一种金刚线切割设备制造技术

本实用新型专利技术属于晶棒切割设备的技术领域，具体涉及一种金刚线切割设备。本实用新型专利技术包括：机架；C型线锯架，C型线锯架设在机架上；多个线轮，多个线轮设在C型线锯架的各顶角处，且多个线轮位于同一平面，线轮的圆周面上开设有多个线槽；多根金刚线，多根金刚线互相平行地绕设在多个线槽内；夹持送料机构，夹持送料机构与C型线锯架垂直设置，夹持送料机构位于C型线锯架的一侧且对应C型线锯架的缺口处；置物台，置物台设在C型线锯架的另一侧，且与夹持送料机构的位置对应。本实用新型专利技术用于解决单根金刚线同时切割多根单晶硅棒，存在单根金刚线转动阻力大、容易影响单晶硅片切面质量等的技术问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚线切割设备


[0001]本技术属于晶棒切割设备的
，具体涉及一种金刚线切割设备。

技术介绍

[0002]单晶硅片主要用于制作半导体元件。单晶硅片是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。
[0003]单晶硅片是通过切割单晶硅棒得到的产物，目前单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片，所能刻制的集成电路越多，芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和切割技术的要求也越高。特别是单次切割单晶硅片的数量和质量尤为重要，现有的单晶硅切割设备通常是采用龙门架的形式，单根金刚线通过多个线轮分为多个切割工位同时对多根单晶硅棒进行切割，首先是增大了金刚线的转动阻力，其次是当某个工位的金刚线在切割过程中发生振动，振动会传递到其他工位，影响切面的质量，最后是需要对多根单晶硅棒同时调整送料长度，操作复杂。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种金刚线切割设备，用于解决单根金刚线同时切割多根单晶硅棒，存在单根金刚线转动阻力大、容易影响单晶硅片切面质量等的技术问题。
[0005]本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种金刚线切割设备，包括：
[0006]机架；
[0007]C型线锯架，所述C型线锯架设在所述机架上；
[0008]多个线轮，多个所述线轮设在所述C型线锯架的各顶角处，且多个所述线轮位于同一平面，所述线轮的圆周面上开设有多个线槽；
[0009]多根金刚线，多根所述金刚线互相平行地绕设在多个所述线槽内；
[0010]夹持送料机构，所述夹持送料机构与所述C型线锯架垂直设置，所述夹持送料机构位于所述C型线锯架的一侧且对应所述C型线锯架的缺口处；
[0011]置物台，所述置物台设在所述C型线锯架的另一侧，且与所述夹持送料机构的位置对应。
[0012]本技术将多个线轮固定安装在C型线锯架上，再将多根金刚线平行的绕设在多个线轮的线槽内，金刚线在C型线锯架的缺口处露出，作为切割工位；多根金刚线之间的距离可以通过线轮上线槽的距离设置，相邻的金刚线距离与单晶硅片的厚度吻合。
[0013]进一步地：所述夹持送料机构包括：
[0014]固定板；
[0015]送料滚轮组件，所述送料滚轮组件横向设在所述固定板的上表面；
[0016]压紧组件，所述压紧组件包括龙门架和压紧块；所述龙门架纵向设在所述固定板上，并对应所述送料滚轮组件的位置，所述压紧块的背面通过直线驱动机构固定连接所述
龙门架，所述压紧块的正面为V型面；
[0017]第一纵向平移机构，所述第一纵向平移机构设在所述固定板的底面。
[0018]采用本步的有益效果：单晶硅棒放置在送料滚轮组件上，方便单晶硅棒横向送料，而V型面的压紧块能将单晶硅棒压紧；第一纵向平移机构能将固定板沿纵向移动，用于将单晶硅棒进给送料，以便于单晶硅棒进行纵向切割。
[0019]进一步地：所述送料滚轮组件包括两行滚轮条，所述滚轮条上设有多个滚轮，两行所述滚轮条上的所述滚轮的切面呈V型。
[0020]采用本步的有益效果：V型的切面与压紧块的V型面配合，能够将单晶硅棒压紧，且能适用于不同直径的单晶硅棒。
[0021]进一步地：所述置物台的底面设有第二纵向平移机构，所述置物台和所述固定板的同一侧面通过同步块固定连接。
[0022]采用本步的有益效果：置物台可以与夹持送料机构同步进行纵向移动，当单晶硅棒被切断后，切好的单晶硅片能落在置物台上，避免掉落在机架上。
[0023]进一步地：所述固定板与所述第一纵向平移机构之间设有横向平移机构。
[0024]采用本步的有益效果：横向平移机构能让固定板横向移动，固定板横向移动到机架的外侧，可以方便将单晶硅棒吊装固定在夹持送料机构上。
[0025]进一步地：所述机架对应所述C型线锯架的缺口处还设有漏斗式排液孔。
[0026]采用本步的有益效果：用于冷却润滑金刚线的冷却液落在机架上，然后汇集到漏斗式排液孔内，集中进行处理，以便于循环利用。
[0027]进一步地：所述机架的四周设有防护挡板。
[0028]采用本步的有益效果：防护挡板既能防止操作人员被机器误伤，也能防止冷却液四处飞溅。
[0029]本技术的有益效果是：
[0030]1、多根金刚线同时绕设在线轮的线槽上，对单晶硅棒进行切割，单次切割可以得到多片单晶硅片，单晶硅片的厚度与相邻的金刚线距离吻合，且只需要进行一次校准定位工作；
[0031]2、多根金刚线切割时，每根金刚线互不影响，既不会增大金刚线转动阻力，也能保证单晶硅片的切面质量稳定。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1为本技术提供的一种金刚线切割设备的立体图；
[0034]图2为本技术提供的一种金刚线切割设备去除防护挡板的立体图一；
[0035]图3为本技术提供的一种金刚线切割设备去除防护挡板的立体图二；
[0036]图4为本技术提供的一种金刚线切割设备去除防护挡板的结构示意图；
[0037]图5为图4的左视图；
[0038]图6为图4的右视图。
[0039]附图标记：
[0040]1‑
机架；2
‑
C型线锯架；3
‑
夹持送料机构；4
‑
线轮；5
‑
置物台；6
‑
漏斗式排液孔；7
‑
防护挡板；8
‑
单晶硅棒；
[0041]31
‑
固定板；32
‑
送料滚轮组件；33
‑
压紧组件；34
‑
第一纵向平移机构；35
‑
横向平移机构；41
‑
线槽；51
‑
同步块；52
‑
第二纵向平移机构；
[0042]331
‑
龙门架；332
‑
压紧块；333
‑
直线驱动机构。
具体实施方式
[0043]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0044]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚线切割设备，其特征在于，包括：机架；C型线锯架，所述C型线锯架设在所述机架上；多个线轮，多个所述线轮设在所述C型线锯架的各顶角处，且多个所述线轮位于同一平面，所述线轮的圆周面上开设有多个线槽；多根金刚线，多根所述金刚线互相平行地绕设在多个所述线槽内；夹持送料机构，所述夹持送料机构与所述C型线锯架垂直设置，所述夹持送料机构位于所述C型线锯架的一侧且对应所述C型线锯架的缺口处；置物台，所述置物台设在所述C型线锯架的另一侧，且与所述夹持送料机构的位置对应。2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割设备，其特征在于，所述夹持送料机构包括：固定板；送料滚轮组件，所述送料滚轮组件横向设在所述固定板的上表面；压紧组件，所述压紧组件包括龙门架和压紧块；所述龙门架纵向设在所述固定板上，并对应所述送料滚轮组件的位置，所述压紧块的背面通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹建，周小勇，
申请(专利权)人：扬州合晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：