一种线切割机制造技术

本申请实施例中提供了一种线切割机，包括至少两个相对设置的切割辊，切割辊的外周绕设有切割线以在切割辊间形成切割区；进给组件，位于切割区的切割线上方；进给组件用于带动待切割棒料向靠近或远离切割线方向移动；切削液喷淋管，与进给组件对应设置，且切削液喷淋管能够绕预设旋转轴旋转，以在切割过程中对待切割棒料与切割线的相交位置处进行喷淋。切削液喷淋管绕预设旋转轴旋转，以能够根据待切割棒料与切割线的相交位置调整切削液喷淋管的出口端朝向，随时能够对待切割棒料和切割线的相交位置处进行切削液喷淋，以保证切割位置处的切削液量，保证排屑能力，提高切割质量。提高切割质量。提高切割质量。

【技术实现步骤摘要】
一种线切割机


[0001]本申请涉及线切割
，具体地，涉及一种线切割机。

技术介绍

[0002]晶体硅、SiC、GaN等半导体材料目前主要使用砂浆设备切割成薄片，切割效率低、切割辅材环境污染大，部分厂家在测试金刚线切割半导体片材，切割效率高、切割辅材可以循环利用、环境污染小。金刚线切割速度快，切割效率高，单位时间内材料内部产生的热量、微粉远远多于砂浆切割，金刚线切割相比砂浆切割，使用的线径细，切削液粘度低，金刚线的带液能力远低于砂浆，切削液进入切割刀缝的量少，切削液的润滑、排屑和降温的效果下降。特别是大尺寸棒料，金刚线带走的热量有限，棒料因排屑不畅、散热不好等，受热膨胀，产生热应力等影响因素，导致切割后的薄片表面形貌指标低于砂浆切割。蓝宝石虽然使用金刚线切割，但也存在切片后表面形貌指标较高的情况，分析原因与半导体切割类似。磁性材料、石英、陶瓷等硬脆材料切割成薄片后，对表面质量、表面形貌有要求的都存在相同的问题。
[0003]圆形棒材切割时，喷淋管的位置相对机架是固定的，与工件之间有相对运动，切削液与硅棒表面的接触点一般都在B和B
’
点(即最大切割截面的位置)，金刚线将棒材表面的切削液带入切割位置，棒材上下两部分横截面减小(特别是上半部分)，切割时切削液喷洒不到棒材表面，只能喷洒到金刚线线网上，金刚线线径细，带液量有限，带入切割位置的切削液量大大减少，切削液的缺失使散热、润滑、排屑能力大大下降，棒材受热膨胀，切割表面质量和表面形貌下降。

技术实现思路

[0004]本申请实施例中提供了一种线切割机，以解决现有的装置在切割时切割位置切削液量少、导致排屑能力下降的问题。
[0005]为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案：
[0006]一种线切割机，包括：
[0007]至少两个相对设置的切割辊，所述切割辊的外周绕设有切割线以在所述切割辊间形成切割区；
[0008]进给组件，位于所述切割区的所述切割线上方；所述进给组件用于带动待切割棒料向靠近或远离所述切割线方向移动；
[0009]切削液喷淋管，与所述进给组件对应设置，且所述切削液喷淋管能够绕预设旋转轴旋转，以在切割过程中对待切割棒料与所述切割线的相交位置处进行喷淋。
[0010]可选地，所述切削液喷淋管具有若干个喷淋孔，所述喷淋孔沿所述切削液喷淋管的长度方向设置。
[0011]可选地，所述切削液喷淋管沿待切割棒料的长度方向延伸，所述切削液喷淋管的长度大于或等于待切割棒料的长度。
[0012]可选地，所述切削液喷淋管为两组，两组所述切削液喷淋管在所述进给组件的中心面两侧设置，每组至少包括一个所述切削液喷淋管。
[0013]可选地，两组所述切削液喷淋管分别在所述进给组件的中心面两侧对称设置。
[0014]可选地，还包括：
[0015]旋转驱动组件，一端位于所述线切割机的主机架上，另一端与所述切削液喷淋管连接；
[0016]所述预设旋转轴的轴线与所述切削液喷淋管的中心轴轴线重合，所述旋转驱动组件带动所述切削液喷淋管绕自身中心轴转动。
[0017]可选地，还包括：
[0018]摆动驱动组件，一端位于所述线切割机的主机架上，另一端与所述切削液喷淋管连接；
[0019]所述预设旋转轴具体为所述摆动驱动组件的摆动轴，所述摆动驱动组件带动所述切削液喷淋管绕所述摆动驱动组件的摆动轴摆动旋转。
[0020]可选地，还包括：
[0021]平移驱动组件，一端位于所述线切割机的主机架上，另一端与所述切削液喷淋管连接，以带动所述切削液喷淋管在平行于所述切割线的方向上向靠近或远离待切削棒料的方向移动。
[0022]可选地，所述进给组件包括：
[0023]进给动力驱动件和工件夹紧组件，所述工件夹紧组件的一端与所述进给动力驱动件连接；
[0024]工件板和切割衬板，所述工件板与所述工件夹紧组件的另一端连接，所述切割衬板固设于所述工件板的下方；所述切割衬板用于固定待切割棒料，且所述切割衬板具有与待切割棒料的周向外壁贴合的对接部。
[0025]可选地，还包括：
[0026]存储盒，用于收集切割过程中的棒料碎片，所述存储盒位于所述切割辊间形成的所述切割区内的所述切割线下方。
[0027]本申请实施例提供的一种线切割机，包括至少两个相对设置以形成切割区的切割辊，切割辊的外周绕设有切割线；进给组件，位于切割区的切割线上方；进给组件用于带动待切割棒料向靠近或远离切割线方向移动；切削液喷淋管，位于切割区的切割线的上方且与进给组件对应设置，切削液喷淋管能够绕预设旋转轴旋转，以在切割过程中对待切割棒料与切割线的相交位置处进行喷淋。
[0028]采用本申请实施例中提供的一种线切割机，相较于现有技术，具有以下技术效果：
[0029]在切割区的切割线的上方设置切削液喷淋管，该切削液喷淋管与进给组件对应设置，切削液喷淋管绕预设旋转轴旋转，以能够根据待切割棒料与切割线的相交位置调整切削液喷淋管的出口端朝向，随时能够对待切割棒料和切割线的相交位置处进行切削液喷淋，以保证切割位置处的切削液量，保证排屑能力，提高切割质量。
附图说明
[0030]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申
请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0031]图1为本申请实施例提供的一种线切割机的切割示意图；
[0032]图2为本申请第一实施例提供的切削液喷淋管的旋转角度示意图；
[0033]图3为本申请第二实施例提供的切削液喷淋管的旋转角度示意图；
[0034]图4为本申请第三实施例提供的切削液喷淋管的旋转角度示意图；
[0035]图5为本申请实施例提供的一种切削液喷淋管的结构示意图。
[0036]附图中标记如下：
[0037]切割辊1、切削液喷淋管2、工件板3、切割衬板4、待切割棒料5、切削液喷淋管本体6、切削液喷淋动力件7。
具体实施方式
[0038]本技术实施例公开了一种线切割机，以解决现有的装置在切割时切割位置切削液量少、导致排屑能力下降的问题。
[0039]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0040]请参阅图1
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5，图1为本申请实施例提供的一种线切割机的切割示意图；图2为本申请第一实施例提供的切削液喷淋管的旋转角度示意图；图3为本申请第二实施例提供的切削液喷淋管的旋转角度示意图；图4为本申请第三实施例提供的切削液喷淋管的旋转角度示意图；图5为本申请实施例提供的一种切削液喷淋管的结构示意图。
[0041]在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线切割机，其特征在于，包括：至少两个相对设置的切割辊，所述切割辊的外周绕设有切割线以在所述切割辊间形成切割区；进给组件，位于所述切割区的所述切割线上方；所述进给组件用于带动待切割棒料向靠近或远离所述切割线方向移动；切削液喷淋管，与所述进给组件对应设置，且所述切削液喷淋管能够绕预设旋转轴旋转，以在切割过程中对待切割棒料与所述切割线的相交位置处进行喷淋。2.根据权利要求1所述的线切割机，其特征在于，所述切削液喷淋管具有若干个喷淋孔，所述喷淋孔沿所述切削液喷淋管的长度方向设置。3.根据权利要求2所述的线切割机，其特征在于，所述切削液喷淋管沿待切割棒料的长度方向延伸，所述切削液喷淋管的长度大于或等于待切割棒料的长度。4.根据权利要求3所述的线切割机，其特征在于，所述切削液喷淋管为两组，两组所述切削液喷淋管在所述进给组件的中心面两侧设置，每组至少包括一个所述切削液喷淋管。5.根据权利要求4所述的线切割机，其特征在于，两组所述切削液喷淋管分别在所述进给组件的中心面两侧对称设置。6.根据权利要求1
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5任一项所述的线切割机，其特征在于，还包括：旋转驱动组件，一端位于所述线切割机的主机架上，另一端与所述切削液喷淋管连接；所述预设旋转轴的轴线与所述切削液喷淋管的中...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫云庆，范国强，于云飞，孙承政，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：