一种基板传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板传送装置，包括旋转底座，旋转底座上固定安装有无杆气缸，无杆气缸的滑座上开设有两组螺纹盲孔，两组螺纹盲孔内部安装有第一螺栓式铰接销，螺栓式铰接销上转动连接有主机械臂，两组主机械臂的一端分别开设有连接孔，两组第一连接孔内部分别插接有铰链销，两组铰链销上分别转动安装有从动机械臂，两组从动机械臂的一端转动安装有第二螺栓式铰接销。本实用新型专利技术通过在无杆气缸的滑座上转动安装有主机械臂，主机械臂转动连接有从动机械臂，从动机械臂上转动安装有基板托板的设计，能自由调整基板托板的位置，避免了人工调整时，在晶圆基板留下灰尘，使晶圆基板报废的问题发生。废的问题发生。废的问题发生。

【技术实现步骤摘要】
一种基板传送装置


[0001]本技术涉及机械加工设备
，具体为一种基板传送装置。

技术介绍

[0002]随着科学技术的不断发展，半导体制造技术也在不断地革新，而晶圆基板的生产则属于半导体制造技术的核心所在，然而在晶圆基板的加工过程需要不断的调整晶圆基板的位置，但是现有设备大多需要人工调整，大大降低了生产效率，甚至有时会在晶圆基板留下灰尘，使晶圆基板报废，降低良品率；而且现有设备一体性较强，每次故障时更换时间长，且更换零件多，大大增加了生产成本，因此我们需要提出一种基板传送装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种基板传送装置，能自动调整晶圆基板的位置，无需人工操作，避免了人工调整时，在晶圆基板留下灰尘，使晶圆基板报废的问题发生，且各个部件采用可拆卸结构，大大节约了维修时间，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基板传送装置，包括旋转底座所述旋转底座上固定安装有无杆气缸，所述无杆气缸的滑座上开设有两组螺纹盲孔，两组所述螺纹盲孔内部安装有第一螺栓式铰接销，所述螺栓式铰接销上转动连接有主机械臂，两组所述主机械臂的一端分别开设有连接孔，两组所述第一连接孔内部分别插接有铰链销，两组所述铰链销上分别转动安装有从动机械臂，所述两组从动机械臂的一端转动安装有第二螺栓式铰接销，所述第二螺栓式铰接销的一端固定安装有基板托板。
[0005]优选的，所述第一第一螺栓式铰接销和第二螺栓式铰接销均包括第一螺丝柱，所述第一螺纹柱的上端设置有固定板，所述固定板的上端设置有光杆，所述光杆的上端设置有第二螺纹柱，所述第二螺纹柱上端螺纹连接有限位板，所述主机械臂转动安装于所述光杆上。
[0006]优选的，所述旋转底座的一侧开设有固定孔，所述固定孔内通过轴承转动安装有支撑座。
[0007]优选的，所述动力组件的一端固定安装有支撑块，所述支撑块的一侧抵触于基板托板的下表面。
[0008]优选的，所述基板托板包括固定板和活动板，所述固定板的一侧开设有凹槽，所述凹槽两侧均开设有滑槽，两组所述滑槽内分别固定安装有弹簧，所活动板的一端固定安装有限位杆，所述限位杆滑动安装于所述滑槽内，且所述限位杆的两端分别抵触于两组所述弹簧的一端，所述固定板的一端与所述活动板的另一端分别固定安装有限位块。
[0009]优选的，所述从动机械臂的另一端开设有第二连接孔，所述第一连接孔与第二连接孔内均固定安装有轴套，所述铰链销穿过所述轴套与所述第一连接孔和第二连接孔转动连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]1、本技术通过在无杆气缸的滑座上转动安装有主机械臂，主机械臂转动连接有从动机械臂，从动机械臂上转动安装有基板托板的设计，能自由调整基板托板的位置，是放置在基板托板上的晶圆基板自由移动避免了人工调整时，在晶圆基板留下灰尘，使晶圆基板报废的问题发生。
[0012]2、本技术通过在主机械臂、从动机械臂、滑座和基板托板支之间使用的螺栓式铰接销和铰链销设计，能在设备故障时，快速拆卸，替换损坏零件，大大节约了维修时间。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图；
[0014]图2为本技术左视示意图；
[0015]图3为本技术支撑座的结构示意图；
[0016]图4为本技术基板托板的结构示意图；
[0017]图5为本技术主机械臂的结构示意图；
[0018]图6为本技术第一螺栓式铰接销和第二螺栓式铰接销的结构示意图。
[0019]图中：1、旋转底座；2、无杆气缸；3、螺纹盲孔；4、第一螺栓式铰接销；5、主机械臂；6、第一连接孔；7、铰链销；8、从动机械臂；9、第二螺栓式铰接销；10、基板托板；11、第一螺纹柱；12、固定板；13、光杆；14、第二螺纹柱；15、限位板；16、固定孔；17、支撑座；18、支撑块；19、支撑板；20、活动板；21、凹槽；22、滑槽；23、弹簧；24、限位杆；25、限位块；26、第二连接孔；27、轴套。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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6，本技术提供一种技术方案：一种基板传送装置，包括旋转底座1，旋转底座1的一侧开设有固定孔16，固定孔16内通过轴承转动安装有支撑座17旋转底座上固定安装有无杆气缸2，通过上述设计，旋转底座1可以旋转，可以带动无杆气缸2以及基板托板10的零部件整体进行角度上的多工位调节，增大工作范围。
[0022]无杆气缸2的滑座上开设有两组螺纹盲孔3，两组螺纹盲孔3内部安装有第一螺栓式铰接销4，第一螺栓式铰接销4和第二螺栓式铰接销9均包括第一螺纹柱11，第一螺纹柱11的上端设置有固定板12，固定板12的上端设置有光杆13，光杆13的上端设置有第二螺纹柱14，第二螺纹柱14上端螺纹连接有限位板15，第一螺栓式铰接销4上转动连接有主机械臂5，通过上述设计，能是主机械臂5在转动时一直保持水平旋转，不会产生上下虚位，避免了工件移动距离不够的问题产生。
[0023]两组主机械臂5的一端分别开设有第一连接孔6，两组第一连接孔6内部分别插接有铰链销7，两组铰链销7上分别转动安装有从动机械臂8，从动机械臂8的另一端开设有第二连接孔26，第一连接孔6与第二连接孔26内均固定安装有轴套27，铰链销7穿过轴套27与第一连接孔6和第二连接孔26转动连接，通过使用铰链销7连接，能在机械臂损坏时，快速拆
卸更换，节约维修时间，铰链销上套有轴套27能在铰链销7旋转时减少摩擦，提高了铰链销7的使用寿命。
[0024]两组从动机械臂8的一端转动安装有第二螺栓式铰接销9，第二螺栓式铰接销9的一端固定安装有基板托板10，基板托板10包括支撑板19和活动板20，支撑板19的一侧开设有凹槽21，凹槽21的两侧均开设有滑槽22，两组滑槽22的内部分别固定安装有弹簧23，所活动板20的一端固定安装有限位杆24，限位杆24滑动安装于滑槽22内，且限位杆24的两端分别抵触于两组弹簧23的一端，支撑板19的一端与活动板20的另一端分别固定安装有限位块25，通过上述设计，能夹持不能大小的基板，并且防止基板在加工过程中松动，导致基板报废，提高了生产的良品率，无杆气缸2的一端固定安装有支撑块18，支撑块18的一侧抵触于基板托板10的下表面，能大幅度减小基板托板在移动时产生的晃动，调高了传送装置的稳定性。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板传送装置，包括旋转底座(1)，其特征在于：所述旋转底座上固定安装有无杆气缸(2)，所述无杆气缸(2)的滑座上开设有两组螺纹盲孔(3)，两组所述螺纹盲孔(3)内部安装有第一螺栓式铰接销(4)，所述第一螺栓式铰接销(4)上转动连接有主机械臂(5)，两组所述主机械臂(5)的一端分别开设有第一连接孔(6)，两组所述第一连接孔(6)内部分别插接有铰链销(7)，两组所述铰链销(7)上分别转动安装有从动机械臂(8)，所述两组从动机械臂(8)的一端转动安装有第二螺栓式铰接销(9)，所述第二螺栓式铰接销(9)的一端固定安装有基板托板(10)。2.根据权利要求1所述的一种基板传送装置，其特征在于；所述第一螺栓式铰接销(4)和第二螺栓式铰接销(9)均包括第一螺纹柱(11)，所述第一螺纹柱(11)的上端设置有固定板(12)，所述固定板(12)的上端设置有光杆(13)，所述光杆(13)的上端设置有第二螺纹柱(14)，所述第二螺纹柱(14)上端螺纹连接有限位板(15)。3.根据权利要求1所述的一种基板传送装置，其特征在于；所述旋转底座(1)的一侧开设有固定孔(16)，所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：张耀辉，张永兵，马奔驰，
申请(专利权)人：合肥联顿恪智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：