一种靶材烧结用防蒸发溅射装置制造方法及图纸

技术编号:35279204 阅读:16 留言:0更新日期:2022-10-22 12:21
本实用新型专利技术公开了一种靶材烧结用防蒸发溅射装置,包括管道,所述管道右端固定连接有喷射管,所述管道侧壁设有冷却机构,所述冷却机构包括安装板,所述安装板上侧壁固定连接有固定框,所述安装板上侧壁固定连接有循环泵,所述安装板侧壁嵌设有冷凝管,所述循环泵的出水端通过出水管与冷凝管一端连通,所述安装板上侧壁固定连接有水箱,所述固定框上侧壁固定连接有马达,所述马达的输出轴固定连接有转杆。本实用新型专利技术不仅实现了水循环,还能保证冷凝管内的水温一直较低,并且加快了水箱内水温的降低速度,进一步确保冷凝管对管道内原料的冷却,防止原料在喷射的过程中由于蒸发而损耗,保证材料的利用率。保证材料的利用率。保证材料的利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材烧结用防蒸发溅射装置


[0001]本技术涉及靶材生产加工
,尤其涉及一种靶材烧结用防蒸发溅射装置。

技术介绍

[0002]靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。
[0003]现有的靶材在进行溅射时,原材料会因为温度较高,在刚射出管道时伴随着原材料的蒸发,增加了原材料的消耗,降低了原材料的利用率,为了解决上述问题,需要设计一种靶材烧结用防蒸发溅射装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种靶材烧结用防蒸发溅射装置,包括管道,所述管道右端固定连接有喷射管,所述管道侧壁设有冷却机构,所述冷却机构包括安装板,所述安装板上侧壁固定连接有固定框,所述安装板上侧壁固定连接有循环泵,所述安装板侧壁嵌设有冷凝管,所述循环泵的出水端通过出水管与冷凝管一端连通,所述安装板上侧壁固定连接有水箱,所述固定框上侧壁固定连接有马达,所述马达的输出轴固定连接有转杆,所述转杆侧壁固定连接有多个搅拌叶,所述冷凝管的另一端通过导水管与水箱侧壁连通,所述水箱侧壁通过进水管与循环泵的进水端连通。
[0007]优选地,所述导水管位于水箱的上方,所述进水管位于水箱的下方。
[0008]优选地,所述冷凝管呈螺旋形设置,所述喷射管的截面呈漏斗型。<br/>[0009]优选地,所述循环泵与水箱均位于固定框内,所述进水管由橡胶制成。
[0010]优选地,所述水箱上侧壁连通设置,所述转杆贯穿固定框上侧壁。
[0011]优选地,所述安装板套设在管道侧壁,所述安装板的截面为矩形。
[0012]本技术具有以下有益效果:
[0013]1、本技术通过循环泵将水箱内的水泵入冷凝管内,而冷凝管内的水会进入水箱内,上述操作不仅实现了水循环,还能保证冷凝管内的水温一直较低,确保了冷凝管的冷却效果;
[0014]2、本技术通过马达带动转杆转动,从而带动多个搅拌叶转动,可以对水箱内的水进行搅拌,加快水箱内水温的降低速度,进一步确保冷凝管对管道内原料的冷却,防止原料在喷射的过程中由于蒸发而损耗,保证材料的利用率。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置的结构示意图;
[0016]图2为本技术提出的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置的正视图。
[0017]图中:1管道、2喷射管、3安装板、4冷凝管、5固定框、6循环泵、7出水管、8导水管、9水箱、10进水管、11马达、12转杆、13搅拌叶。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0019]参照图1

2,一种靶材烧结用防蒸发溅射装置,包括管道1,管道1右端固定连接有喷射管2,喷射管2的截面呈漏斗型,扩大了材料的喷射范围。
[0020]管道1侧壁设有冷却机构,冷却机构包括安装板3,安装板3套设在管道1侧壁,安装板3的截面为矩形,安装板3上侧壁固定连接有固定框5,安装板3上侧壁固定连接有循环泵6,安装板3侧壁嵌设有冷凝管4,冷凝管4呈螺旋形设置,扩大了冷却范围,循环泵6的出水端通过出水管7与冷凝管4一端连通,安装板3上侧壁固定连接有水箱9,水箱9上侧壁连通设置,加快了水箱9内的水温降低速度,初始状态下,水箱9内装有水,循环泵6与水箱9均位于固定框5内,固定框5上侧壁固定连接有马达11,马达11的输出轴固定连接有转杆12,转杆12贯穿固定框5上侧壁,转杆12侧壁固定连接有多个搅拌叶13,冷凝管4的另一端通过导水管8与水箱9侧壁连通,导水管8位于水箱9的上方,防止水箱9内的水倒流进入冷凝管4内,水箱9侧壁通过进水管10与循环泵6的进水端连通,进水管10位于水箱9的下方,进水管10由橡胶制成。
[0021]本技术可通过以下操作方式阐述其功能原理:使用时,启动循环泵6,循环泵6将水箱9的水泵入冷凝管4内,冷凝管4内的水随着导水管8进入水箱9内,由此循环,可以不断对冷凝管4内的水进行更换,保证了冷凝管4的冷却效果。
[0022]还可以启动马达11,马达11带动转杆12转动,从而带动多个搅拌叶13转动,可以对水箱9内的水进行搅拌,加快水箱9内水温的降低,进一步保证了冷凝管4的冷凝效果,从而对经过管道1的原料进行冷却,防止原料在喷射的过程中由于蒸发而损耗,保证材料的利用率。
[0023]以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材烧结用防蒸发溅射装置,包括管道(1),其特征在于:所述管道(1)右端固定连接有喷射管(2),所述管道(1)侧壁设有冷却机构,所述冷却机构包括安装板(3),所述安装板(3)上侧壁固定连接有固定框(5),所述安装板(3)上侧壁固定连接有循环泵(6),所述安装板(3)侧壁嵌设有冷凝管(4),所述循环泵(6)的出水端通过出水管(7)与冷凝管(4)一端连通,所述安装板(3)上侧壁固定连接有水箱(9),所述固定框(5)上侧壁固定连接有马达(11),所述马达(11)的输出轴固定连接有转杆(12),所述转杆(12)侧壁固定连接有多个搅拌叶(13),所述冷凝管(4)的另一端通过导水管(8)与水箱(9)侧壁连通,所述水箱(9)侧壁通过进水管(10)与循环泵(6)的进水端连通。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨懿杨荣春
申请(专利权)人:上海博译金属有限公司
类型:新型
国别省市:

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