叠压工作台及叠压机制造技术

本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种叠压工作台及叠压机，包括从上到下依次叠置的承压板、支撑板和承压块，在所述承压板的底部设置有凸台，在所述支撑板的中部设置有与所述凸台相对应的通孔，所述支撑板用于与导向装置配合，在所述承压板与所述支撑板之间设置有弹性支撑件，以使在竖直方向上所述承压板与所述支撑板之间形成有第一间隙，且在竖直方向上所述凸台与所述承压块之间形成有第二间隙，所述第一间隙的尺寸不小于所述第二间隙的尺寸。本申请的目的在于针对在叠压加工位置进行陶瓷膜片叠压成型的过程中，导向装置会承受较大的工作载荷，常会损坏导向装置的技术问题，提供一种叠压工作台及叠压机。提供一种叠压工作台及叠压机。提供一种叠压工作台及叠压机。

【技术实现步骤摘要】
叠压工作台及叠压机


[0001]本申请涉及半导体加工
，具体而言，涉及一种叠压工作台及叠压机。

技术介绍

[0002]为满足叠层式电子元件的叠层加工需求，需要将经过预处理的陶瓷膜片转移至叠压加工位置，并将叠层完成的成品(或半成品)移出功能，现有叠压机的叠压工作台就是用来实现上述功能的。叠压工作台在上料位置接收经过预处理的陶瓷膜片，然后叠压工作台在导向装置上移动至叠压加工位置，使预处理的陶瓷膜片在大载荷作用下叠压成型，最后将半成品(或者成品)转移至上料位置(或者下料位置)。但是，在叠压加工位置进行陶瓷膜片叠压成型的过程中，导向装置会承受较大的工作载荷，常会损坏导向装置。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于针对在叠压加工位置进行陶瓷膜片叠压成型的过程中，导向装置会承受较大的工作载荷，常会损坏导向装置的技术问题，提供一种叠压工作台及叠压机。
[0004]为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：
[0005]本申请的一个方面提供一种叠压工作台，包括从上到下依次叠置的承压板、支撑板和承压块，在所述承压板的底部设置有凸台，在所述支撑板的中部设置有与所述凸台相对应的通孔，所述支撑板用于与导向装置配合，在所述承压板与所述支撑板之间设置有弹性支撑件，以使在竖直方向上所述承压板与所述支撑板之间形成有第一间隙，且在竖直方向上所述凸台与所述承压块之间形成有第二间隙，所述第一间隙的尺寸不小于所述第二间隙的尺寸。
[0006]可选的，在所述承压板上安装有导向套，在所述支撑板上形成有与所述导向套滑动配合的导向轴。
[0007]该技术方案的有益效果在于：通过导向轴与导向套的配合，避免承压板在竖直方向上的移动发生偏斜。
[0008]可选的，所述弹性支撑件为碟形弹簧，在所述支撑板的顶面上设置有安装槽，所述碟形弹簧安装与所述安装槽内。
[0009]可选的，还包括加热板和下压模，所述下压模位于所述加热板的上方，所述加热板位于所述承压板的上方，所述加热板用于为所述下压模加热。
[0010]该技术方案的有益效果在于：通过加热板对下压模加热可以使陶瓷膜片在加热的条件下叠压。
[0011]可选的，还包括隔热板，所述隔热板安装于所述加热板的底面。
[0012]该技术方案的有益效果在于：通过设置隔热板使热量不易从下方各部件散失。
[0013]可选的，还包括冷却板，所述冷却板固定于所述隔热板的底面，从上到下所述下压模、所述加热板、所述隔热板、所述冷却板和所述承压板依次叠置。
[0014]该技术方案的有益效果在于：通过冷却板吸收加热板传递过来的热量，进一步使
热量不易对下方部件产生影响。
[0015]可选的，还包括调整板，所述下压模、所述调整板和所述加热板依次叠置，所述下压模固定于所述调整板，在所述调整板的底面上安装有与所述加热板配合的调整装置，所述调整装置用于调整所述加热板与所述调整板之间的相对位置。
[0016]该技术方案的有益效果在于：设置该调整装置，可以通过调整加热板与调整板之间的相对位置，实现调整下压模及下压模上的陶瓷膜片的位置。
[0017]可选的，所述调整装置包括调节座和调节螺钉，所述调节座固定于所述调整板，在所述调节座上形成有螺纹孔，所述调节螺钉与所述螺纹孔配合，在所述加热板上开有凹槽，在第一方向上所述凹槽的槽口面向所述加热板的外侧，所述调整装置位于所述凹槽内，在所述第一方向上所述调节螺钉与所述加热板抵接，在所述第一方向上所述加热板的两侧均设置有所述凹槽和所述调节装置，所述第一方向平行于水平面。
[0018]该技术方案的有益效果在于：这样，通过调节螺钉相对调节座的位置，使调节螺钉作用在加热板上，进而推动调整板相对加热板移动，实现对下压模位置的调整。
[0019]可选的，包括四个所述调节装置，在所述第一方向上所述加热板的两侧均设置有两个所述凹槽，各所述调节装置一一对应的设置于各所述凹槽内。
[0020]该技术方案的有益效果在于：这样，四个调节装置两两呈对角线设置，位于同一对角线上的两个调节装置均使螺钉向远离加热板的方向移动，并位于另一个对角线上的两个调节装置均使螺钉向挤压加热板的方向移动，就可以使调整板相对加热板产生一定转动，进而在周向上调节下压模及下压模上的陶瓷膜片的位置；当然，还可以在第一方向上调整下压模及下压模上的陶瓷膜片的位置。
[0021]本申请的另一个方面提供一种叠压机，包括本申请实施例所提供的叠压工作台。
[0022]本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
[0023]本申请所提供的叠压工作台及叠压机，使用时，在导向装置的引导下移动至叠压加工位置，在预处理的陶瓷膜片在大载荷作用下叠压成型的过程中，承压板相对支撑板和承压块不断下移，使得凸台相对相对支撑板和承压块不断下移，第一间隙和第二间隙都不断减小，当第二间隙的尺寸减小到零时，即凸台与承压块接触时，第一间隙的尺寸为零或不在变化，承压块承担大部分载荷，导向装置所承担的载荷不再变化，这样，可以在叠压工作台生产时，通过控制第一间隙的尺寸和第二间隙的尺寸控制导向装置所承载的最大载荷，进而将该最大载荷控制在导向装置的容许载荷内，使导向装置不易损坏。
[0024]本申请的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本申请的具体实践可以了解到。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本申请实施例提供的叠压工作台的一种实施方式的主视结构示意图；
[0027]图2为本申请实施例提供的叠压工作台的一种实施方式的部分剖视结构示意图；
[0028]图3为本申请实施例提供的叠压工作台的一种实施方式的右视结构示意图；
[0029]图4为本申请实施例提供的承压板的一种实施方式的立体结构示意图；
[0030]图5为本申请实施例提供的支撑板的一种实施方式的立体结构示意图；
[0031]图6为本申请实施例提供的叠压工作台的一种实施方式的部分俯视结构示意图；
[0032]图7为本申请实施例提供的冷却板的一种实施方式的立体结构示意图。
[0033]附图标记：
[0034]1‑
隔热板；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
加热板；
[0035]3‑
加热管；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ4‑
下压模；
[0036]5‑
承压块；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ6‑
第二间隙；
[0037]7‑
第一间隙；
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.叠压工作台，其特征在于，包括从上到下依次叠置的承压板、支撑板和承压块，在所述承压板的底部设置有凸台，在所述支撑板的中部设置有与所述凸台相对应的通孔，所述支撑板用于与导向装置配合，在所述承压板与所述支撑板之间设置有弹性支撑件，以使在竖直方向上所述承压板与所述支撑板之间形成有第一间隙，且在竖直方向上所述凸台与所述承压块之间形成有第二间隙，所述第一间隙的尺寸不小于所述第二间隙的尺寸。2.根据权利要求1所述的叠压工作台，其特征在于，在所述承压板上安装有导向套，在所述支撑板上形成有与所述导向套滑动配合的导向轴。3.根据权利要求1所述的叠压工作台，其特征在于，所述弹性支撑件为碟形弹簧，在所述支撑板的顶面上设置有安装槽，所述碟形弹簧安装与所述安装槽内。4.根据权利要求1所述的叠压工作台，其特征在于，还包括加热板和下压模，所述下压模位于所述加热板的上方，所述加热板位于所述承压板的上方，所述加热板用于为所述下压模加热。5.根据权利要求4所述的叠压工作台，其特征在于，还包括隔热板，所述隔热板安装于所述加热板的底面。6.根据权利要求5所述的叠压工作台，其特征在于，还包括冷却板，所述冷却板固定于所述隔热板的底面，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，马红雷，张世强，杨志，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：