一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构。包括箱体、齿轮组件、连接件和载片治具；其中，齿轮组件包括齿轮，具体的：所述连接件内的连接杆的一端可旋转的穿透箱体的第一侧面与载片治具连接，并且，所述载片治具设置在箱体内；所述连接件的另一端通过齿轮与齿轮组件轴连。本实用新型专利技术通过电动伸缩杆的动力，带动带齿链条做往复运动，使齿轮的可以进行正转和反转，实现与齿轮连接的载片治具进行前后180

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构。

技术介绍

[0002]随着真空镀膜技术的发展，对薄膜质量和镀膜效率提出了更高的要求。许多镀膜产品，比如半导体芯片，光学镜片，镜头等，在通常情况下需要进行双面镀膜。
[0003]目前，玻璃透镜，半导体芯片等镀件进行真空镀膜时，常常需要两面镀膜；先将镀膜机内腔清理干净，放入镀层材料将镀件放置于放入真空镀膜机内腔的旋转工件盘上，关闭镀膜机腔门，进行抽真空，当达到一定真空度后，镀膜材料经过电子枪加热蒸发到镀件表面，从而完成镀件一面镀膜，之后在降温恢复到常压，取出周转治具，把镀件翻面，再把周转工装放入镀膜机重复操作，由于工件双面镀膜时要两次进出镀膜机，两次进行抽真空，并且中途破真空一次，步骤多效率低，人工环节易出错漏未翻转等现象，且会降低镀件镀层的洁净度，现有的翻转机构结构复杂，步骤繁多，运行过程容易出现不翻转，卡顿，翻一半，中途卡死等各种问题。
[0004]鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本
亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的之一在于如何利用简单的结构，克服镀件两面镀膜过程中，需要取出镀件并进行人工翻面的问题。
[0006]本技术是这样实现的：
[0007]本技术提供一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构，包括箱体、齿轮组件、连接件和载片治具；其中，齿轮组件包括齿轮，具体的：
[0008]所述连接件内的连接杆的一端可旋转的穿透箱体的第一侧面与载片治具连接，并且，所述载片治具设置在箱体内；
[0009]所述连接件的另一端通过齿轮与齿轮组件轴连。
[0010]优选的，所述齿轮组件还包括带齿链条、滑轨和电动伸缩杆，具体的：
[0011]所述电动伸缩杆的一端与带齿链条的一端连接，且可沿着滑轨的方向前后移动的设置在滑轨上；
[0012]所述齿轮可旋转的与带齿链条的带齿面齿连。
[0013]优选的，所述箱体的第一侧面的外侧设置有支撑板，用于支撑齿轮组件。
[0014]优选的，所述连接件包括连接杆和连接轴，具体的：
[0015]所述连接轴设置在齿轮的轴孔内；所述连接杆的一端通过连接轴与齿轮连接，连接杆的另一端与载片治具固定连接。
[0016]优选的，所述箱体的第二侧面内部设置有凸起部，连接杆带动载片治具旋转至预设位置后与凸起部抵接，以便于对载片治具上的镀件进行限位镀膜。
[0017]优选的，所述载片治具包括载片外框、弹性件和卡板，具体的：
[0018]所述载片外框的内表面的两对侧面上分别设置有弹性件，并且，每个所述弹性件固定有一个卡板。
[0019]优选的，所述箱体内部的下表面设置有支撑杆，所述支撑杆的顶部连接有支撑环，所述连接杆套接在支撑环内。
[0020]优选的，所述对侧面上的卡板之间的距离大于镀件的长度。
[0021]优选的，所述带齿链条的长度大于等于齿轮周长的一半。
[0022]优选的，所述弹性件为螺旋弹性件、橡胶弹性件和气体弹性件中的一种或多种。
[0023]本技术通过电动伸缩杆的动力，带动带齿链条做往复运动，使齿轮的可以进行正转和反转，实现与齿轮连接的载片治具进行前后180
°
翻转。与现有技术相比,本技术没有复杂的激光定位过程，运转过程不易发生卡顿现象，本技术具有如下有益效果：工作原理简单，结构简单，通过连接杆带动设置在箱体内部的载片治具进行翻转，不易发生故障，提高镀膜效率，还可消除加工过程中因工件在外翻转而对洁净度的影响，在实际使用过程当中，更加的适合与真空镀膜领域。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0025]图1为本技术实施例提供的一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构的整体结构连接图；
[0026]图2为本技术实施例提供的一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构的齿轮组件结构连接图；
[0027]图3为本技术实施例提供的一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构的齿轮组件的另一种结构连接图；
[0028]图4为本技术实施例提供的一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构的支撑板、支撑杆、支撑环和凸起部四者结构位置分布图；
[0029]图5为本技术实施例提供的一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构的齿轮、连接杆和连接轴三者连接结构示意图；
[0030]图6为本技术实施例提供的一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构的载片治具内部结构示意图。
具体实施方式
[0031]在本技术的描述中，术语“内”、“外”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术而不是要求本专利技术必须以特定的方位构造和操作，因此不应当理解为对本专利技术的限制。
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]实施例1：
[0034]本技术实施例提供一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构，包括箱体1、齿轮组件2、连接件3和载片治具4；其中，齿轮组件2包括齿轮21，，具体的：
[0035]所述连接件3内的连接杆31的一端可旋转的穿透箱体1的第一侧面与载片治具4连接，并且，所述载片治具4设置在箱体1内；
[0036]所述连接件3的另一端通过齿轮21与齿轮组件2轴连。
[0037]如图1所示，为了展现本技术完整的结构连接图，连接杆31和齿轮21在图1中并未标出。本技术的连接杆31一端连接着齿轮组件2的齿轮21，连接杆31另一端连接有载片治具4。本技术通过齿轮组件2内的齿轮21转动带动连接转动，进而带动连接另一端连接的载片治具4转动；在对镀件进行镀膜的过程中，只需要利用齿轮组件2内的齿轮21转动带动载片治具4进行镀膜，当镀件一面镀膜完成后，通过齿轮21转动带动设置有镀件的载片治具4旋转180
°
进行翻面，进而实现镀件另一面的镀膜。相对于现有技术，本技术利用齿轮21带动设置在箱体1内的镀件进行翻面镀膜，结构简单，翻转平稳，不易发生故障，提高镀膜的效率，还可以消除加工过程中因工件在外翻转而对洁净度的影响。
[0038]为了阐述本技术完成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构，其特征在于，包括箱体(1)、齿轮组件(2)、连接件(3)和载片治具(4)；其中，齿轮组件(2)包括齿轮(21)、带齿链条(22)、滑轨(23)和电动伸缩杆(24)，具体的：所述电动伸缩杆(24)的一端与带齿链条(22)的一端连接，且可沿着滑轨(23)的方向前后移动的设置在滑轨(23)上；所述齿轮(21)可旋转的与带齿链条(22)的带齿面齿连；所述连接件(3)内的连接杆(31)的一端可旋转的穿透箱体(1)的第一侧面与载片治具(4)连接，并且，所述载片治具(4)设置在箱体(1)内；所述连接件(3)的另一端通过齿轮(21)与齿轮组件(2)轴连。2.根据权利要求1所述的用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构，其特征在于，所述箱体(1)的第一侧面的外侧设置有支撑板(11)，用于支撑齿轮组件(2)。3.根据权利要求1所述的用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构，其特征在于，所述连接件(3)包括连接杆(31)和连接轴(32)，具体的：所述连接轴(32)设置在齿轮(21)的轴孔内；所述连接杆(31)的一端通过连接轴(32)与齿轮(21)连接，连接杆(31)的另一端与载片治具(4)固定连接。4.根据权利要求3所述的用于真空双面连续镀膜的翻转...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿冠，张晓莉，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：