将带凸缘真空泵安装到真空系统技术方案

公开了带凸缘真空泵、真空系统和将真空泵安装到真空室的方法。真空泵（10）包括入口凸缘（12）（42），用于接收从真空室延伸的多个突起固定元件（22）。突起固定元件包括在远离所述真空室的端部处的扩大保持部分（39）和紧固件接收部分（24），所述紧固件接收部分具有的至少一个径向尺寸小于所述扩大保持部分的对应尺寸。提供紧固机构，紧固机构包括多个槽（34），每个槽从多个孔口（32）的同一侧延伸。所述紧固机构配置成能在安装位置和密封位置之间旋转，在安装位置中，所述孔口（32）与所述突起固定元件（22）对齐，在密封位置中，所述槽（34）与所述突起固定元件（22）对齐。定元件（22）对齐。定元件（22）对齐。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】将带凸缘真空泵安装到真空系统


[0001]本专利技术的领域涉及将带凸缘真空泵安装到真空系统，例如真空室。

技术介绍

[0002]将带凸缘真空泵安装到真空系统可能是复杂的，因为它们应当以基本不透流体的方式安装，并且在系统处于受限空间中时，存在受限接近。常规地，泵（例如涡轮分子泵）通过围绕凸缘的圆周布置的多个螺栓孔安装到系统（例如半导体工具中的真空室）中。这些孔接收螺栓，所述螺栓拧入真空室出口周围的对应孔中，从而允许泵以不透流体的方式固定到系统。这些泵通常位于难以工作且在人体工程学上工作危险的受限空间内。此外，随着它们降级或需要清洁，这种部件可能需要定期更换。这种部件的更换是费时的、麻烦的，而且可能是危险的。将希望提供将带凸缘真空泵安装到真空系统的更简单方法。

技术实现思路

[0003]第一方面包括一种真空泵，该真空泵包括：用于连接到真空室的入口凸缘，所述入口凸缘包括用于接收从所述真空室延伸的多个突起固定元件的多个孔口，所述突起固定元件包括在远离所述真空室的端部处的扩大保持部分、和紧固件接收部分，所述紧固件接收部分具有的至少一个径向尺寸小于所述扩大保持部分的对应尺寸；紧固机构，所述紧固机构包括多个槽，每个槽从多个孔口的同一侧延伸；其中，所述紧固机构配置成能在安装位置和密封位置之间旋转，在安装位置中，所述孔口与所述突起固定元件对齐，在密封位置中，所述槽与所述突起固定元件对齐。
[0004]本专利技术的专利技术人认识到，使用围绕凸缘的圆周布置的多个螺栓以常规方式将带凸缘真空泵装配到真空系统，需要接近每个螺栓并且需要单独地拧紧每个螺栓。在空间受限的系统中，例如在将真空泵装配到真空系统时，这可能是有挑战的，特别是在半导体工厂中，其中泵安装在狭小空间内且有时处于有挑战的条件。
[0005]第一方面提供了一种泵，所述泵配置成安装到从真空室延伸的突起固定元件。突起固定元件配置成使得它们具有远离真空室的保持端部部分，与突起元件的中间部分相比，该保持端部部分被扩大，中间部分具有的至少一个尺寸小于保持端部部分的对应尺寸。
[0006]突起元件可以是附接到真空室中的孔的螺栓，或者它们可以是从真空室延伸的螺柱，焊接到位或者作为真空室出口的整体部分。
[0007]突起元件可以具有圆形横截面，其中保持端部部分具有比中间紧固件接收部分更大的横截面，或者它可以具有一些其它形状。
[0008]这种布置允许螺栓一次附接到真空室，同时泵可以在无需松开它们的情况下安装在螺栓上和从螺栓拆卸。这借助于使用紧固机构来完成，该紧固机构可以通过将其在凸缘附近包绕在外表面周围而安装到泵上，或者紧固机构可以是凸缘的一部分。当它是一个单独的部件时，它被安装成使得其可以相对于泵旋转，其中，螺栓在槽内移动。
[0009]以这种方式，通过将泵滑动到螺栓上然后旋转泵或紧固机构的至少一部分的简单
动作来安装带凸缘泵。这提供了将带凸缘泵安装到真空系统和从真空系统拆卸的更简单机构，不需要接近泵周围并且可以以两个相对简单的运动来执行。
[0010]在一些实施例中，围绕每个所述槽的所述紧固机构的表面的至少一部分是倾斜的，使得所述紧固机构的所述至少一部分在更靠近所述孔口处更薄并且在更靠近所述槽的另一端部处更厚，所述突起固定元件沿所述槽从所述安装位置处的所述孔口移动到所述密封位置将所述泵朝向所述真空系统推动。
[0011]泵将安装在真空系统上，因此其应当以不透流体的方式安装。为了改进凸缘和其它部件之间的密封，在一些实施例中，槽包括倾斜表面，使得紧固机构的旋转在凸缘上施加力，从而将泵朝向真空系统偏压。
[0012]在一些实施例中，所述突起固定元件的所述保持部分的径向延伸超过所述紧固件接收部分的表面是倾斜的，所述斜面的角度对应于围绕所述槽的所述倾斜表面的角度。
[0013]在存在围绕槽的侧面的倾斜表面时，则可能有利的是使突起固定元件的保持部分的延伸超过紧固接收部分并安置在槽上的表面成角度，使得两个斜面对齐并且突起固定元件沿保持部分的更大表面面积被支撑，从而在紧固机构的带槽部分的旋转期间提供改进的支撑并且突起固定元件还更容易沿倾斜表面移动。
[0014]在一些实施例中，所述多个孔口定尺寸为使得所述孔口的至少一个尺寸大于所述槽的宽度。
[0015]孔口可以简单地是被配置成在安装泵时接收固定元件的槽的一个端部，然而，在一些实施例中，与槽相比，它们可以具有增加的横截面以利于固定元件的容易插入。在孔口大于槽时，槽可以定尺寸为小于突起固定元件的保持部分的尺寸，使得槽起到保持泵的作用。在其它实施例中，可以存在形成紧固机构的一部分并用于将泵抵靠真空室保持到位的附加保持元件。
[0016]在一些实施例中，所述紧固机构包括所述入口凸缘，所述入口凸缘上的所述多个孔口包括所述多个槽，每个槽从所述多个孔口延伸，当将所述泵安装到真空系统时，所述泵能在所述安装位置和所述密封位置之间旋转。
[0017]在一些情况下，紧固机构可以包括入口凸缘本身，其中在入口凸缘内提供孔口和槽，使得在一些实施例中，泵本身不需要附加紧固件机构，并且它可以简单地安装在从真空室延伸的适当形状的突起元件上，在一些实施例中，槽定尺寸为一旦与突起固定元件对齐就保持泵。在一些实施例中，凸缘中的槽与附加的保持和/或偏压元件结合使用。
[0018]在其它实施例中，所述紧固机构包括在所述入口凸缘附近安装在所述真空泵的外表面周围的紧固件，所述紧固件包括：多个孔口和所述多个槽，所述多个槽每个从所述多个孔口的同一侧延伸；其中，所述紧固件被安装成能围绕所述泵的所述外表面在安装位置和密封位置之间旋转，在安装位置中，所述紧固件上的所述多个孔口与所述凸缘上的所述多个凸缘孔口对齐，在密封位置中，所述多个槽的一部分与所述凸缘上的所述多个孔口对齐。
[0019]紧固机构可以是在入口凸缘附近安装在泵的外表面周围的紧固件。这允许对现有部件进行改装，并且它还允许提供不影响凸缘配置的紧固件机构。这可能是有利的，因为入口凸缘可以被配置成提供某些安全特征，特别是在例如泵是涡轮分子泵时，因此，提供不干扰这些特征的紧固机构可能具有优势。
[0020]在一些实施例中，所述紧固件包括环并且所述槽在平行于所述环的圆周的圆周方
向上延伸，使得穿过所述紧固件孔口的突起固定元件在所述紧固件从所述安装位置旋转到所述密封位置时沿着所述多个槽从所述多个紧固件孔口移动。
[0021]在一些实施例中，所述紧固机构包括对应于所述多个突起固定元件的多个保持器，所述多个保持器由比形成所述紧固机构的包括所述槽的部分的材料更软的材料形成，并且被配置成安装在所述突起固定元件的所述扩大部分和所述紧固机构的包括所述槽的所述部分之间。
[0022]虽然泵可以通过对槽定尺寸来保持到位，使得突起固定元件旋转以与槽对齐允许槽阻止固定元件的扩大保持端部穿过槽，但这可能具有当它们抵靠固定元件的扩大保持端部移动时在具有槽的紧固件或凸缘上磨损的缺点。对此的一种替代方案是提供安装在扩大保持端部上并由较软的材料形成的保持器，使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空泵，包括：用于连接到真空室的入口凸缘，所述入口凸缘包括用于接收从所述真空室延伸的多个突起固定元件的多个孔口，所述突起固定元件包括在远离所述真空室的端部处的扩大保持部分、和紧固件接收部分，所述紧固件接收部分具有的至少一个径向尺寸小于所述扩大保持部分的对应尺寸；紧固机构，所述紧固机构包括多个槽，每个槽从多个孔口的同一侧延伸；其中，所述紧固机构配置成能在安装位置和密封位置之间旋转，在安装位置中，所述孔口与所述突起固定元件对齐，在密封位置中，所述槽与所述突起固定元件对齐。2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，围绕每个所述槽的所述紧固机构的表面的至少一部分是倾斜的，使得所述紧固机构的所述至少一部分在更靠近所述孔口处更薄并且在更靠近所述槽的另一端部处更厚。3.根据权利要求2所述的真空泵，其中，所述突起固定元件的所述保持部分的径向延伸超过所述紧固件接收部分的表面是倾斜的，所述斜面的角度对应于围绕所述槽的所述倾斜表面的角度。4.根据任一项前述权利要求所述的真空泵，所述多个孔口定尺寸为使得所述孔口的至少一个尺寸大于所述槽的宽度。5.根据任一项前述权利要求所述的真空泵，其中，所述紧固机构包括所述入口凸缘，所述入口凸缘包括所述多个槽，每个槽从所述多个孔口延伸，当将所述泵安装到真空系统时，所述泵能在所述安装位置和所述密封位置之间旋转。6.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其中，所述紧固机构包括在所述入口凸缘附近安装在所述真空泵的外表面周围的紧固件，所述紧固件包括：多个孔口和所述多个槽，所述多个槽每个从所述多个孔口的同一侧延伸；其中，所述紧固件被安装成能围绕所述泵的所述外表面在安装位置和密封位置之间旋转，在安装位置中，所述紧固件上的所述多个孔口与所述凸缘上的所述多个凸缘孔口对齐，在密封位置中，所述多个槽的一部分与所述凸缘上的所述多个孔口对齐。7.根据权利要求6所述的真空泵，其中，所述紧固件包括环并且所述槽在平行于所述环的圆周的圆周方向上延伸，使得穿过所述孔口的突起固定元件在所述紧固件从所述安装位置旋转到所述密封位置时沿着所述多个槽从所述多个孔口移动。8.根据任一项前述权利要求所述的真空泵，其中，所述紧固机构包括对应于所述多个突起固定元件的多个保持器，所述多个保持器由比形成所述紧固机构的包括所述槽的部分的材料更软的材料形成，并且被配置成安装在所述突起固定元件的所述扩大部分和所述紧固机构的包括所述槽的所述部分之间。9.根据权利要求8所述的真空泵，其中，所述多个保持器每个包括部分围绕孔口的侧壁，所述侧壁包括开口，所述开口配置成使得在将所述保持元件安装到所述突起固定元件时所述对应的突起固定元件能够被推动穿过所述开口，所述孔口的至少一个尺寸小于所述突起固定元件的所述扩大保持部分的对应尺寸。10.根据权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其中，所述紧固机构包括保持元件，所述保持元件包括用于接收所述多个突起固定元件的多个孔口，所述保持元件中的所述多个
孔口中的每一个包括接收部分和尺寸减小的保持部分，所述保持元件能在安装位置和保持位置之间旋转，在安装位置中，所述孔口的所述接收部分与所述突起固定元件对齐，在保持位置中，所述孔口的所述保持部分与所述突起固定元件对齐，所述保持部分的至少一个尺寸小于所述突起固定元件的所述扩大保持部分的对应尺寸。11.根据任一项前述权利要求所述的真空泵，其中，所述紧固机构包括偏压元件，偏压元件包括用于接收所述多个突起固定元件的多个孔口，所述偏压元件的至少一个表面的至少一部分是倾斜的，使得所述偏压元件的部分在所述孔口周围更厚并且在远离所述孔口处更薄。12.根据权利要求10和11所述的真空泵，其中，所述保持元件和所述偏压元件是同一元件。13...

【专利技术属性】
技术研发人员：W，
申请(专利权)人：爱德华兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：