一种硅片搬运装置制造方法及图纸

技术编号:35206575 阅读:12 留言:0更新日期:2022-10-15 10:17
本实用新型专利技术公开了一种硅片搬运装置,属于硅片生产和检测技术领域。它包括驱动机构和用于吸取硅片的吸取部件,驱动机构与吸取部件连接,用于驱动吸取部件在流水线上移动;所述吸取部件沿流水线方向上依次包括第一吸取部件和第二吸取部件,第一吸取部件和第二吸取部件分别与流水线上的相邻两个工位相对应,且第一吸取部件和第二吸取部件可在驱动机构驱动作用下移动至与流水线上其他的相邻两工位相对应。本实用新型专利技术能实现多个工位上的硅片同时搬运和加工,节省单个工位上硅片单独搬运和加工的时间,提高硅片的搬运效率和生产效率。提高硅片的搬运效率和生产效率。提高硅片的搬运效率和生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片搬运装置


[0001]本技术属于硅片生产和检测
,更具体地说,涉及一种硅片搬运装置。

技术介绍

[0002]随着经济的发展,社会的进步,光伏产业在国内如火如荼。伴随新工艺HJT的发展,半片硅片将成为主流,目前主流工艺是,使用无损切割将整片切割成半片,无损切割工艺中,对于切割要求较高,所以切割硅片之前需要将硅片调整到较高精度后再上料进行切割工艺。因此,上料、调整、切割、下料就成为了硅片加工的一个流水线上的操作,而现有的搬运技术通常都是依靠一个机械手或其他搬运机构在流水线上依次搬运。
[0003]例如中国技术专利CN210123725U公开的一种硅片传输线,它包括硅片转盘、硅片搬运装置和硅片传输台,硅片转盘包括转台和若干夹持平台,夹持平台均匀分布在转台外周,转台带动夹持平台转动;硅片搬运装置包括吸附传输平台,吸附传输平台的一端设置在转盘一侧的夹持平台上方,吸附传输平台的另一端设置硅片传输台的上方,所述吸附传输平台包括皮带传输线和吸孔,吸孔吸气能够将所述硅片从夹持平台上吸起,吸附在所述皮带传输线上,经所述皮带传输线传送到硅片传输台的上方,吸孔停止吸气,硅片落在硅片传输台上。该专利能够实现硅片在多个工位之间快速搬运,且最终完成硅片的运送,实现了生产、检测工位与传输工位的对接。然而,该装置也只能加快单一工位的硅片搬运速度,要知道,一个机械结构的搬运速度再快也是有极限的,而若能够解决单一工位单独搬运的缺陷,这将能有效提高硅片的生产效率。
[0004]因此,目前急需设计一种能够流水线上硅片快速搬运和加工的搬运装置。

技术实现思路

[0005]1.要解决的问题
[0006]针对现有技术中硅片搬运装置的搬运效率低、导致硅片生产效率低的问题,本技术提供一种硅片搬运装置;通过在硅片流水线上设计与工位对应的吸取部件,能够有效解决硅片搬运效率低、生产效率低的问题。
[0007]2.技术方案
[0008]为了解决上述问题,本技术所采用的技术方案如下:
[0009]本技术的一种硅片搬运装置,用于对硅片加工流水线上的硅片进行搬运,所述流水线上依次设有至少三个工位,其包括驱动机构和用于吸取硅片的吸取部件,驱动机构与吸取部件连接,用于驱动吸取部件在流水线上移动;所述吸取部件沿流水线方向上依次包括第一吸取部件和第二吸取部件,第一吸取部件和第二吸取部件分别与流水线上的相邻两个工位相对应,且第一吸取部件和第二吸取部件可在驱动机构驱动作用下移动至与流水线上其他的相邻两工位相对应。
[0010]需要强调的是,本技术并非简单的实现了多个硅片的同时搬运,其亮点在于:在一个连续的硅片生产或加工的流水线上,能够将相邻的两个工位的硅片向下搬运一个工
位,实现相邻两个工位的硅片同步操作并连续加工,同时保证每个工位上的硅片稳定操作,缩减工艺时间,提高生产效率。
[0011]优选地,所述吸取部件安装于安装板上,通过安装板与驱动机构连接,所述吸取部件和安装板之间设有升降机构。
[0012]优选地,所述升降机构包括升降电机和升降电缸,升降电缸的输出轴与吸取部件连接。
[0013]优选地,所述安装板上设置有向流水线延伸的第一连接板,所述吸取部件设于第一连接板上。
[0014]优选地,所述流水线上的相邻工位之间的间距为L1;所述第一吸取部件和第二吸取部件之间的间距为L2;所述L1:L2=0.5~1.5。
[0015]优选地,所述流水线上依次设有第一工位、第二工位和第三工位;所述吸取部件包括第一状态和第二状态;
[0016]所述第一状态下的第一吸取部件与第一工位对应,第二吸取部件与第二工位对应;
[0017]所述第二状态下的第一吸取部件与第二工位对应,第二吸取部件与第三工位对应。
[0018]优选地,所述第一工位为上料工位,第二工位为调整工位,第三工位为切割工位。
[0019]优选地,所述第一工位为上料工位,第二工位为切割工位,第三工位为下料工位。
[0020]优选地,所述第一工位为上料工位,第二工位为调整工位,第三工位为下料工位。
[0021]优选地,所述第一吸取部件包括搬运吸盘,所述第二吸取部件包括升降吸嘴。
[0022]优选地,每个工位上设有多个硅片放置区,所述搬运吸盘和升降吸嘴均设有多个且与硅片放置区一一对应。
[0023]优选地,所述驱动机构包括直线电机,直线电机安装于固定座上,所述安装板滑动安装于直线电机上。
[0024]3.有益效果
[0025]相比于现有技术,本技术的有益效果为:
[0026]本技术的一种硅片搬运装置,能够实现多个工位上的硅片同时搬运和加工,节省单个工位上硅片单独搬运和加工的时间,提高硅片的搬运效率和生产效率。
附图说明
[0027]图1为本技术第一状态下的一种硅片搬运装置立体图;
[0028]图2为本技术第一状态下的一种硅片搬运装置俯视图;
[0029]图3为本技术第一状态下的一种硅片搬运装置主视图;
[0030]图4为本技术第二状态下的一种硅片搬运装置俯视图;
[0031]图5为本技术第二状态下的一种硅片搬运装置主视图。
[0032]图中:
[0033]100、驱动机构;
[0034]200、安装板;
[0035]300、第一连接板;
[0036]400、升降电机;410、升降电缸;
[0037]500、第二连接板;
[0038]610、第一吸取部件;620、第二吸取部件;
[0039]710、第一工位;720、第二工位;730、第三工位;
[0040]800、固定座。
具体实施方式
[0041]下文对本技术的示例性实施例的详细描述参考了附图,该附图形成描述的一部分,在该附图中作为示例示出了本技术可实施的示例性实施例,其中本技术的元件和特征由附图标记标识。下文对本技术的实施例的更详细的描述并不用于限制所要求的本技术的范围,而仅仅为了进行举例说明且不限制对本技术的特点和特征的描述,以提出执行本技术的最佳方式,并足以使得本领域技术人员能够实施本技术。但是,应当理解,可在不脱离由所附权利要求限定的本技术的范围的情况下进行各种修改和变型。详细的描述和附图应仅被认为是说明性的,而不是限制性的,如果存在任何这样的修改和变型,那么它们都将落入在此描述的本技术的范围内。此外,
技术介绍
旨在为了说明本技术的研发现状和意义,并不旨在限制本技术或本申请和本技术的应用领域。
[0042]需要说明的是,当元件被称为“设于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件;当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件;本文所使用的术语“第一”、“第二”、“第三”以及类似的表述只是为了说明的目的。本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片搬运装置,用于对硅片加工流水线上的硅片进行搬运,所述流水线上依次设有至少三个工位,其特征在于,包括驱动机构(100)和用于吸取硅片的吸取部件,驱动机构(100)与吸取部件连接,用于驱动吸取部件在流水线上移动;所述吸取部件沿流水线方向上依次包括第一吸取部件(610)和第二吸取部件(620),第一吸取部件(610)和第二吸取部件(620)分别与流水线上的相邻两个工位相对应,且第一吸取部件(610)和第二吸取部件(620)可在驱动机构(100)驱动作用下移动至与流水线上其他的相邻两工位相对应;所述流水线上的相邻工位之间的间距为L1;所述第一吸取部件(610)和第二吸取部件(620)之间的间距为L2;所述L1:L2=0.5

1.5;所述流水线上依次设有第一工位(710)、第二工位(720)和第三工位(730);所述吸取部件包括第一状态和第二状态;所述第一状态下的第一吸取部件(610)与第一工位(710)对应,第二吸取部件(620)与第二工位(720)对应;所述第二状态下的第一吸取部件(610)与第二工位(720)对应,第二吸取部件(620)与第三工位(730)对应。2.根据权利要求1所述的一种硅片搬运装置,其特征在于,所述吸取部件安装于安装板(200)上,通过安装板(200)与驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙松龚志清查俊王博苏茳
申请(专利权)人:苏州迈为科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1