一种新型线型探针测试结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针、被测晶圆和PCB板，所述顶板设置在底板上方，所述PCB板设置在底板下方，所述被测晶圆设置在顶板上方，所述顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，所述顶板包括第一顶板、第二顶板和第三顶板，所述底板包括第一底板、第二底板和第三底板，所述引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且0<a<30

【技术实现步骤摘要】
一种新型线型探针测试结构


[0001]本技术涉及探针测试
，具体为一种新型线型探针测试结构。

技术介绍

[0002]随着半导体芯片发展越来越快，越来越多的智能设备包括5G手机，无人驾驶汽车等融入生活，芯片也越来越向体积小的方向发展，这样就出现了小间距芯片的诞生。间距变小，就需要特定的极细线型探针来测试导通及电特性，由于线型探针直径很小，通常直径为≤0.040mm，可用于测试间距(pitch)≤0.065mm的晶圆。为了保证能够使线型探针的两端可靠地与晶圆的端子和PCB板的端子接触且不易产生线型探针的磨损，需要设计一种测试治具来完成。当重复进行将线型探针用治具按压的动作时，线型探针会在前后端侧贯穿孔中滑动。因此，特别是在后端侧贯穿孔的开口处容易产生磨损。当因磨损而使滑动阻力增加时，会出现线型探针无法在后端侧贯穿孔中顺畅地滑动，线型探针的前端不能与被测晶圆与PCB板的端子接触)，会出现测试电性能及导通不佳等问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种新型线型探针测试结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针、被测晶圆和PCB板，所述顶板设置在底板上方，所述PCB板设置在底板下方，所述被测晶圆设置在顶板上方，所述顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，所述顶板包括第一顶板、第二顶板和第三顶板，所述底板包括第一底板、第二底板和第三底板，所述引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且0<a<30
°
。
[0005]作为进一步地优化，所述第一顶板、第二顶板和第三顶板相互平行设置。
[0006]作为进一步地优化，所述第一底板、第二底板和第三底板相互平行设置。
[0007]作为进一步地优化，当第一顶板、第二顶板和第三顶板对齐后，第一顶板、第二顶板和第三顶板上的引导孔轴线对应重合。
[0008]作为进一步地优化，当第一底板、第二底板和第三底板对齐后，第一底板、第二底板和第三底板上的引导孔轴线对应重合。
[0009]作为进一步地优化，所述第一顶板和第一底板之间设置有支撑柱。
[0010]作为进一步地优化，所述线型探针的两端部分别贯穿顶板、底板与被测晶圆和PCB板导通。
[0011]有益效果
[0012]本技术所提供的一种新型线型探针测试结构，通过设置倾斜的引导孔，使得线型探针倾斜连接，在将线型探针用治具按压于PCB板时，减少线型探针在引导孔中滑动导致的磨损，通过使线型探针挠曲，产生的弹性力，能够使线型探针可靠地与PCB板端子接触，
增强该测试结构的测试稳定性。
附图说明
[0013]图1为本技术的三维结构示意图；
[0014]图2为本技术的主视图；
[0015]图3为本技术
技术介绍
中现有结构示意图。
[0016]附图标记
[0017]第一顶板1，第二顶板2，第三顶板3，被测晶圆4，线型探针5，第一底板6，第二底板7，第三底板8，PCB板9，支撑柱10。
具体实施方式
[0018]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0019]实施例
[0020]参照图1和图2，一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针5、被测晶圆4和PCB板9，顶板设置在底板上方，PCB板9设置在底板下方，被测晶圆4设置在顶板上方，顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针5的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，顶板包括第一顶板1、第二顶板2和第三顶板3，底板包括第一底板6、第二底板7和第三底板8，引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且a为15
°
，采用这样的结构，在将线型探针5用治具按压于PCB板时，使得线型探针挠曲，能够使线型探针可靠地与PCB板9的端子接触，3块板结构比使用传统2块板的结构上下各多了一引导孔，对比2块板结构有利于调整线型探针的导向使测试状态比2块板的更稳定，与传统2块板子的治具相比还不易产生线型探针的磨损。
[0021]在本实施例中，当第一顶板1、第二顶板2和第三顶板3对齐后，第一顶板1、第二顶板2和第三顶板3上的引导孔轴线对应重合，当第一底板6、第二底板7和第三底板8对齐后，第一底板6、第二底板7和第三底板8上的引导孔轴线对应重合，使得线型探针5能够倾斜设置，在将线型探针用治具按压于PCB板时，减少线型探针在引导孔中滑动导致的磨损。
[0022]在本实施例中，第一顶板1和第一底板6之间设置有支撑柱10，防止线型探针5过度挠曲导致折断。
[0023]在本实施例中，线型探针5的两端部分别贯穿顶板、底板与被测晶圆4和PCB板9导通。
[0024]工作原理：用治具按压于被检查器件时，通过使线型探针挠曲，从而产生使线型探针的前端自线型探针用治具突出的弹性力，线型探针的两端部能够可靠地与PCB板和被测晶圆接触，形成稳定的导通测试电路。
[0025]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术性的保护范围之内的
技术实现思路
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针(5)、被测晶圆(4)和PCB板(9)，所述顶板设置在底板上方，所述PCB板(9)设置在底板下方，所述被测晶圆(4)设置在顶板上方，所述顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针(5)的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，其特征在于：所述顶板包括第一顶板(1)、第二顶板(2)和第三顶板(3)，所述底板包括第一底板(6)、第二底板(7)和第三底板(8)，所述引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且0<a<30
°
。2.根据权利要求1所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：所述第一顶板(1)、第二顶板(2)和第三顶板(3)相互平行设置。3.根据权利要求1所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱晓晨，卢祯松，
申请(专利权)人：苏州和林微纳科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：