滤光器的制造方法技术

本发明专利技术提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。本发明专利技术的滤光器的制造方法包括：在具有隔壁且设置有由隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序，该着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量％以上的色材；使用扫描式曝光机对着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对着色感光性组合物层进行曝光的工序；及显影去除未曝光部的着色感光性组合物层，在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。素的工序。素的工序。

【技术实现步骤摘要】
滤光器的制造方法
[0001]本申请是申请人提交的申请号为201880062375.7、专利技术名称为“滤光器的制造方法”的申请的分案申请。母案申请日为2018年9月21日，最早优先权日为2017年9月29日。


[0002]本专利技术涉及一种滤光器的制造方法。

技术介绍

[0003]在摄像机、数码相机、带有相机功能的移动电话等中，正在使用CCD(电荷耦合元件)或CMOS(互补式金属氧化物半导体)。并且，对固体摄像元件正在使用具有利用着色感光性组合物来形成的像素的滤光器。作为着色感光性组合物，正在使用包含色材及固化性化合物的组合物(参考专利文献1)。
[0004]并且，专利文献2中记载有以波长为193nm的光或波长为248nm的光进行第1阶段的曝光，接着，以波长为365nm的光等进行第2阶段的曝光之后进行显影来形成图案的内容。
[0005]以往技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特表2012
‑
532334号公报
[0008]专利文献2：美国专利第9507264号公报
[0009]近年来，正在研究在像素彼此之间设置隔壁来提高透射像素的光的集光性等的试验。作为在这些像素之间设置隔壁的滤光器的制造方法之一，存在使用光刻法在隔壁之间形成像素来进行制造的方法。具体而言，存在在具有隔壁的支承体上涂布像素形成用组合物来形成组合物层，并对该组合物层进行曝光及显影而在由隔壁划分的区域形成像素来进行制造的方法等。
[0010]然而，通过这些方法在隔壁之间形成像素的情况下，对像素的图案化的精度或所形成的像素的矩形性的要求较高。若像素的图案化的精度或所形成的像素的矩形性不充分，则有时会在隔壁与像素之间产生间隙以及在隔壁上或在形成其他像素的予定的区域内形成已形成的相邻像素的一部分。并且，专利文献1、2中没有关于在隔壁之间形成像素的记载，也未进行研究。

技术实现思路

[0011]专利技术要解决的技术课题
[0012]从而，本专利技术的目的在于提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。
[0013]用于解决技术课题的手段
[0014]本专利技术人进行深入研究的结果，发现通过后述的方法能够实现上述的目的，从而完成了本专利技术。从而，本专利技术提供以下。
[0015]<1>一种滤光器的制造方法，其包括：
[0016]在具有隔壁且设置有由隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序，该着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量％以上的色材；
[0017]使用扫描式曝光机对着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对着色感光性组合物层进行曝光的工序；及
[0018]显影去除未曝光部的着色感光性组合物层，在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。
[0019]<2>根据<1>所述的滤光器的制造方法，其中，
[0020]支承体具有基板、形成于所述基板上的隔壁，在基板的表面设置有由隔壁划分的多个区域，
[0021]形成像素的工序中，在基板上的由隔壁划分的区域内形成像素。
[0022]<3>根据<1>所述的滤光器的制造方法，其中，
[0023]支承体具有基板、形成于基板上的隔壁及覆盖基板和隔壁的至少一部分的保护层，在基板的表面设置有由隔壁划分的多个区域，并且隔壁通过保护层埋设于支承体内，
[0024]形成像素的工序中，在保护层上的与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素。
[0025]<4>根据<1>至<3>中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
[0026]波长为300nm以下的光为KrF射线。
[0027]<5>根据<1>至<4>中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
[0028]隔壁的底部宽度为通过着色感光性组合物形成的像素底部宽度的30％以下。
[0029]<6>根据<1>至<5>中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
[0030]隔壁包含选自钨、铜、铝、氧化铪、氧化钽、氮化硅、氧氮化硅、氧化钛、氧氮化钛、硅、硅氧烷树脂、氟树脂及二氧化硅中的至少一种。
[0031]<7>根据<1>至<6>中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
[0032]隔壁的对于波长为550nm的光的折射率小于通过着色感光性组合物形成的像素的折射率。
[0033]<8>根据<1>至<7>中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
[0034]着色感光性组合物层的对于波长为248nm的光的光密度为1.6以上。
[0035]<9>根据<1>至<8>中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
[0036]固化性化合物包含聚合性单体，聚合性单体的聚合性基团值为10.5mmol/g以上。
[0037]<10>根据<1>至<9>中任一项所述的滤光器的制造方法，其包括：
[0038]形成上述像素之后，在支承体上涂布与上述像素不同的种类的像素形成用第2着色感光性组合物来形成第2着色感光性组合物层的工序；
[0039]以图案状对第2着色感光性组合物层进行曝光的工序；及
[0040]显影去除未曝光部的第2着色感光性组合物层，在由隔壁划分的区域内的与形成有像素的位置不同的位置或与由隔壁划分的区域对应且与形成有像素的位置不同的位置形成第2像素的工序。
[0041]<11>根据<10>所述的滤光器的制造方法，其中，
[0042]使用步进式曝光机对第2着色感光性组合物层照射波长为365nm的光而以图案状对第2着色感光性组合物层进行曝光。
[0043]专利技术效果
[0044]根据本专利技术，能够提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。
附图说明
[0045]图1为表示支承体的一实施方式的侧面剖本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤光器的制造方法，其包括：在具有隔壁且设置有由所述隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序，所述着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量％以上的所述色材；使用扫描式曝光机对所述着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对所述着色感光性组合物层进行曝光的工序；及显影去除未曝光部的所述着色感光性组合物层，在由所述隔壁划分的区域内或与由所述隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序，所述隔壁包含选自钨、铜、铝、氧化铪、氧化钽、氧化钛、氧氮化钛中的至少一种，着色感光性组合物层的对于波长为248nm的光的光密度为1.6以上。2.根据权利要求1所述的滤光器的制造方法，其中，所述支承体具有基板、形成于所述基板上的隔壁，在所述基板的表面设置有由所述隔壁划分的多个区域，形成所述像素的工序中，在所述基板上的由所述隔壁划分的区域内形成所述像素。3.根据权利要求1所述的滤光器的制造方法，其中，所述支承体具有基板、形成于所述基板上的隔壁及覆盖所述基板和所述隔壁的至少一部分的保护层，在所述基板的表面设置有由所述隔壁划分的多个区域，并且所述隔壁被所述保护层埋设于支承体内，形成所述像素的工序中，在所述保护层上的与由所述隔壁划分的区域对应的位置形成所述像素。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：奈良裕树，大河原昂广，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：