一种可旋转镀环的镀锅机构的正面结构示意图；
[0021]图2为本申请一种可旋转镀环的镀锅机构的镀环机构的结构示意图；
[0022]图3为本申请一种可旋转镀环的镀锅机构的主动轮与从动轮相啮合的结构示意图；
[0023]图4为本申请一种可旋转镀环的镀锅机构的另一种实施例下的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]1‑
电机、2
‑
镀锅、21
‑
镀环结构、211
‑
镀环、212
‑
固定件、3
‑
旋转机构、4
‑
伞架、5
‑
离子源、6
‑
电子枪、7
‑
坩埚、8
‑
防着板、9
‑
齿轮箱、91
‑
主动轮、92
‑
从动轮、32
‑
第一翻转臂、33
‑
支架、321
‑
第一回转部、34
‑
第二翻转臂、341
‑
第二回转部。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]现有技术中，蒸镀机镀锅上每个镀环为固定位置且只能单面摆放晶圆作业，也就本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可旋转镀环的镀锅机构，其特征在于，包括：设于蒸镀机外壳上的电机(1)，设于蒸镀机腔体内的镀锅(2)；所述镀锅(2)内设有至少一个镀环结构(21)，所述镀环结构(21)包括多个用于放置晶圆的镀环(211)，多个所述镀环(211)沿水平方向呈直线排列，相邻两个所述镀环(211)之间通过连接杆固定连接，每个所述镀环(211)上设有用于活动夹持所述晶圆的固定件(212)，所述镀锅(2)外部设有与蒸镀机腔体的顶部固定连接的伞架(4)，所述镀锅(2)与所述伞架(4)可拆卸连接；所述电机(1)与所述镀锅(2)之间设有旋转机构(3)，所述旋转机构(3)一端与所述电机(1)的输出轴连接，所述旋转机构(3)的另一端穿过所述伞架(4)后与所述镀环结构(21)固定连接，所述电机(1)用于驱动旋转机构(3)带动所述镀环结构(21)沿所述镀环(211)排列方向做周向旋转运动。2.根据权利要求1所述的一种可旋转镀环的镀锅机构，其特征在于，所述固定件(212)包括设置在所述镀环(211)外圆周侧的至少两个弹簧卡箍，所述弹簧卡箍分别向所述镀环(211)中心的方向抵压所述镀环(211)。3.根据权利要求1所述的一种可旋转镀环的镀锅机构，其特征在于，所述旋转机构(3)包括齿轮箱(9)和旋转操纵杆，所述齿轮箱(9)内设有主动轮(91)和多个从动轮(92)，所述主动(91)与所述电机(1)的输出轴连接，所述从动轮(92)靠近所述镀锅(2)的一侧与所述旋转操纵杆固定连接，所述主动轮(91)与所述从动轮(92)啮合，且通过转轴固定安装在所述齿轮箱(9)内，所述旋转操纵杆水平设置且连接至所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴爱明，许康，黄鑫，曹玉飞，卓昌正，
申请(专利权)人：聚灿光电科技宿迁有限公司，
类型：发明
国别省市：
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