蓝宝石衬底制造技术

本实用新型专利技术提供一种蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底上具有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第一位置处的第一定位平边或定位缺口，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有夹角，且所述夹角大于0度。该蓝宝石衬底提高了定位的精确度。该蓝宝石衬底提高了定位的精确度。该蓝宝石衬底提高了定位的精确度。

【技术实现步骤摘要】
蓝宝石衬底


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种蓝宝石衬底。

技术介绍

[0002]LED用衬底材料一般有蓝宝石衬底、碳化硅衬底及硅衬底三种，其中蓝宝石衬底应用最广泛，因为其加工方法及加工成本等与其他两种相比较都有不小的优势。现行蓝宝石衬底业界习知针对A轴多以平边或是缺口作为定位点，相关治具或光学CCD均以此为基准进行定位；定位的目的除了在加工过程中可以精准的进行研削外，还有在检验时可以依据平边或缺口找寻缺陷的位置，有利于技术人员分析。
[0003]对于蓝宝石衬底而言，缺口的位置多以开A轴(18.92度)为主；该缺口虽然在一定程度上能够实现蓝宝石衬底的定位，但在定位过程中存在定位偏差，定位具有偏差的蓝宝石衬底在后期外延制作过程中可能会造成表面缺陷。因此，如何提供一种可提高定位精确度的蓝宝石衬底是亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供了一种蓝宝石衬底，以解决现有技术存在的一个或多个技术问题。
[0005]根据本技术的一方面，公开了一种蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底上具有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第一位置处的第一定位平边或定位缺口，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有夹角，且所述夹角大于0度。
[0006]在本技术的一些实施例中，所述第二定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第二位置处的第二定位平边或定位线，所述定位线位于所述蓝宝石衬底的顶部平面上或底部平面上，所述第二定位平边位于所述蓝宝石衬底的外边沿上。
[0007]在本技术的一些实施例中，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间的夹角范围为30度至150度或210度至330度。
[0008]在本技术的一些实施例中，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线互相垂直。
[0009]在本技术的一些实施例中，当所述第一定位部为第一定位平边时，所述定位线位于所述蓝宝石衬底外边沿的内部，且所述定位线与所述第一定位平边垂直。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述定位线的长度为8mm至15mm，所述定位线中心距所述蓝宝石衬底外边沿的最小距离为1mm至3mm。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述定位线的线宽为0.03mm至0.1mm，所述定位线的加工方式为激光镭射或喷印。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述第二定位平边的长度范围为30mm至45mm。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述第二定位平边的长度为37.5mm
±
2.5mm。
[0014]在本技术的一些实施例中，当所述第一定位部为定位缺口时，所述定位缺口的深度为1mm至1.5mm。
[0015]通过利用本技术实施例中的蓝宝石衬底，可以获得的有益效果至少在与：
[0016]该蓝宝石衬底上具有两个定位部，第一定位部为第一定位平边或定位缺口，而过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有大于0度的夹角；该结构的第二定位部作为辅助定位部，即在定位时通过判断两个定位部的位置是否均满足预设要求，以确定该蓝宝石衬底的放置位置或放置角度是否存在偏差，从而提高了蓝宝石衬底的定位精确度，进而也防止了蓝宝石衬底在后期外延制作过程中表面缺陷现象的发生。
[0017]本技术的附加优点、目的，以及特征将在下面的描述中将部分地加以阐述，且将对于本领域普通技术人员在研究下文后部分地变得明显，或者可以根据本技术的实践而获知。本技术的目的和其它优点可以通过在书面说明及其权利要求书以及附图中具体指出的结构实现到并获得。
[0018]本领域技术人员将会理解的是，能够用本技术实现的目的和优点不限于以上具体所述，并且根据以下详细说明将更清楚地理解本技术能够实现的上述和其他目的。
附图说明
[0019]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术的限定。附图中的部件不是成比例绘制的，而只是为了示出本技术的原理。为了便于示出和描述本技术的一些部分，附图中对应部分可能被放大，即，相对于依据本技术实际制造的示例性装置中的其它部件可能变得更大。在附图中：
[0020]图1为本技术一实施例的蓝宝石衬底的俯视方向结构示意图。
[0021]图2为本技术另一实施例的蓝宝石衬底的俯视方向结构示意图。
[0022]图3为图2所示的蓝宝石衬底的定位缺口的局部放大图。
[0023]图4为本技术再一实施例的蓝宝石衬底的俯视方向结构示意图。
具体实施方式
[0024]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合附图对本技术实施例做进一步详细说明。在此，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，但并不作为对本技术的限定。
[0025]在此，需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本技术，在附图中仅仅示出了与根据本技术的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本技术关系不大的其他细节。
[0026]应该强调，术语“包括/包含/具有”在本文使用时指特征、要素、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、要素、步骤或组件的存在或附加。
[0027]在此，还需要说明的是，本说明书内容中所出现的方位名词是相对于附图所示的
位置方向；如果没有特殊说明，术语“连接”在本文不仅可以指直接连接，也可以表示存在中间物的间接连接。直接连接为两个零部件之间不借助中间部件进行连接，间接连接为两个零部件之间借助其他零部件进行连接。
[0028]为了提高蓝宝石衬底在加工过程中的定位精确度，本技术提供了一种蓝宝石衬底，该蓝宝石衬底上具有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第一位置处的第一定位平边或定位缺口，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有夹角，且所述夹角大于0度。
[0029]在下文中，将参考附图描述本专利技术的实施例。在附图中，相同的附图标记代表相同或类似的部件。
[0030]图1为本技术一实施例的蓝宝石衬底10的俯视方向结构示意图，如图1所示，该蓝宝石衬底10的俯视图大致呈圆形状，此时该蓝宝石衬底10上的第一定位部11的具体结构为定位缺口。在该蓝宝石衬底10中，以晶向C面作为加工面，即以C面作为抛光面，C面也可理解为蓝宝石衬底10的顶部平面，此时定位缺口多开设在蓝宝石衬底1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底，其特征在于，所述蓝宝石衬底上具有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第一位置处的第一定位平边或定位缺口，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有夹角，且所述夹角大于0度。2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底，其特征在于，所述第二定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第二位置处的第二定位平边或定位线，所述定位线位于所述蓝宝石衬底的顶部平面上或底部平面上，所述第二定位平边位于所述蓝宝石衬底的外边沿上。3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底，其特征在于，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间的夹角范围为30度至150度或210度至330度。4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底，其特征在于，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志豪，李贤途，黄建烽，郭慧慧，
申请(专利权)人：福建晶安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：