一种基片载具燕尾制造技术

本申请提供一种基片载具燕尾，基片载具燕尾包括连接部、第一燕尾部和第二燕尾部；连接部用于连接基片载具；第一燕尾部连接于连接部的周侧，并向外凸伸；第一燕尾部设有第一圆弧部；第二燕尾部连接于连接部的周侧，并处于第一燕尾部的一侧；第二燕尾部设有第二圆弧部，第二圆弧部和第一圆弧部相对布置，并圆弧过渡连接，且围合形成插接槽，插接槽用于与拔杆间隙配合，此时，插接槽与拔杆间隙配合，并且缩短了插接槽的内侧壁和拔杆之间的活动余量，限制基片载具燕尾相对于拔杆的活动量，保证基片载具燕尾在随着拔杆的带动下翻转时与拔杆持续贴合，从而避免基片载具在下落过程中随着现有的基片载具燕尾的翻转容易产生突然下落的风险。险。险。

【技术实现步骤摘要】
一种基片载具燕尾


[0001]本申请属于基片载具的
，尤其涉及一种基片载具燕尾。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，光学镀膜机包括真空腔室、电子枪坩埚、加热装置、基片伞架和观察窗等，电子枪坩埚、基片伞架均位于真空腔室中，基片载具燕尾固定在基片载具上面，基片载具放置在基片伞架上，基片载具通过基片载具燕尾进行翻转以完成基片镀膜工艺。
[0003]在现有技术中，基片载具燕尾连接于基片载具的一端，并在处于转动状态的拔杆的带动下实现翻转，此时，基片载具燕尾包括相连接的两个圆柱体，两个圆柱体之间具有较大的角度，使得两个圆柱体之间的空间较大，拔杆在转动过程中插接于两个圆柱体之间的空间，并在抵接其中一个圆柱体时带动基片载具的翻转，拔杆处于两个圆柱体之间的空间内，并且与圆柱体之间具有较大的活动余量，使得现有的基片载具燕尾和拔杆之间具有较大的活动余量，导致基片载具在下落过程中随着现有的基片载具燕尾的翻转容易产生突然下落的风险。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种基片载具燕尾，以解决现有的基片载具在下落过程中随着现有的基片载具燕尾的翻转容易产生突然下落的风险的问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种基片载具燕尾，包括：
[0006]连接部，用于连接基片载具；
[0007]第一燕尾部，连接于所述连接部的周侧，并向外凸伸；所述第一燕尾部设有第一圆弧部；
[0008]第二燕尾部，连接于所述连接部的周侧，并处于所述第一燕尾部的一侧；所述第二燕尾部设有第二圆弧部，所述第二圆弧部和所述第一圆弧部相对布置，并圆弧过渡连接，且围合形成插接槽；所述插接槽用于与拔杆间隙配合。
[0009]可选的，所述插接槽设有相对布置的两平面部，两所述平面部可择一地贴合所述拔杆的侧壁。
[0010]可选的，两所述平面部之间的距离大于或等于所述拔杆的厚度。
[0011]可选的，两所述平面部分别与所述第二圆弧部和所述第一圆弧部之间圆弧过渡连接。
[0012]可选的，所述第二圆弧部和所述第一圆弧部之间围合形成导向空间，并对处于所述导向空间的所述拔杆进行导向。
[0013]可选的，所述导向空间呈八字形。
[0014]可选的，所述导向空间连通所述插接槽，所述拔杆依次经过所述导向空间和所述插接槽。
[0015]可选的，所述第一燕尾部的外表面设有第一凹槽；所述基片载具燕尾还包括第一
弹性件，所述第一弹性件套接于所述第一凹槽，所述第一弹性件的一端超出所述第一凹槽。
[0016]可选的，所述第二燕尾部的外表面设有第二凹槽；所述基片载具燕尾还包括第二弹性件，所述第二弹性件套接于所述第二凹槽，所述第二弹性件的一端超出所述第二凹槽。
[0017]可选的，所述第一弹性件和所述第二弹性件反向布置。
[0018]本申请实施例提供的一种基片载具燕尾，连接部用于连接基片载具；第一燕尾部连接于所述连接部的周侧，并向外凸伸；所述第一燕尾部设有第一圆弧部；第二燕尾部连接于所述连接部的周侧，并处于所述第一燕尾部的一侧；所述第二燕尾部设有第二圆弧部，所述第二圆弧部和所述第一圆弧部相对布置，并圆弧过渡连接，且围合形成插接槽，所述插接槽用于与拔杆间隙配合，此时，所述插接槽与拔杆间隙配合，并且缩短了所述插接槽的内侧壁和拔杆之间的活动余量，限制基片载具燕尾相对于拔杆的活动量，保证基片载具燕尾在随着拔杆的带动下翻转时与拔杆持续贴合，从而避免基片载具在下落过程中随着现有的基片载具燕尾的翻转容易产生突然下落的风险，另外，通过第二圆弧部和第一圆弧部导向拔杆相对于插接槽的插接，提高拔杆插接于插接槽的效率，从而保证拔杆对基片载具燕尾的带动顺畅性。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。
[0021]图1为本申请实施例提供的基片载具燕尾的示意图。
[0022]图2为本申请实施例提供的基片载具燕尾的主视图。
具体实施方式
[0023]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0024]本申请实施例提供一种基片载具燕尾100，以解决现有的基片载具在下落过程中随着现有的基片载具燕尾的翻转容易产生突然下落的风险的问题。
[0025]参考图1和图2，本申请实施例提供一种基片载具燕尾100，基片载具燕尾100包括连接部10、第一燕尾部20和第二燕尾部30，第一燕尾部20和第二燕尾部30分别连接于连接部10的周侧。
[0026]连接部10作为基片载具燕尾100的一部分，用于连接基片载具；其中，连接部10可以为圆柱体，并套接于基片载具的前端，此处不做限定。
[0027]第一燕尾部20连接于连接部10的周侧，并向外凸伸；第一燕尾部20设有第一圆弧部21，第一圆弧部21由内向外延伸，在拔杆进入至基片载具燕尾100时，第一圆弧部21的圆弧引导拔杆，并且与拔杆的外表面相切，提高拔杆插接基片载具燕尾100的效率，从而保证
拔杆对基片载具燕尾100的带动顺畅性。
[0028]第二燕尾部30连接于连接部10的周侧，并处于第一燕尾部20的一侧；第二燕尾部30设有第二圆弧部31，第二圆弧部31和第一圆弧部21相对布置，并圆弧过渡连接，且围合形成插接槽40；插接槽40用于与拔杆间隙配合，此时，插接槽40与拔杆间隙配合，并且缩短了插接槽40的内侧壁和拔杆之间的活动余量，限制基片载具燕尾100相对于拔杆的活动量，保证基片载具燕尾100在随着拔杆的带动下翻转时与拔杆持续贴合，从而避免基片载具在下落过程中随着现有的基片载具燕尾100的翻转容易产生突然下落的风险，另外，通过第二圆弧部31和第一圆弧部21导向拔杆相对于插接槽40的插接，提高拔杆插接于插接槽40的效率，从而保证拔杆对基片载具燕尾100的带动顺畅性。
[0029]其中，插接槽40设有相对布置的两平面部41，两平面部41可择一地贴合拔杆的侧壁，并且另一平面部41与拔杆的另一侧壁之间较小的间隙，保证了插接槽40和拔杆之间的间隙配合，允许拔杆插接于插接槽40，并降低拔杆相对于插接槽40的活动量，保证基片载具燕尾100在随着拔杆的带动下翻转时与拔杆持续贴合，从而避免基片载具在下落过程中随着现有的基片载具燕尾100的翻转容易产生突然下落的风险。可选的，两平面部41之间的距离大于或等于拔杆的厚度。
[0030]两平面部41分别本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基片载具燕尾，其特征在于，包括：连接部，用于连接基片载具；第一燕尾部，连接于所述连接部的周侧，并向外凸伸；所述第一燕尾部设有第一圆弧部；第二燕尾部，连接于所述连接部的周侧，并处于所述第一燕尾部的一侧；所述第二燕尾部设有第二圆弧部，所述第二圆弧部和所述第一圆弧部相对布置，并圆弧过渡连接，且围合形成插接槽；所述插接槽用于与拔杆间隙配合。2.根据权利要求1所述的一种基片载具燕尾，其特征在于，所述插接槽设有相对布置的两平面部，两所述平面部可择一地贴合所述拔杆的侧壁。3.根据权利要求2所述的一种基片载具燕尾，其特征在于，两所述平面部之间的距离大于或等于所述拔杆的厚度。4.根据权利要求2所述的一种基片载具燕尾，其特征在于，两所述平面部分别与所述第二圆弧部和所述第一圆弧部之间圆弧过渡连接。5.根据权利要求2所述的一种基片载具燕尾，其特征在于，所述第二圆弧部和所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊凯，王俊，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：