本申请涉及蚀刻设备技术领域，具体为应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括底座、运转台、抽液组件、排液组件和过滤组件，所述底座顶部的四周均固定安装有支撑架，所述底座的顶部活动安装有运转台，所述运转台的顶部活动安装有板材，所述底座的顶部固定安装有回收箱；所述抽液组件包括固定安装于底座顶部右侧的负压泵，所述负压泵的出口固定安装有与回收箱固定连接的第一连接管。该应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，通过设置抽液组件，负压泵能够经由将板材上的余量蚀刻液通过第一连接管回收并存储至回收箱的内部，尽量防止造成过度蚀刻，通过设置排液组件，排液泵能够将蚀刻液导入分流管的内部并通过排液管喷在板材上，实现了蚀刻液的循环使用。了蚀刻液的循环使用。了蚀刻液的循环使用。
【技术实现步骤摘要】
应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置
[0001]本申请涉及蚀刻设备
，具体为应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置。
技术介绍
[0002]蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工，经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。
[0003]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题，现有的蚀刻设备为了确保蚀刻液能布满蚀刻槽位，通常会进行过量喷淋，导致过度蚀刻的发生，影响了蚀刻的质量，故而提出应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置来解决上述提出的问题。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本申请提供了应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，解决了通常会进行过量喷淋，导致过度蚀刻的发生的问题。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括底座、运转台、抽液组件、排液组件和过滤组件，所述底座顶部的四周均固定安装有支撑架，所述底座的顶部活动安装有运转台，所述运转台的顶部活动安装有板材，所述底座的顶部固定安装有回收箱；
[0006]所述抽液组件包括固定安装于底座顶部右侧的负压泵，所述负压泵的出口固定安装有与回收箱固定连接的第一连接管，所述负压泵的进口固定安装有第一导管，所述支撑架相对的一侧之间固定安装有汇流管，所述汇流管底部的正面和背面均固定安装有抽液管；
[0007]所述排液组件包括固定安装于支撑架顶部的固定块，所述固定块相对一侧之间的正面固定安装有第二固定管，所述第二固定管背面的左右两侧均固定安装有分流管，所述分流管底部的正面和背面均固定安装有排液管，所述底座的顶部固定安装有排液泵，所述排液泵的进口固定安装有一端贯穿并延伸至回收箱内部的第二连接管，所述排液泵的出口固定安装有与第二固定管连通的第二导管；
[0008]所述过滤组件包括固定安装于第二连接管外表面的过滤块，所述过滤块的内部开设有过滤槽，所述过滤槽的内部固定安装有过滤网，所述第二连接管靠近过滤块的一侧固定安装有扭块，所述过滤槽的左右两侧均开设有螺纹孔，所述扭块靠近螺纹孔的一侧固定安装有一端延伸至螺纹孔内部的螺纹管。
[0009]进一步，所述支撑架的数量为若干个且呈对称分布于底座顶部的四周，所述汇流管和抽液管位于板材的顶部。
[0010]采用上述进一步方案的有益效果是：方便了余量蚀刻液的回收。
[0011]进一步，所述抽液管的数量为若干个且呈等距分布，若干个所述抽液管均与汇流管连通。
[0012]采用上述进一步方案的有益效果是：能够均匀且全面的完成余量蚀刻液的回收。
[0013]进一步，所述汇流管的正面固定安装有第一固定管，所述第一固定管与第一导管固定连接。
[0014]采用上述进一步方案的有益效果是：实现了抽液管与回收箱的连通。
[0015]进一步，所述分流管的数量为若干个且呈等距分布于第二固定管背面的左右两侧，所述分流管与汇流管不处于同一垂直线上。
[0016]采用上述进一步方案的有益效果是：防止喷淋被汇流管阻挡。
[0017]进一步，所述排液管的数量为若干个且呈等距分布，若干个所述排液管均与分流管连通。
[0018]采用上述进一步方案的有益效果是：使喷淋足够均匀全面。
[0019]进一步，螺纹管与螺纹孔螺纹连接，所述扭块的外表面设置有防滑纹。
[0020]采用上述进一步方案的有益效果是：方便了扭块的安装拆卸。
[0021]进一步，通过扭块和螺纹管与过滤槽的内部连通，所述扭块靠近过滤块一侧的四周均设置有密封橡胶。
[0022]采用上述进一步方案的有益效果是：加强了与过滤块连接的密封性。
[0023]与现有技术相比，本申请提供了应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，具备以下有益效果：
[0024]该应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，通过设置抽液组件，负压泵能够经由第一导管、第一固定管、汇流管和抽液管将板材上的余量蚀刻液通过第一连接管回收并存储至回收箱的内部，尽量防止造成过度蚀刻，通过设置排液组件，排液泵能够经由第二连接管、第二导管和第二固定管将蚀刻液导入分流管的内部并通过排液管喷在板材上，实现了蚀刻液的循环使用，通过设置过滤组件，能够对循环使用的蚀刻液进行过滤，防止蚀刻液中的杂质影响蚀刻效果。
附图说明
[0025]图1为本申请示意图；
[0026]图2为本申请侧视图；
[0027]图3为本申请过滤组件结构图。
[0028]图中：1、底座；2、支撑架；3、运转台；4、板材；5、回收箱；6、抽液组件；601、负压泵；602、第一连接管；603、第一导管；604、汇流管；605、抽液管；606、第一固定管；7、排液组件；701、固定块；702、第二固定管；703、分流管；704、排液管；705、排液泵；706、第二连接管；707、第二导管；8、过滤组件；801、过滤块；802、过滤槽；803、过滤网；804、扭块；805、螺纹孔；806、螺纹管。
具体实施方式
[0029]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0030]请参阅图1和图2，本实施例中的应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括底座1、运转台3、抽液组件6、排液组件7和过滤组件8，底座1顶部的四周均固定安装有支撑架2，支撑架2的数量为若干个且呈对称分布于底座1顶部的四周，底座1的顶部活动安装有运转台3，运转台3的顶部活动安装有板材4，底座1的顶部固定安装有回收箱5；
[0031]抽液组件6包括固定安装于底座1顶部右侧的负压泵601，负压泵601的出口固定安装有与回收箱5固定连接的第一连接管602，负压泵601的进口固定安装有第一导管603，支撑架2相对的一侧之间固定安装有汇流管604，汇流管604底部的正面和背面均固定安装有抽液管605，汇流管604和抽液管605位于板材4的顶部，方便了余量蚀刻液的回收，抽液管605的数量为若干个且呈等距分布，若干个抽液管605均与汇流管604连通，能够均匀且全面的完成余量蚀刻液的回收，汇流管604的正面固定安装有第一固定管606，第一固定管606与第一导管603固定连接，实现了抽液管605与回收箱5的连通；
[0032]其中，为能够均匀且全面的完成余量蚀刻液的回收，抽液管605的数量为若干个且呈等距分布，若干个抽液管605均与汇流管604连通。
[0033]请参阅图和图，排液组件7包括固定安装于支撑架2顶部的固定块701，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括底座（1）、运转台（3）、抽液组件（6）、排液组件（7）和过滤组件（8），其特征在于：所述底座（1）顶部的四周均固定安装有支撑架（2），所述底座（1）的顶部活动安装有运转台（3），所述运转台（3）的顶部活动安装有板材（4），所述底座（1）的顶部固定安装有回收箱（5）；所述抽液组件（6）包括固定安装于底座（1）顶部右侧的负压泵（601），所述负压泵（601）的出口固定安装有与回收箱（5）固定连接的第一连接管（602），所述负压泵（601）的进口固定安装有第一导管（603），所述支撑架（2）相对的一侧之间固定安装有汇流管（604），所述汇流管（604）底部的正面和背面均固定安装有抽液管（605）；所述排液组件（7）包括固定安装于支撑架（2）顶部的固定块（701），所述固定块（701）相对一侧之间的正面固定安装有第二固定管（702），所述第二固定管（702）背面的左右两侧均固定安装有分流管（703），所述分流管（703）底部的正面和背面均固定安装有排液管（704），所述底座（1）的顶部固定安装有排液泵（705），所述排液泵（705）的进口固定安装有一端贯穿并延伸至回收箱（5）内部的第二连接管（706），所述排液泵（705）的出口固定安装有与第二固定管（702）连通的第二导管（707）；所述过滤组件（8）包括固定安装于第二连接管（706）外表面的过滤块（801），所述过滤块（801）的内部开设有过滤槽（802），所述过滤槽（802）的内部固定安装有过滤网（803），所述第二连接管（706）靠近过滤块（801）的一侧固定安装有扭块（804），所述过滤槽（802）的左右两侧均开设有...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯翀，张诗立，高彦军，王先富，
申请(专利权)人：深圳市好利时实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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