一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻胶涂胶技术领域，且公开了一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备，包括工作台，所述工作台的上部安装有滴胶机构，所述工作台的内部安装有旋转台，所述旋转台的上部设置有放置座，所述旋转台的上部均匀设置有轨道座，所述轨道座至少为四组，所述轨道座的内部设置有移动座，所述移动座的上部安装有夹持座，所述旋转台的内部安装有气缸，所述气缸的伸缩端设置有拉伸架，所述拉伸架的内部设置有拉伸板，本新型方案可通过旋转产生的离心力进行涂胶工作，从而使得光刻胶呈向外扩散形涂抹在芯片的上部，且可对芯片的位置进行精确定位，避免滴胶时，滴胶的位置产生偏移现象，且避免旋转时，芯片的位置产生偏移甩出现象。现象。现象。

【技术实现步骤摘要】
一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备


[0001]本技术属于光刻胶涂胶
，具体为一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。
[0003]光刻胶在进行涂抹的过程中，一般都是把光刻胶滴在芯片的上部，通过旋转的离心力使得光刻胶进行均匀分散工作，但涂胶方式，需要对芯片的位置进行精确定位，使得光刻胶更好的滴落至光刻胶的中心，才能更好的通过离心力对光刻胶进行扩散工作，为此，我们提出了一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备，有效的解决了通过旋转的离心力使得光刻胶进行均匀分散工作，但涂胶方式，需要对芯片的位置进行精确定位，使得光刻胶更好的滴落至光刻胶的中心，才能更好的通过离心力对光刻胶进行扩散工作的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备，包括工作台，所述工作台的上部安装有滴胶机构，所述工作台的内部安装有旋转台，所述旋转台的上部设置有放置座，所述旋转台的上部均匀设置有轨道座，所述轨道座至少为四组，所述轨道座的内部设置有移动座，所述移动座的上部安装有夹持座，所述旋转台的内部安装有气缸，所述气缸的伸缩端设置有拉伸架，所述拉伸架的内部设置有拉伸板，所述拉伸板的上部与所述移动座相连接。
[0006]优选的，所述旋转台包括旋转架、连杆与驱动电机，所述旋转架活动连接在所述工作台的内部，所述连杆固定连接在所述旋转架的底部，所述驱动电机安装在所述工作台的内部，所述驱动电机的传动轴与所述连杆的底部相连接。
[0007]优选的，所述移动座与所述拉伸架的内部均开设有卡接槽，所述拉伸板的上下两侧均卡接在所述卡接槽的内部。
[0008]优选的，。所述移动座的内部均匀开设有螺接槽，所述夹持座的内部均匀设置有螺杆，所述螺杆与螺接槽相螺接，所述夹持座通过螺杆固定在所述移动座的上部。
[0009]优选的，所述旋转台的内部均匀开设有作用槽，所述移动座活动连接在所述作用槽的内部。
[0010]优选的，所述夹持座的内部设置有卡接槽，所述卡接槽的内部设置有缓冲簧，所述缓冲簧的另一端设置有夹持块，所述夹持块的外侧位于所述卡接槽的内部。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1.通过运行旋转台进行转动，通过旋转台的转动带动芯片进行旋转工作，通过芯片旋转产生的离心力，使得光刻胶均匀的涂抹在芯片的上部，通过上述结构可通过旋转产生的离心力进行涂胶工作，从而使得光刻胶呈向外扩散形涂抹在芯片的上部，且可对芯片的位置进行精确定位，避免滴胶时，滴胶的位置产生偏移现象，且避免旋转时，芯片的位置产生偏移甩出现象；
[0013]2.夹持座在对芯片进行夹持时，夹持块会与芯片进行夹持，通过卡接槽内部设置有缓冲簧，可在夹持块夹持时，对夹持块进行缓冲工作，使得夹持块收缩至卡接槽的内部，从而在芯片进行夹持时，有效的对芯片进行保护工作，避免夹持时对芯片产生损伤；
[0014]3.通过把夹持座放置在移动座的上部，通过旋转螺杆与移动座内部的螺接槽相螺接，从而把夹持座螺接在移动座的上部，以便于更好的对移动座进行拆卸更换工作，辅助夹持座更好不同型号的芯片进行夹持工作。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0016]在附图中：
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术拉伸架示意图；
[0019]图3为本技术夹持座结构示意图。
[0020]图中：10、工作台；11、滴胶机构；12、旋转台；120、旋转架；121、连杆；122、驱动电机；13、放置座；14、轨道座；15、移动座；16、夹持座； 17、气缸；18、拉伸架；19、拉伸板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一，由图1
‑
3给出，一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备，包括工作台10，工作台10的上部安装有滴胶机构11，工作台10的内部安装有旋转台12，旋转台12的上部设置有放置座13，旋转台12的上部均匀设置有轨道座14，轨道座14至少为四组，轨道座14的外侧设置有移动座15，移动座15的上部安装有夹持座16，拉伸架18的内部设置有拉伸板19，拉伸板19的上部与移动座15相连接，该装置在进行使用时，把需要涂胶的芯片放置在放置座13的内部，旋转台12的内部安装有气缸17，通过运行气缸17进行工作，气缸17的伸缩端固定连接有拉伸架18，使得气缸17的伸缩端带动拉伸架18进行下降工作，移动座15与拉伸架18的内部均开设有卡接槽，拉伸板19的上下两侧均卡接在卡接槽的内部，通过设置有卡接槽，可更好的对拉伸板19进行安装工作，使得拉伸板19进行多角度进行控制调节，辅助拉伸板19在向下移动时，更好的对移动座15进行向内拉伸工作，通过拉伸架18 的下降带动拉伸板19进行向下移动，通过拉伸板19的向下移动，使得拉伸板19对移动座15向内进行拉伸工作，通过拉伸板19的向下拉伸力使得移动座15向内进行移动，旋转台12的内部均匀开设
有作用槽，移动座15活动连接在作用槽的内部，通过旋转台12内部均匀开设的作用槽，可对移动座15 的位置进行限定工作，使得移动座15更好的进行滑动工作，以便于移动座15 更好的在旋转台12的内部进行滑动工作，通过旋转台12上部固定连接的轨道座14，使得轨道座14对移动座15的位置进行限定，使得移动座15在轨道座14内部外侧面滑动，移动座15在向内进行滑动时，会带动夹持座16向内移动，通过夹持座16的向内移动，通过夹持座16的向内移动对芯片进行夹持工作，对夹持座16的位置进行定位工作，且通过运行工作台10上部安装的滴胶机构11进行工作，使得滴胶机构11对芯片的上部进行滴胶工作，通过运行旋转台12进行转动，旋转台12包括旋转架120、连杆121与驱动电机 122，旋转架120活动连接在工作台10的内部，连杆121固定连接在旋转架 120的底部，驱动电机122安装在工作台10的内部，驱动电机122的传动轴与连杆121的底部相连接，通过运行工作台10底部安装的驱动电机122进行工作，通过驱动电机122的转动带动连杆121进行转动，通过连杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备，其特征在于：包括工作台(10)，所述工作台(10)的上部安装有滴胶机构(11)，所述工作台(10)的内部安装有旋转台(12)，所述旋转台(12)的上部设置有放置座(13)，所述旋转台(12)的上部均匀设置有轨道座(14)，所述轨道座(14)至少为四组，所述轨道座(14)的外侧设置有移动座(15)，所述移动座(15)的上部安装有夹持座(16)，所述旋转台(12)的内部安装有气缸(17)，所述气缸(17)的伸缩端设置有拉伸架(18)，所述拉伸架(18)的内部设置有拉伸板(19)，所述拉伸板(19)的上部与所述移动座(15)相连接。2.根据权利要求1所述的一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备，其特征在于：所述旋转台(12)包括旋转架(120)、连杆(121)与驱动电机(122)，所述旋转架(120)活动连接在所述工作台(10)的内部，所述连杆(121)固定连接在所述旋转架(120)的底部，所述驱动电机(122)安装在所述工作台(10)的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍建辉，
申请(专利权)人：北旭湖北电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：