一种读出电路铟柱成球批量制备系统及方法技术方案

本发明专利技术提供了一种读出电路铟柱成球批量制备系统及方法，该系统包括：石英平底培养皿、第一培养皿、第二培养皿、读出电路载具及清洗台，所述石英平底培养皿、第一培养皿及第二培养皿用于设置溶液对读出电路进行浸泡，所述读出电路载具用于设置所述读出电路，所述清洗台用于对读出电路进行浸泡、清洗及吹干。本发明专利技术提供的读出电路铟柱成球批量制备系统及方法，无需人工介入，能够避免人工介入失误过多造成电路管芯损坏，能够实现读出电路铟柱成球批量制备，提高了工艺效率。提高了工艺效率。提高了工艺效率。

【技术实现步骤摘要】
一种读出电路铟柱成球批量制备系统及方法


[0001]本专利技术涉及读出电路铟柱成球
，特别是涉及一种读出电路铟柱成球批量制备系统及方法。

技术介绍

[0002]随着半导体工业的发展，焦平面红外探测器需求趋于高性能、高精度、高范围探测能力、体积小型化等。焦平面红外探测器芯片表面像元设计越来越小，间距越来越窄，数量在可控面积大小范围内越来越多。相对应读出电路表面应设计提供与芯片像元匹配的铟柱数量，例如目前国内先进的4K x 4K焦平面红外探测器芯片，其芯片与电路上的有效像元和其它元在48mmX49mm范围内集成了约16000000个像元。读出电路铟柱制备工艺可以使这一千六百万个像元实现有效电连接。经过设计的铟柱完成成球工艺形成球状，比未成球的柱状铟高且表面光滑圆润，更利于实现高密度电学连接。铟柱成球工艺作为读出电路制备工艺中的最后一步，其成球效果直接影响电学连接效果。目前的成球工艺是纯手工操作，对单个读出电路进行逐一成球，对于大批量电路铟柱成球来说，效率低下且损失严重。因此，设计一种读出电路铟柱成球批量制备系统及方法是十分有必要的。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种读出电路铟柱成球批量制备系统及方法，无需人工介入，能够避免人工介入失误过多造成电路管芯损坏，能够实现读出电路铟柱成球批量制备，提高了工艺效率。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0005]一种读出电路铟柱成球批量制备系统，包括：石英平底培养皿、第一培养皿、第二培养皿、读出电路载具及清洗台，所述石英平底培养皿、第一培养皿及第二培养皿用于设置溶液对读出电路进行浸泡，所述读出电路载具用于设置所述读出电路，所述清洗台用于对读出电路进行浸泡、清洗及吹干；
[0006]所述清洗台的顶部前侧设置有第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽及加热台，所述清洗台的顶部后侧设置有吹风系统，所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的底部均设置有排水槽，通过排水槽将液体排出清洗台，所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的顶部均设置有旋转器，所述旋转器用于放置所述石英平底培养皿、第一培养皿、第二培养皿及读出电路载具，并带动其旋转，所述清洗台的正面对应所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的旋转器设置有三个旋转器控制模块，三个旋转器控制模块电性连接所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的旋转器，用于实现对旋转器的控制，所述清洗台的正面对应所述加热台设置有加热控制模块，所述加热控制模块电性连接所述加热台，用于实现对加热台的控制。
[0007]可选的，所述石英平底培养皿为9英寸石英平底培养皿，所述第一培养皿及第二培养皿均为9英寸培养皿，所述读出电路载具为8英寸读出电路载具。
[0008]本专利技术还提供了一种读出电路铟柱成球批量制备方法，应用于上述的读出电路铟柱成球批量制备系统，包括如下步骤：
[0009]步骤1：将待成球的读出电路放置在读出电路载具中，将读出电路载具放置在清洗台的第二清洗槽中，通过定位栓将读出电路载具固定设置在第二清洗槽的旋转器中，向第二清洗槽中注入丙酮溶液，并控制第二清洗槽的旋转器以20
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30转/分钟的速度运行5
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7分钟，运行完毕后，排空第二清洗槽的丙酮溶液，并向第二清洗槽中重新注入新的丙酮溶液，并控制第二清洗槽的旋转器以20
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30转/分钟的速度运行5
‑
7分钟，运行完毕后，打开定位栓，取出读出电路载具；
[0010]步骤2：将读出电路载具放置在第三清洗槽中，并通过定位栓将读出电路载具固定设置在第三清洗槽的旋转器中，向第三清洗槽中注入无水乙醇溶液，并控制第三清洗槽的旋转器以20
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30转/分钟的速度运行5
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7分钟，运行完毕后，排空第三清洗槽的无水乙醇溶液，并向第三清洗槽中重新注入新的无水乙醇溶液，并控制第三清洗槽的旋转器以20
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30转/分钟的速度运行5
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7分钟，运行完毕后，打开定位栓，取出读出电路载具；
[0011]步骤3：通过吹风系统使用压力为1500Mpa至2000Mpa的氮气吹干读出电路载具及读出电路；
[0012]步骤4：向石英平底培养皿中注入配比为100
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150:1的丙三醇及氯化铵的混合溶液，并将石英平底培养皿平行放置在清洗台的加热台上，通过加热控制模块调整加热台的温度加热至190
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220℃，并保持15
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30分钟，将读出电路载具倾斜缓慢放入石英平底培养皿中，保持70
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100秒，将读出电路载具倾斜缓慢从石英平底培养皿中取出；
[0013]步骤5：向第一培养皿中注入温度为30
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50℃无水乙醇，将读出电路载具放入第一培养皿中静置10
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30分钟，将第一培养皿中无水乙醇清空，放入第一清洗槽，使用流速为0.7
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1m/s的去离子水冲洗10
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30分钟，冲洗完毕后，将第一培养皿取出，并将第一培养皿中的读出电路载具取出；
[0014]步骤6：将读出电路载具放置在第一清洗槽中，并通过定位栓将读出电路载具固定设置在第一清洗槽的旋转器中，向第一清洗槽中注入无水乙醇溶液，并控制第一清洗槽的旋转器旋转运行5
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10分钟，结束后取出读出电路载具；
[0015]步骤7：向第二培养皿中注入无水乙醇溶液，并将读出电路载具放入第二培养皿中浸泡5
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10分钟，结束后，取出读出电路载具，并通过吹风系统使用压力为1500Mpa至2000Mpa的氮气吹干读出电路载具及读出电路。
[0016]根据本专利技术提供的具体实施例，本专利技术公开了以下技术效果：本专利技术提供的读出电路铟柱成球批量制备系统及方法，该系统设置有石英平底培养皿、第一培养皿、第二培养皿、读出电路载具及清洗台，其中，石英平底培养皿、第一培养皿及第二培养皿用于设置溶液对读出电路进行浸泡，读出电路载具用于设置所述读出电路，清洗台用于对读出电路进行浸泡、清洗及吹干，通过该系统能够实现读出电路铟柱成球批量制备；该方法首先通过丙酮溶液溶解电路表面光刻胶，使用高温丙三醇和氢氟酸混合溶液使电路表面铟柱通过其自身表面张力形成球状，使用加温去离子水缓慢降温，消除温差给电路铟球带来的作用力，通过去离子水的持续冲洗可以极好的去除载具及读出电路上残留的丙三醇混合溶液，使用无水乙醇对载具及读出电路进行脱水处理，使用氮气可迅速吹干载具及读出电路上的无水乙醇溶液。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为清洗台主视图；
[0019]图2为清洗台俯视图；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种读出电路铟柱成球批量制备系统，其特征在于，包括：石英平底培养皿、第一培养皿、第二培养皿、读出电路载具及清洗台，所述石英平底培养皿、第一培养皿及第二培养皿用于设置溶液对读出电路进行浸泡，所述读出电路载具用于设置所述读出电路，所述清洗台用于对读出电路进行浸泡、清洗及吹干；所述清洗台的顶部前侧设置有第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽及加热台，所述清洗台的顶部后侧设置有吹风系统，所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的底部均设置有排水槽，通过排水槽将液体排出清洗台，所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的顶部均设置有旋转器，所述旋转器用于放置所述石英平底培养皿、第一培养皿、第二培养皿及读出电路载具，并带动其旋转，所述清洗台的正面对应所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的旋转器设置有三个旋转器控制模块，三个旋转器控制模块电性连接所述第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽的旋转器，用于实现对旋转器的控制，所述清洗台的正面对应所述加热台设置有加热控制模块，所述加热控制模块电性连接所述加热台，用于实现对加热台的控制。2.根据权利要求1所述的读出电路铟柱成球批量制备系统，其特征在于，所述石英平底培养皿为9英寸石英平底培养皿，所述第一培养皿及第二培养皿均为9英寸培养皿，所述读出电路载具为8英寸读出电路载具。3.一种读出电路铟柱成球批量制备方法，应用于权利要求1
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2任一所述的读出电路铟柱成球批量制备系统，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将待成球的读出电路放置在读出电路载具中，将读出电路载具放置在清洗台的第二清洗槽中，通过定位栓将读出电路载具固定设置在第二清洗槽的旋转器中，向第二清洗槽中注入丙酮溶液，并控制第二清洗槽的旋转器以20
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30转/分钟的速度运行5
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7分钟，运行完毕后，排空第二清洗槽的丙酮溶液，并向第二清洗槽中重新注入新的丙酮溶液，并控制第二清洗槽的旋转器以20
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30转/分钟的速度运行5
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7分钟，运行完毕后，打开定位栓，取出读出电路载具；步骤2：将读出电路载具放置在第三清...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓大伟，邱国臣，
申请(专利权)人：河北天翼红外科技有限公司，
类型：发明
国别省市：