坩埚托杆和单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种坩埚托杆和单晶炉。坩埚托杆包括托盘、托杆轴和第一固定件；托盘用于与坩埚连接；托杆轴用于与驱动装置连接，托杆轴的轴向与托盘垂直设置，托杆轴位于托盘远离坩埚的一侧；第一固定件穿过托盘插入托杆轴中，且与托杆轴可拆卸连接。该坩埚托杆，由于第一固定件与托杆轴可拆卸连接，在运输坩埚托杆时，可以将托盘和托杆轴分开运输，节省包装费用和占用空间，从而降低运输成本。并且，在安装托盘和托杆轴时，只需匹配第一固定件与托杆轴的尺寸型号，托盘和托杆轴不需要唯一对应，使得托盘和托杆轴具有可替代性，当托盘和托杆轴中有一个损坏，只需要更换损坏的部分，而不是更换整个坩埚托杆，有效降低了坩埚托杆的替换成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
坩埚托杆和单晶炉


[0001]本技术涉及单晶硅制造设备
，特别是涉及坩埚托杆和单晶炉。

技术介绍

[0002]随着太阳能光伏行业的飞速发展，对太阳能电池的质量及成本提出了新的要求。单晶硅是一种制备太阳能电池的主要材料，具有较高的光电转换效率。
[0003]单晶硅主要采用直拉单晶制造法生成，单晶炉是这种生产工艺的主要设备。单晶炉包括用于容纳硅块的坩埚和用于支撑、旋转坩埚的坩埚托杆。在生产单晶硅的过程中，首先将硅块放置在坩埚中，在单晶炉内加温融化，然后将棒状籽晶浸入液体中。在合适的温度下，液体中的硅原子会在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。然后通过坩埚托杆带动坩埚升降、旋转，使得棒状籽晶旋转向上提升，液体中的硅原子就会在前面形成的单晶体上继续结晶，形成单晶硅锭。
[0004]坩埚托杆包括相互连接的托盘和托杆轴，托盘用于与坩埚连接，托杆轴用于与驱动装置连接，驱动装置通过坩埚托杆驱动坩埚旋转、升降运动。但是一般的托盘和托杆轴之间不可拆卸，或组装困难，需要托盘和托杆轴一体包装、一体运输，导致坩埚托杆运输成本较高。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对坩埚托杆运输成本较高的问题，提供一种坩埚托杆和单晶炉。
[0006]一种坩埚托杆，包括：
[0007]托盘，所述托盘用于与坩埚连接；
[0008]托杆轴，所述托杆轴用于与驱动装置连接，所述驱动装置能够带动所述托杆轴沿其轴向上下移动或旋转运动，所述托杆轴的轴向与所述托盘垂直设置，所述托杆轴位于所述托盘远离所述坩埚的一侧；
[0009]第一固定件，所述第一固定件穿过所述托盘插入所述托杆轴中，且与所述托杆轴可拆卸连接。
[0010]上述的坩埚托杆，通过托盘与坩埚连接，通过托杆轴与驱动装置连接，再使得第一固定件穿过托盘插入托杆轴中，从而限制托盘与托杆轴在周向上的相对移动，驱动装置可以通过坩埚托杆带动坩埚进行上下移动或旋转运动。同时，由于第一固定件与托杆轴可拆卸连接，在运输坩埚托杆时，可以将托盘和托杆轴分开运输，节省包装费用和占用空间，从而降低运输成本。并且，在安装托盘和托杆轴时，只需匹配第一固定件与托杆轴的尺寸型号，托盘和托杆轴不需要唯一对应，使得托盘和托杆轴具有可替代性，当托盘和托杆轴中有一个损坏，只需要更换损坏的部分，而不是更换整个坩埚托杆，有效降低了坩埚托杆的替换成本。
[0011]在其中一个实施例中，所述托杆轴包括相互连接的第一连接段和第二连接段，所述第二连接段的直径大于所述第一连接段的直径，所述托盘套设在所述第一连接段上，所
述第一固定件穿过所述托盘插入所述第二连接段中，且与所述第二连接段连接，所述第二连接段位于所述托盘远离所述坩埚的一侧。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一连接段上面向所述托盘的侧面设有第一凹槽，所述托盘上面向所述第一连接段的侧面设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置，所述第一凹槽与所述第二凹槽组成第一通孔，所述第二连接段上设有螺纹孔，所述第一固定件穿过所述第一通孔插入所述螺纹孔中。
[0013]在其中一个实施例中，所述托盘上设有第二通孔，所述第一固定件穿过所述第二通孔与所述第二连接段螺纹连接。
[0014]在其中一个实施例中，所述第一固定件包括螺钉，所述第二通孔上设有沉孔，所述沉孔用于容纳所述螺钉的头部，使得所述螺钉的上表面不凸出于所述托盘上靠近所述坩埚的端面；
[0015]或，所述第一固定件包括螺栓，所述螺栓的一部分位于所述第二通孔中，所述螺栓的另一部分与所述托杆轴螺纹连接，所述螺栓的上表面不凸出于所述托盘上靠近所述坩埚的端面。
[0016]在其中一个实施例中，所述第一固定件设有多个，多个所述第一固定件分布在圆心位于所述托杆轴的轴心上的圆周上。
[0017]在其中一个实施例中，所述托盘面向所述坩埚的端面上设有第三凹槽，所述第三凹槽用于与所述坩埚的底部配合连接，所述第一固定件穿过所述第三凹槽的底壁与所述托杆轴连接。
[0018]在其中一个实施例中，所述坩埚托杆还包括第二固定件，所述托杆轴面向所述托盘的端面上设有第三通孔，所述托杆轴内部设有安装孔，所述安装孔与所述第三通孔同轴连通，所述安装孔位于所述第三通孔远离所述托盘的一侧，所述第二固定件通过所述第三通孔进入所述安装孔中，且穿过所述安装孔与所述驱动装置连接。
[0019]在其中一个实施例中，所述托杆轴的侧壁上设有与外部连通的透气孔，所述透气孔与所述第三通孔连通，所述第三通孔内设有保温件。
[0020]一种单晶炉，包括坩埚，驱动装置和所述的坩埚托杆，所述坩埚托杆的托盘与所述坩埚连接，所述坩埚托杆的托杆轴与所述驱动装置连接。
[0021]上述的单晶炉，包括坩埚、驱动装置和所述的坩埚托杆，其中坩埚托杆通过托盘与坩埚连接，通过托杆轴与驱动装置连接，再使得第一固定件穿过托盘插入托杆轴中，从而限制托盘与托杆轴在周向上的相对移动，驱动装置可以通过坩埚托杆带动坩埚进行上下移动或旋转运动。同时，由于第一固定件与托杆轴可拆卸连接，在运输坩埚托杆时，可以将托盘和托杆轴分开运输，节省包装费用和占用空间，从而降低运输成本。并且，在安装托盘和托杆轴时，只需匹配第一固定件与托杆轴的尺寸型号，托盘和托杆轴不需要唯一对应，使得托盘和托杆轴具有可替代性，当托盘和托杆轴中有一个损坏，只需要更换损坏的部分，而不是更换整个坩埚托杆，有效降低了单晶炉的运行成本。
附图说明
[0022]图1为一实施例中单晶炉的结构示意图；
[0023]图2为一实施例中坩埚托杆的结构示意图；
[0024]图3为图2实施例中托杆轴的结构示意图；
[0025]图4为图2实施例中托盘的结构示意图；
[0026]图5为图2实施例中托盘的剖视图；
[0027]图6为图2实施例中托盘的局部放大图；
[0028]图7为图2实施例中托杆轴的局部放大图；
[0029]图8另一实施例中坩埚托杆的结构示意图；
[0030]图9为图8实施例中托杆轴的结构示意图；
[0031]图10为图8实施例中托盘的结构示意图；
[0032]图11为图8实施例中托盘的局部放大图；
[0033]图12为图8实施例中托杆轴的局部放大图；
[0034]图13为又一实施例中坩埚托杆的结构示意图。
[0035]附图标号：100、单晶炉；10、坩埚；20、坩埚托杆；21、托盘；22、托杆轴；221、第一连接段；222、第二连接段；223、第三连接段；224、第三通孔；225、安装孔；226、透气孔；23、第一固定件；231、螺钉；232、螺栓；24、第一通孔；241、第一凹槽；242、第二凹槽；25、第二通孔；26、第三凹槽；27、螺纹孔；30、加热件；40、加热支撑件；50、保温筒；60、导流筒；70、压片。
具体实施方式
[0036]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚托杆，其特征在于，包括：托盘，所述托盘用于与坩埚连接；托杆轴，所述托杆轴用于与驱动装置连接，所述驱动装置能够带动所述托杆轴沿其轴向上下移动或旋转运动，所述托杆轴的轴向与所述托盘垂直设置，所述托杆轴位于所述托盘远离所述坩埚的一侧；第一固定件，所述第一固定件穿过所述托盘插入所述托杆轴中，且与所述托杆轴可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的坩埚托杆，其特征在于，所述托杆轴包括相互连接的第一连接段和第二连接段，所述第二连接段的直径大于所述第一连接段的直径，所述托盘套设在所述第一连接段上，所述第一固定件穿过所述托盘插入所述第二连接段中，且与所述第二连接段连接，所述第二连接段位于所述托盘远离所述坩埚的一侧。3.根据权利要求2所述的坩埚托杆，其特征在于，所述第一连接段上面向所述托盘的侧面设有第一凹槽，所述托盘上面向所述第一连接段的侧面设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置，所述第一凹槽与所述第二凹槽组成第一通孔，所述第二连接段上设有螺纹孔，所述第一固定件穿过所述第一通孔插入所述螺纹孔中。4.根据权利要求2所述的坩埚托杆，其特征在于，所述托盘上设有第二通孔，所述第一固定件穿过所述第二通孔与所述第二连接段螺纹连接。5.根据权利要求4所述的坩埚托杆，其特征在于，所述第一固定件包括螺钉，所述第二通孔上设有沉孔，所述沉孔用于容纳所述螺钉的头部，使得所述螺钉的...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖寄乔，李军，姜捷，石磊，刘学文，王跃军，龚玉良，
申请(专利权)人：湖南金博碳素股份有限公司，
类型：新型
国别省市：