本实用新型专利技术提供了一种机械手和晶圆储存装置。机械手，包括：支撑座，设置有定位块；升降模组，包括导轨、第一滑台和柔性环式传动件，所述导轨竖向设置，所述柔性环式传动件配置成驱动所述第一滑台沿所述导轨滑动；和二维移动模组，设置于所述第一滑台，并配置成驱动所述支撑座移动。晶圆储存装置，包括如上所述的机械手。机械手和晶圆储存装置具有以柔性环式传动件为传动基础的升降模组，升降模组的升降行程长度设计不受限制，可以根据需要进行匹配，而且安装调试更为方便。且安装调试更为方便。且安装调试更为方便。
【技术实现步骤摘要】
机械手及晶圆储存装置
[0001]本技术大致涉及半导体制备
，尤其是一种机械手及晶圆储存装置。
技术介绍
[0002]半导体立式炉是半导体生产线的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]半导体立式炉一般会配置用来存放标准机械接口(Standard MechanicalInterface，SMIF，每个标准机械接口中一般存放25个晶圆)的晶圆储存装置。出于对生产效率的追求，半导体立式炉每次工艺制程所需要的晶圆越来越多，这就要求晶圆储存装置的能够储存更多的标准机械接口，而晶圆储存装置又需要在有限空间内取放标准机械接口，因此晶圆储存装置的储位将越来越高，有些晶圆储存装置的储位甚至可能会达到3
‑
4米高。
[0004]目前，晶圆储存装置中为取放标准机械接口，大多配置以滚珠丝杠升降系统来实现升降功能的机械手，但是这种机械手受限于滚珠丝杠的长度，行程有限，而且安装调试困难，难以适应越来越高的晶圆储存装置。
[0005]
技术介绍
部分的内容仅仅是专利技术人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。
技术实现思路
[0006]针对现有技术中的一个或多个缺陷，本技术提供一种机械手，包括：
[0007]支撑座，设置有定位块；
[0008]升降模组，包括导轨、第一滑台和柔性环式传动件，所述导轨竖向设置，所述柔性环式传动件配置成驱动所述第一滑台沿所述导轨滑动；和
[0009]二维移动模组，设置于所述第一滑台，并配置成驱动所述支撑座移动。
[0010]根据本技术的一个方面，所述柔性环式传动件为传动带或链条。
[0011]根据本技术的一个方面，所述升降模组还包括主动轮、从动轮和电机，所述电机与所述主动轮连接，所述柔性环式传动件连接在所述主动轮与所述从动轮之间。
[0012]根据本技术的一个方面，所述二维移动模组包括：
[0013]直线模组，设置于所述第一滑台，具有可沿第一方向移动的第二滑台；和
[0014]水平关节式机械臂，设置于所述第二滑台，具有可沿第二方向移动的输出部；
[0015]其中，所述第一方向和所述第二方向均为水平方向，且所述第一方向与所述第二方向不平行，所述支撑座连接于所述水平关节式机械臂的输出部。
[0016]根据本技术的一个方面，所述二维移动模组还包括保护壳，所述保护壳连接于所述第二滑台，所述直线模组设置在所述保护壳内，所述保护壳上侧设置有开口。
[0017]根据本技术的一个方面，所述二维移动模组还包括连接组件，所述水平关节式机械臂安装于所述连接组件，所述连接组件安装于所述第二滑台，所述连接组件的两侧设置有滑槽；所述保护壳包括第一板件和第二板件，所述第一板件和所述第二板件分别插
接于所述连接组件两侧的滑槽并与所述滑槽滑动配合。
[0018]根据本技术的一个方面，所述连接组件包括第一连接板和第二连接板，所述第一连接板位于所述保护壳上方，所述第二连接板位于所述保护壳内，所述第一连接板与所述第二连接板连接，所述第一连接板或所述第二连接板边缘设置所述滑槽。
[0019]根据本技术的一个方面，所述连接组件还包括连接件，所述连接件具有避让槽，所述连接件连接在所述第二连接板与所述第二滑台之间。
[0020]根据本技术的一个方面，所述支撑座的边沿设置有让位槽。
[0021]本技术还提供一种晶圆储存装置，包括如上所述的机械手。
[0022]与现有技术相比，本技术的实施例提供了一种机械手和晶圆储存装置，通过柔性环式传送件驱动第一滑台沿导轨竖向移动，来带动支撑座和二维移动模组上升或下降，机械手升降行程长度设计不受限制，而且安装调试更为方便。通过定位块与标准机械接口底部的结构相配合，可以对标准机械接口进行定位，避免标准机械接口从支撑座上掉落。
附图说明
[0023]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0024]图1示出了根据本技术的一个实施例的机械手的示意图；
[0025]图2示出了根据本技术的一个实施例的机械手的爆炸图；
[0026]图3示出了根据本技术的一个实施例的升降模组的示意图；
[0027]图4示出了根据本技术的一个实施例的支撑座的示意图；
[0028]图5示出了根据本技术的一个实施例的二维移动模组驱动支撑座动作的示意图；
[0029]图6示出了根据本技术的一个实施例的连接组件的部分结构示意图；
[0030]图7示出了根据本技术的一个实施例的水平关节式机械臂与连接组件的连接结构的示意图。
[0031]图中：100、机械手；110、支撑座；111、定位块；112、让位槽；120、二维移动模组；121、直线模组；1211、第二滑台；122、水平关节式机械臂； 123、保护壳；1231、底壳；1232、第一板件；1233、第二板件；1234、开口； 124、连接组件；1241、第一连接板；1242、第二连接板；1243、连接件；12431、横板；12432、竖板；12433、避让槽；1244、滑槽；130、升降模组；131、导轨；132、第一滑台；133、柔性环式传动件；134、主动轮；135、从动轮； 136、电机；140、基座。
具体实施方式
[0032]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本技术的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0033]在本技术的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、 "长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、 "水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特
定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语" 第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，" 多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接:可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手，其特征在于，包括：支撑座，设置有定位块；升降模组，包括导轨、第一滑台和柔性环式传动件，所述导轨竖向设置，所述柔性环式传动件配置成驱动所述第一滑台沿所述导轨滑动；和二维移动模组，设置于所述第一滑台，并配置成驱动所述支撑座移动。2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述柔性环式传动件为传动带或链条。3.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述升降模组还包括主动轮、从动轮和电机，所述电机与所述主动轮连接，所述柔性环式传动件连接在所述主动轮与所述从动轮之间。4.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述二维移动模组包括：直线模组，设置于所述第一滑台，具有可沿第一方向移动的第二滑台；和水平关节式机械臂，设置于所述第二滑台，具有可沿第二方向移动的输出部；其中，所述第一方向和所述第二方向均为水平方向，且所述第一方向与所述第二方向不平行，所述支撑座连接于所述水平关节式机械臂的输出部。5.根据权利要求4所述的机械手，其特征在于，所述二维移动模组还包括保护壳，所述保护壳连接于所述第二滑台，所述直线模组设置在所述保护...
【专利技术属性】
技术研发人员：王金池，
申请(专利权)人：北京和崎精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。