一种二维材料真空转移装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种二维材料真空转移装置，包括隔振平台、光学观察系统、精密操控台、控制器和真空系统，光学观察系统和精密操控台安装在隔振平台上；精密操控台包括腔外X轴电动位移台、腔外Y轴电动位移台、腔体转接板、下腔体、上腔体、真空促动器、旋转台腔外动力器、放气阀门、密封石英板、真空接线板、腔内X轴直线位移台、腔内Y轴直线位移台、腔内Z轴直线位移台、磁吸样品座、载玻片架子、真空旋转台、旋转过线装置、真空加热台。本发明专利技术能够解决现有技术腔体的体积较大、无法有效的实现XYZ三个轴串联驱动的技术问题。动的技术问题。动的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种二维材料真空转移装置


[0001]本专利技术涉及检测仪器
，特别是涉及一种二维材料真空转移装置。

技术介绍

[0002]随着科技的进步，以石墨烯为代表的二维材料受到广泛关注，二维材料是指电子仅可在两个维度的纳米尺度(1
‑
100nm)上自由运动(平面运动)的材料，在对二维材料进行研究、分析时，需要使用到二维材料真空转移装置。
[0003]现有的二维材料真空转移装置中，三轴位移台的动力输入轴设置在真空腔体的内部，导致腔体的体积较大，此外，现有的二维材料真空转移装置，将丝杆或齿轮传动的输入轴外置，无法有效的实现XYZ三个轴串联驱动。

技术实现思路

[0004]为此，本专利技术的目的在于提出一种二维材料真空转移装置，以解决现有技术腔体的体积较大、无法有效的实现XYZ三个轴串联驱动的技术问题。
[0005]本专利技术提供一种二维材料真空转移装置，包括隔振平台、光学观察系统、精密操控台、控制器和真空系统，光学观察系统和精密操控台安装在隔振平台上；
[0006]精密操控台包括腔外X轴电动位移台、腔外Y轴电动位移台、腔体转接板、下腔体、上腔体、真空促动器、旋转台腔外动力器、放气阀门、密封石英板、真空接线板、腔内X轴直线位移台、腔内Y轴直线位移台、腔内Z轴直线位移台、磁吸样品座、载玻片架子、真空旋转台、旋转过线装置、真空加热台；
[0007]X轴电动位移台安装在隔振平台上，X轴电动位移台、腔外Y轴电动位移台、腔体转接板、下腔体从下到上依次设置；
[0008]真空促动器、旋转台腔外动力器、放气阀门安装在下腔体和上腔体组成的腔体的外侧；
[0009]真空接线板、腔内X轴直线位移台、腔内Y轴直线位移台、腔内Z轴直线位移台、磁吸样品座安装在下腔体和上腔体组成的腔体的内部，且腔内X轴直线位移台、腔内Y轴直线位移台、腔内Z轴直线位移台、磁吸样品座在下腔体上从下到上依次设置；
[0010]载玻片架子安装在磁吸样品座上，真空旋转台安装在旋转过线装置上，真空加热台安装在真空旋转台上，密封石英板安装在上腔体上。
[0011]根据本专利技术提供的二维材料真空转移装置，将三轴位移台放在真空腔体内，动力输入轴放置在真空腔体外部，并实现对真空腔体内三轴位移台的操控，相较于将驱动部件放入腔体内部的解决方案，本专利技术可以大大减小腔体体积，此外，本专利技术的结构更加简单，且可以实现XYZ三个轴串联驱动。
[0012]作为一种实施方式，腔内X轴直线位移台包括腔内X轴直线位移台底座、腔内X轴直线位移台平台、交叉滚子导轨、拉伸弹簧、摩擦片；
[0013]X轴直线位移台底座固定在下腔体的底部，交叉滚子导轨安装在腔内X轴直线位移
台底座与腔内X轴直线位移台平台之间，腔内X轴直线位移台平台可以相对腔内X轴直线位移台底座做直线运动，腔内X轴直线位移台底座与腔内X轴直线位移台平台中间设有若干根拉伸弹簧，拉伸弹簧的一端固定在腔内X轴直线位移台底座的上表面，另一端固定在腔内X轴直线位移台平台的下表面，在拉伸弹簧处于自然状态时，腔内X轴直线位移台底座、腔内X轴直线位移台平台相对错开设置；摩擦片贴在腔内X轴直线位移台平台的前面，摩擦片的法线方向与腔内X轴直线位移台平台的运动方向相同，真空促动器的球头与摩擦片点接触，通过真空促动器的旋进和旋退来控制腔内X轴直线位移台平台做直线运动；
[0014]腔内Y轴直线位移台与腔内X轴直线位移台的结构相同，通过安装在下腔体两个相互垂直壁面上的两个真空触动器分别控制腔内X轴直线位移台和腔内Y轴直线位移台沿X轴和Y轴运动。
[0015]作为一种实施方式，腔内Z轴直线位移台包括腔内Z轴直线位移台底座、腔内Z轴直线位移台平台、腔内Z轴直线位移台交叉滚子导轨、腔内Z轴直线位移台压弹簧；
[0016]腔内Z轴直线位移台底座与腔内Z轴直线位移台平台通过腔内Z轴直线位移台交叉滚子导轨连接在一起，使得腔内Z轴直线位移台平台沿腔内Z轴直线位移台底座的法线方向做直线运动；
[0017]腔内Z轴直线位移台底座与腔内Z轴直线位移台平台之间有至少一个腔内Z轴直线位移台压弹簧，腔内Z轴直线位移台压弹簧用于抵抗腔内Z轴直线位移台平台及其上方安装的装置的重力，通过位于腔内Z轴直线位移台平台上表面法线方向的真空促动器来控制腔内Z轴直线位移台的升起与下降。
[0018]作为一种实施方式，下腔体为一个方形腔体，其正面和侧面共有六个真空部件接口，每个真空部件接口的中间设有贯穿到腔体内部的通孔，通孔四周有一圈未贯穿到腔体内部的螺纹孔，六个真空部件接口分别为：下腔体第一真空接口、下腔体第二真空接口、下腔体第三真空接口、下腔体第四真空接口、下腔体第五真空接口、下腔体第六真空接口；
[0019]下腔体第一真空接口用于安装放气阀门，下腔体第二真空接口用于安装Y轴的真空促动器，下腔体第三真空接口用于安装X轴的真空促动器，下腔体第四真空接口用于安装真空规，下腔体第五真空接口用于连接真空泵组，下腔体第六真空接口用于安装旋转台腔外动力器；
[0020]下腔体的腔壁上设有若干个下腔体锁紧螺纹孔、若干个定位销孔以及一个密封圈安装槽，密封圈安装槽的三个侧面的光洁度大于1.6，下腔体锁紧螺纹孔配合螺栓将上腔体与下腔体组装在一起，定位销孔用于安装定位销，定位销远离下腔体的一段连接上腔体的定位销孔以实现定位；
[0021]下腔体的后方设有真空接线板安装孔，真空接线板安装孔用于安装真空接线板；
[0022]下腔体底部的内表面设有用于异形槽，异形槽用于对Y轴的真空促动器与旋转过线装置的安装进行定位，异形槽的上表面设有多个下腔底安装孔，下腔底安装孔用于安装Y轴的真空促动器与旋转过线装置。
[0023]作为一种实施方式，上腔体为一个方形腔体，其下表面的光洁度大于1.6，上腔体的下表面设有多个定位销孔，定位销孔与定位销孔对应设置，上腔体的上表面设有上腔体真空接口，上腔体的上表面还设有方形槽，方形槽用于安装密封石英板，方形槽内设有异形密封圈槽，异形密封圈槽的3个面的光洁度大于1.6，异形密封圈槽用于安装第二密封圈，上
腔体的四周设有若干个上腔体锁紧沉头孔，上腔体锁紧沉头孔与下腔体锁紧螺纹孔对应设置。
[0024]作为一种实施方式，真空促动器包括真空促动器主体和真空促动器端面密封圈，真空促动器主体的驱动方式为电机驱动，当电机运转时，真空促动器的丝杆沿着丝杆的轴向旋转推进或退出，真空促动器的丝杆的顶端为球形，真空促动器的数量为三个，三个真空促动器分别安装在下腔体第二真空接口、下腔体第三真空接口和上腔体真空接口上。
[0025]作为一种实施方式，真空旋转台包括真空旋转台底座、真空旋转台台面、真空旋转台蜗轮安装座、真空旋转台蜗杆安装座、真空旋转台蜗轮、真空旋转台蜗杆、真空旋转台轴承、真空旋转台位置传感器；
[0026]真空旋转台的传动方式为蜗轮蜗杆传动，真空旋转台台面与真空旋转台蜗杆安装座将真空旋转台轴承的内圈夹在中间，通过螺栓紧锁在一起，并且使得三者紧锁在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二维材料真空转移装置，其特征在于，包括隔振平台(1)、光学观察系统(2)、精密操控台(3)、控制器和真空系统，光学观察系统(2)和精密操控台(3)安装在隔振平台(1)上；精密操控台(3)包括腔外X轴电动位移台(3
‑
1)、腔外Y轴电动位移台(3
‑
2)、腔体转接板(3
‑
3)、下腔体(3
‑
4)、上腔体(3
‑
5)、真空促动器(3
‑
6)、旋转台腔外动力器(3
‑
7)、放气阀门(3
‑
8)、密封石英板(3
‑
9)、真空接线板(3
‑
10)、腔内X轴直线位移台(3
‑
11)、腔内Y轴直线位移台(3
‑
12)、腔内Z轴直线位移台(3
‑
13)、磁吸样品座(3
‑
14)、载玻片架子(3
‑
15)、真空旋转台(3
‑
16)、旋转过线装置(3
‑
17)、真空加热台(3
‑
18)；腔外X轴电动位移台(3
‑
1)安装在隔振平台(1)上，腔外X轴电动位移台(3
‑
1)、腔外Y轴电动位移台(3
‑
2)、腔体转接板(3
‑
3)、下腔体(3
‑
4)从下到上依次设置；真空促动器(3
‑
6)、旋转台腔外动力器(3
‑
7)、放气阀门(3
‑
8)安装在下腔体(3
‑
4)和上腔体(3
‑
5)组成的腔体的外侧；真空接线板(3
‑
10)、腔内X轴直线位移台(3
‑
11)、腔内Y轴直线位移台(3
‑
12)、腔内Z轴直线位移台(3
‑
13)、磁吸样品座(3
‑
14)安装在下腔体(3
‑
4)和上腔体(3
‑
5)组成的腔体的内部，且腔内X轴直线位移台(3
‑
11)、腔内Y轴直线位移台(3
‑
12)、腔内Z轴直线位移台(3
‑
13)、磁吸样品座(3
‑
14)在下腔体(3
‑
4)上从下到上依次设置；载玻片架子(3
‑
15)安装在磁吸样品座(3
‑
14)上，真空旋转台(3
‑
16)安装在旋转过线装置(3
‑
17)上，真空加热台(3
‑
18)安装在真空旋转台(3
‑
16)上，密封石英板(3
‑
9)安装在上腔体(3
‑
5)上。2.根据权利要求1所述的二维材料真空转移装置，其特征在于，腔内X轴直线位移台(3
‑
11)包括腔内X轴直线位移台底座(3
‑
11
‑
1)、腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)、交叉滚子导轨(3
‑
11
‑
3)、拉伸弹簧(3
‑
11
‑
4)、摩擦片(3
‑
11
‑
5)；X轴直线位移台底座(3
‑
11
‑
1)固定在下腔体(3
‑
4)的底部，交叉滚子导轨(3
‑
11
‑
3)安装在腔内X轴直线位移台底座(3
‑
11
‑
1)与腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)之间，腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)可以相对腔内X轴直线位移台底座(3
‑
11
‑
1)做直线运动，腔内X轴直线位移台底座(3
‑
11
‑
1)与腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)中间设有若干根拉伸弹簧(3
‑
11
‑
4)，拉伸弹簧(3
‑
11
‑
4)的一端固定在腔内X轴直线位移台底座(3
‑
11
‑
1)的上表面，另一端固定在腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)的下表面，在拉伸弹簧(3
‑
11
‑
4)处于自然状态时，腔内X轴直线位移台底座(3
‑
11
‑
1)、腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)相对错开设置；摩擦片(3
‑
11
‑
5)贴在腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)的前面，摩擦片(3
‑
11
‑
5)的法线方向与腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)的运动方向相同，真空促动器(3
‑
6)的球头与摩擦片(3
‑
11
‑
5)点接触，通过真空促动器(3
‑
6)的旋进和旋退来控制腔内X轴直线位移台平台(3
‑
11
‑
2)做直线运动；腔内Y轴直线位移台(3
‑
12)与腔内X轴直线位移台(3
‑
11)的结构相同，通过安装在下腔体(3
‑
4)两个相互垂直壁面上的两个真空触动器(3
‑
6)分别控制腔内X轴直线位移台(3
‑
11)和腔内Y轴直线位移台(3
‑
12)沿X轴和Y轴运动。3.根据权利要求2所述的二维材料真空转移装置，其特征在于，腔内Z轴直线位移台(3
‑
13)包括腔内Z轴直线位移台底座(3
‑
13
‑
1)、腔内Z轴直线位移台平台(3
‑
13
‑
2)、腔内Z轴直线位移台交叉滚子导轨(3
‑
13
‑
3)、腔内Z轴直线位移台压弹簧(3
‑
13
‑
4)；
腔内Z轴直线位移台底座(3
‑
13
‑
1)与腔内Z轴直线位移台平台(3
‑
13
‑
2)通过腔内Z轴直线位移台交叉滚子导轨(3
‑
13
‑
3)连接在一起，使得腔内Z轴直线位移台平台(3
‑
13
‑
2)沿腔内Z轴直线位移台底座(3
‑
13
‑
1)的法线方向做直线运动；腔内Z轴直线位移台底座(3
‑
13
‑
1)与腔内Z轴直线位移台平台(3
‑
13
‑
2)之间有至少一个腔内Z轴直线位移台压弹簧(3
‑
13
‑
4)，腔内Z轴直线位移台压弹簧(3
‑
13
‑
4)用于抵抗腔内Z轴直线位移台平台(3
‑
13
‑
2)及其上方安装的装置的重力，通过位于腔内Z轴直线位移台平台(3
‑
13
‑
2)上表面法线方向的真空促动器(3
‑
6)来控制腔内Z轴直线位移台(3
‑
13)的升起与下降。4.根据权利要求1所述的二维材料真空转移装置，其特征在于，下腔体(3
‑
4)为一个方形腔体，其正面和侧面共有六个真空部件接口，每个真空部件接口的中间设有贯穿到腔体内部的通孔，通孔四周有一圈未贯穿到腔体内部的螺纹孔，六个真空部件接口分别为：下腔体第一真空接口(3
‑4‑
1)、下腔体第二真空接口(3
‑4‑
2)、下腔体第三真空接口(3
‑4‑
3)、下腔体第四真空接口(3
‑4‑
4)、下腔体第五真空接口(3
‑4‑
5)、下腔体第六真空接口(3
‑4‑
6)；下腔体第一真空接口(3
‑4‑
1)用于安装放气阀门(3
‑
8)，下腔体第二真空接口(3
‑4‑
2)用于安装Y轴的真空促动器(3
‑
6)，下腔体第三真空接口(3
‑4‑
3)用于安装X轴的真空促动器(3
‑
6)，下腔体第四真空接口(3
‑4‑
4)用于安装真空规，下腔体第五真空接口(3
‑4‑
5)用于连接真空泵组，下腔体第六真空接口(3
‑4‑
6)用于安装旋转台腔外动力器(3
‑
7)；下腔体(3
‑
4)的腔壁上设有若干个下腔体锁紧螺纹孔(3
‑4‑
7)、若干个定位销孔(3
‑4‑
8)以及一个密封圈安装槽，密封圈安装槽的三个侧面的光洁度大于1.6，下腔体锁紧螺纹孔(3
‑4‑
7)配合螺栓将上腔体(3
‑
5)与下腔体(3
‑
4)组装在一起，定位销孔(3
‑4‑
8)用于安装定位销，定位销远离下腔体(3
‑
4)的一段连接上腔体(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈汉阳，许智，王水元，
申请(专利权)人：东莞市卓聚科技有限公司，
类型：发明
国别省市：