本申请公开了一种应用于CVD反应器的升降装置以及CVD系统。该升降装置包括驱动组件及传动组件。其中，该传动组件包括传动承载件，传动承载件与驱动组件传动连接，并用于与盖体弹性连接。该传动组件还包括弹性连接件，弹性连接件至少包括第一弹性件，第一弹性件能够位于传动承载件与盖体之间，驱动组件通过传动承载件带动盖体朝基座移动，以当盖体盖设于基座时，第一弹性件用于使得盖体具有朝基座移动的趋势。通过上述方式，本申请能够延长CVD反应器的基座和盖体之间所应用密封件的使用寿命。的基座和盖体之间所应用密封件的使用寿命。的基座和盖体之间所应用密封件的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
应用于CVD反应器的升降装置以及CVD系统
[0001]本申请涉及化学气相沉积设备
，具体涉及一种应用于CVD反应器的升降装置以及CVD系统。
技术介绍
[0002]CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)是指利用化学气体在基质表面反应合成膜层的方法，其是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术。CVD反应器提供反应腔室，供化学气体在基质表面沉积形成膜层。
[0003]CVD反应器的上盖和基座之间通常通过密封圈等密封件进行密封。然而， CVD反应器的上盖容易倾斜，导致当上盖和基座配合夹持密封圈时密封圈的局部位置容易被过度压服，致使密封圈的使用寿命大大缩短。
技术实现思路
[0004]本申请提供一种应用于CVD反应器的升降装置以及CVD系统，能够延长 CVD反应器的基座和盖体之间所应用密封件的使用寿命。
[0005]本申请提供一种应用于CVD反应器的升降装置。该CVD反应器包括基座和盖体，盖体能够盖设于基座以形成反应腔室。该升降装置包括驱动组件及传动组件。其中，该传动组件包括传动承载件，传动承载件与驱动组件传动连接，并用于与盖体弹性连接。该传动组件还包括弹性连接件，弹性连接件至少包括第一弹性件，第一弹性件能够位于传动承载件与盖体之间，驱动组件通过传动承载件带动盖体朝基座移动，以当盖体盖设于基座时，第一弹性件用于使得盖体具有朝基座移动的趋势。
[0006]在本申请的一实施例中，弹性连接件还包括：第二弹性件，设于传动承载件背离第一弹性件的一侧。
[0007]在本申请的一实施例中，弹性连接件还包括：第一连接件，相对于传动承载件可移动设置；其中，第一弹性件和第二弹性件均套设于第一连接件的外周。
[0008]在本申请的一实施例中，传动组件还包括：润滑护套，设于第一连接件和传动承载件之间。
[0009]在本申请的一实施例中，盖体包括：本体；过渡连接件，过渡连接件与本体固定连接，传动承载件通过第一弹性件与过渡连接件弹性连接，以使传动承载件间接地与本体弹性连接。
[0010]在本申请的一实施例中，传动组件还包括：限位件，设于限位件与传动承载件固定连接，盖体相对于传动承载件具有弹性运动路径及弹性运动行程，且限位件通过的至少部分位于盖体的弹性运动路径上，并以止挡过渡连接件或盖体的本体的方式对盖体朝远离传动承载件的方向的移动进行限制。
[0011]在本申请的一实施例中，过渡连接件和限位件中的一者设有定位柱，另一者设有定位孔，定位柱能够插接于定位孔中，以固定传动承载件和过渡连接件之间的相对位置关
系。
[0012]在本申请的一实施例中，限位件包括：连接主体，设于传动承载件；限位部，可拆卸地连接到连接主体，且限位部与过渡连接件可抵接设置，以限制过渡连接件朝远离传动承载件的方向移动。
[0013]在本申请的一实施例中，驱动组件驱动传动承载件沿设定直线方向移动，使得传动承载件带动盖体朝基座移动，传动承载件具有设定圆周方向，其中设定圆周方向定义的平面垂直于设定直线方向；传动组件包括多个弹性连接件，多个弹性连接件沿设定圆周方向依次间隔分布。
[0014]在本申请的一实施例中，驱动组件包括：驱动件；联动件，传动连接驱动件；升降杆，分别传动连接传动承载件和联动件。
[0015]相应地，本申请还提供一种CVD系统。该CVD系统包括CVD反应器和升降装置。该CVD反应器包括基座和盖体，盖体能够盖设于基座以形成反应腔室。该升降装置包括驱动组件及传动组件。其中，该传动组件包括传动承载件，传动承载件与驱动组件传动连接，并用于与盖体弹性连接。该传动组件还包括弹性连接件，弹性连接件至少包括第一弹性件，第一弹性件能够位于传动承载件与盖体之间，驱动组件通过传动承载件带动盖体朝基座移动，以当盖体盖设于基座时，第一弹性件用于使得盖体具有朝基座移动的趋势。
[0016]本申请的有益效果是：区别于现有技术，本申请提供一种应用于CVD反应器的升降装置以及CVD系统。该升降装置的驱动组件通过传动承载件带动 CVD反应器的盖体朝基座移动，以当盖体盖设于基座时，第一弹性件用于使得盖体具有朝基座移动的趋势。换言之，本申请通过第一弹性件保持盖体抵压基座，能够尽可能避免盖体和基座之间所应用密封件被过度压服，因而能够延长密封件的使用寿命。并且，本申请通过第一弹性件使得盖体的运动控制获得更大的余量，能够降低对驱动组件的控制精度的要求，因而能够降低对升降装置整体的要求，有利于提高升降装置整体的容错率。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本申请CVD系统一实施例的结构示意图；
[0019]图2是本申请CVD系统一实施例的剖面结构示意图；
[0020]图3是图2所示CVD系统A区域的结构示意图；
[0021]图4是图2所示CVD系统另一状态的结构示意图；
[0022]图5是本申请盖体和基座的对接情况一实施例的结构示意图；
[0023]图6是本申请传动承载件一实施例的结构示意图。
[0024]附图标记说明：
[0025]10CVD系统、11支座、20CVD反应器、21基座、22盖体、221本体、 23反应腔室、24密封件、25承载座、26加热结构、30升降装置、31驱动组件、311驱动件、312联动件、313升降杆、32传动组件、321传动承载件、 322第一弹性件、323第二弹性件、324第一连接件、325润滑护
套、326过渡连接件、327限位件、3271连接主体、3272限位部、328定位柱、329第二连接件、33弹性连接件。
具体实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本申请，并不用于限制本申请。在本申请中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”、“下”、“左”、“右”通常是指装置实际使用或工作状态下的上、下、左和右，具体为附图中的图面方向。
[0027]本申请提供一种应用于CVD反应器的升降装置以及CVD系统，以下分别进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对本申请实施例优选顺序的限定。且在以下实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其它实施例的相关描述。
[0028]为解决现有技术中CVD反应器应用的密封圈使用寿命短的技术问题，本申请的一实施例提供一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于CVD反应器的升降装置，其特征在于，所述CVD反应器包括基座和盖体，所述盖体能够盖设于所述基座以形成反应腔室，所述升降装置包括：驱动组件；及传动组件；其中，所述传动组件包括：传动承载件，所述传动承载件与所述驱动组件传动连接，并用于与所述盖体弹性连接；及弹性连接件，所述弹性连接件至少包括第一弹性件，所述第一弹性件能够位于所述传动承载件与所述盖体之间，所述驱动组件通过所述传动承载件带动所述盖体朝所述基座移动，以当所述盖体盖设于所述基座时，所述第一弹性件用于使得所述盖体具有朝所述基座移动的趋势。2.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述弹性连接件还包括：第二弹性件，设于所述传动承载件背离所述第一弹性件的一侧。3.根据权利要求2所述的升降装置，其特征在于，所述弹性连接件还包括：第一连接件，相对于所述传动承载件可移动设置；其中，所述第一弹性件和所述第二弹性件均套设于所述第一连接件的外周。4.根据权利要求3所述的升降装置，其特征在于，所述传动组件还包括：润滑护套，设于所述第一连接件和所述传动承载件之间。5.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述盖体包括：本体；过渡连接件，所述过渡连接件与所述本体固定连接，所述传动承载件通过所述第一弹性件与所述过渡连接件弹性连接，以使所述传动承载件间接地与所述本体弹性连接。6.根据权利要求5所述的升降装置，其特征在于，所述传动组件还包括：限位件，所述限位件与所述传动承载件固定连接，所述盖体相对于所述传动承载件具有弹性运动路径，所述限位件的至少部分位于所述弹性运动路径上，并以止挡所述过渡连接件或所述本体的方式对所述盖体朝远离所述传动承载件的方向的移动进行限制。7.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：无锡先为科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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