本发明专利技术属于物质检测技术领域，公开了一种基于测试优化的样品分析方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图；获取最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数；基于最优测试参数获取待测试样品对应的反射电子能量损失谱图；根据X射线光电子能谱图和反射电子能量损失谱图确定待测试样品对应的氢元素含量；根据氢元素含量对待测试样品进行样品分析。通过上述方式，根据最优测试参数对待测试样品进行REELS测试，得到更准确的REELS谱图，利用XPS谱图和REELS谱图结合分析，准确测定待测试样品中的氢元素含量，进一步提升了聚合物薄膜材料的性能分析结果的准确性。薄膜材料的性能分析结果的准确性。薄膜材料的性能分析结果的准确性。
【技术实现步骤摘要】
基于测试优化的样品分析方法、装置、设备及存储介质
[0001]本专利技术涉及物质检测
，尤其涉及一种基于测试优化的样品分析方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
[0002]利用REELS（反射电子能量损失谱图）方法进行氢（H）元素相对含量的准确测定在聚合物薄膜材料研究中非常重要，实际测试谱图中H元素引起的损失峰相对H元素以外其余元素产生的弹性损失峰较弱，测试过程中测试参数对谱峰数据质量产生的影响不容忽视。
[0003]当前利用常规测试参数进行REELS测试的过程中容易忽略当前实际样品本身层材质特异性，导致H元素引起的损失峰谱峰数据信号不明显。为增强H元素引起损失峰对应的数据信号强度，目前采用增大通能方式进行，但是通能增大的同时会引起谱峰的展宽，甚至导致H元素引起的损失峰谱峰被H元素以外其余元素产生的弹性损失峰包覆掩盖。因此，如何优化REELS测试方式，以获取准确的REELS谱图，从而准确测定聚合物薄膜材料中H元素含量是当前亟待解决的问题。
[0004]上述内容仅用于辅助理解本专利技术的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
技术实现思路
[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种基于测试优化的样品分析方法、装置、设备及存储介质，旨在解决如何优化REELS测试方式，以获取准确的REELS谱图，从而准确测定聚合物薄膜材料中H元素含量的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了一种基于测试优化的样品分析方法，所述方法包括以下步骤：获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图；获取最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数；基于所述最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数获取所述待测试样品对应的反射电子能量损失谱图；根据所述X射线光电子能谱图和所述反射电子能量损失谱图确定所述待测试样品对应的氢元素含量；根据所述氢元素含量对所述待测试样品进行样品分析。
[0007]可选地，所述获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图之前，所述方法还包括：利用REELS电子枪对含氢样品进行照射，获取所述含氢样品对应的参考谱图；对所述参考谱图进行分析，确定氢元素对应的损失峰位置；根据所述氢元素对应的损失峰位置确定最优采集范围。
[0008]可选地，所述根据所述氢元素对应的损失峰位置确定最优采集范围之后，所述方法还包括：
获取多个待选择采集通能、参考采集步长以及参考采集次数；基于各个所述待选择采集通能、所述最优采集范围、所述参考采集步长以及所述参考采集次数对含氢样品进行测试，得到各个所述待选择采集通能对应的通能测试谱图；对所述通能测试谱图进行分析，得到第一分析结果；根据所述第一分析结果从所述多个待选择采集通能中选择最优采集通能。
[0009]可选地，所述对所述通能测试谱图进行分析，得到第一分析结果，包括：从所述通能测试谱图中拟合弹性损失峰和氢元素引起损失峰；确定所述弹性损失峰与所述氢元素引起损失峰的谱峰重叠位置纵坐标；确定所述谱峰重叠位置纵坐标与所述氢元素引起损失峰的峰位纵坐标之间的比值，得到第一分析结果；所述根据所述第一分析结果从所述多个待选择采集通能中选择最优采集通能，包括：根据所述第一分析结果从所述多个待选择采集通能中选择比值最小的最优采集通能。
[0010]可选地，所述根据所述氢元素对应的损失峰位置确定最优采集范围之后，所述方法还包括：获取参考采集通能、多个待选择采集步长以及参考采集次数；基于所述参考采集通能、所述最优采集范围、所述多个待选择采集步长以及所述参考采集次数对含氢样品进行测试，得到各个所述待选择采集步长对应的步长测试谱图；对所述步长测试谱图进行分析，得到第二分析结果；根据所述第二分析结果从所述多个待选择采集步长中选择最优采集步长。
[0011]可选地，所述根据所述氢元素对应的损失峰位置确定最优采集范围之后，所述方法还包括：获取参考采集通能、参考采集步长以及多个待选择采集次数；基于所述参考采集通能、所述最优采集范围、所述参考采集步长以及所述多个待选择采集次数对含氢样品进行测试，得到各个所述待选择采集次数对应的次数测试谱图；对所述次数测试谱图进行分析，得到第三分析结果；根据所述第三分析结果从所述多个待选择采集次数中选择最优采集次数。
[0012]可选地，所述获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图之前，所述方法还包括：获取多个待选择采集范围、多个待选择采集通能、多个待选择采集步长以及多个待选择采集次数；根据所述多个待选择采集范围、多个待选择采集通能、多个待选择采集步长以及多个待选择采集次数组成若干组测试数据；基于各组所述测试数据对含氢样品进行测试，得到各组所述测试数据对应的测试谱图；分析所述测试谱图与参考谱图之间的相似度；根据所述相似度从所述若干组测试数据中选择相似度最大的目标测试数据；根据所述目标测试数据确定最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数。
[0013]此外，为实现上述目的，本专利技术还提出一种基于测试优化的样品分析装置，所述基于测试优化的样品分析装置包括：第一测试模块，用于获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图；获取模块，用于获取最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数；第二测试模块，用于基于所述最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数获取所述待测试样品对应的反射电子能量损失谱图；元素分析模块，用于根据所述X射线光电子能谱图和所述反射电子能量损失谱图确定所述待测试样品对应的氢元素含量；样品分析模块，用于根据所述氢元素含量对所述待测试样品进行样品分析。
[0014]此外，为实现上述目的，本专利技术还提出一种基于测试优化的样品分析设备，所述基于测试优化的样品分析设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的基于测试优化的样品分析程序，所述基于测试优化的样品分析程序配置为实现如上文所述的基于测试优化的样品分析方法。
[0015]此外，为实现上述目的，本专利技术还提出一种存储介质，所述存储介质上存储有基于测试优化的样品分析程序，所述基于测试优化的样品分析程序被处理器执行时实现如上文所述的基于测试优化的样品分析方法。
[0016]本专利技术通过获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图；获取最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数；基于最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数获取待测试样品对应的反射电子能量损失谱图；根据X射线光电子能谱图和反射电子能量损失谱图确定待测试样品对应的氢元素含量；根据氢元素含量对待测试样品进行样品分析。通过上述方式，根据最优测试参数对待测试样品进行REELS测试，测得实际待测样品相对明显的H元素引起损失峰谱峰信号数据，利用XPS谱图和REELS谱图结合分析，准确测定待测试样品中的氢元素含量，进一步提升了聚合物薄膜材料的性能分析结果的准确性。
附图说明
[0017]图1是本专利技术实施例方案涉及的硬件运行环境的基于测试优化的样品分析设备的结构示意图；图2为本专利技术基于测试优化的样品分析方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于测试优化的样品分析方法，其特征在于，所述基于测试优化的样品分析方法包括：获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图；获取最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数；基于所述最优采集范围、最优采集通能、最优采集步长以及最优采集次数获取所述待测试样品对应的反射电子能量损失谱图；根据所述X射线光电子能谱图和所述反射电子能量损失谱图确定所述待测试样品对应的氢元素含量；根据所述氢元素含量对所述待测试样品进行样品分析。2.如权利要求1所述的基于测试优化的样品分析方法，其特征在于，所述获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图之前，所述方法还包括：利用REELS电子枪对含氢样品进行照射，获取所述含氢样品对应的参考谱图；对所述参考谱图进行分析，确定氢元素对应的损失峰位置；根据所述氢元素对应的损失峰位置确定最优采集范围。3.如权利要求2所述的基于测试优化的样品分析方法，其特征在于，所述根据所述氢元素对应的损失峰位置确定最优采集范围之后，所述方法还包括：获取多个待选择采集通能、参考采集步长以及参考采集次数；基于各个所述待选择采集通能、所述最优采集范围、所述参考采集步长以及所述参考采集次数对含氢样品进行测试，得到各个所述待选择采集通能对应的通能测试谱图；对所述通能测试谱图进行分析，得到第一分析结果；根据所述第一分析结果从所述多个待选择采集通能中选择最优采集通能。4.如权利要求3所述的基于测试优化的样品分析方法，其特征在于，所述对所述通能测试谱图进行分析，得到第一分析结果，包括：从所述通能测试谱图中拟合弹性损失峰和氢元素引起损失峰；确定所述弹性损失峰与所述氢元素引起损失峰的谱峰重叠位置纵坐标；确定所述谱峰重叠位置纵坐标与所述氢元素引起损失峰的峰位纵坐标之间的比值，得到第一分析结果；所述根据所述第一分析结果从所述多个待选择采集通能中选择最优采集通能，包括：根据所述第一分析结果从所述多个待选择采集通能中选择比值最小的最优采集通能。5.如权利要求2所述的基于测试优化的样品分析方法，其特征在于，所述根据所述氢元素对应的损失峰位置确定最优采集范围之后，所述方法还包括：获取参考采集通能、多个待选择采集步长以及参考采集次数；基于所述参考采集通能、所述最优采集范围、所述多个待选择采集步长以及所述参考采集次数对含氢样品进行测试，得到各个所述待选择采集步长对应的步长测试谱图；对所述步长测试谱图进行分析，得到第二分析结果；根据所述第二分析结果...
【专利技术属性】
技术研发人员：范燕，谭军，罗明生，王晓阳，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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