本发明专利技术属于晶圆浸泡工艺技术领域，特别涉及一种片盒翻转装置。该片盒包括两组侧板及设置于两组侧板之间且呈周向分布的多个晶圆固定组件，各晶圆固定组件上开设有深度不同的第一晶圆固定槽和第二晶圆固定槽，通过第一晶圆固定槽和第二晶圆固定槽分别支撑不同尺寸的晶圆；晶圆固定组件包括主体支杆，主体支杆上呈线性等距设置有多个凸块，第一晶圆固定槽开设于各凸块的末端端面上，第二晶圆固定槽开设于两个凸块之间，且第二晶圆固定槽的深度大于第一晶圆固定槽的深度。本发明专利技术在两组侧板之间设置若干组晶圆固定组件，以容纳多种尺寸的晶圆片，达到结构简单，制备方便，成本低，可调节并节省空间的目的。并节省空间的目的。并节省空间的目的。
【技术实现步骤摘要】
一种片盒翻转装置
[0001]本专利技术属于晶圆浸泡工艺
，特别涉及一种片盒翻转装置。
技术介绍
[0002]硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。目前，半导体器件和集成电路的加工制程，一般是先完成晶圆正面工艺，再进行晶圆背面工艺。以绝缘栅双极晶体管为例，晶圆正面工艺一般包括正面光刻、正面刻蚀、正面离子注入、正面退火、正面氧化、正面沉积等，晶圆背面工艺一般包括正面贴膜、背面减薄、清洗、揭膜、背面离子注入、背面退火、背面金属化等。在上述不同工艺制程中，根据加工工序和加工设备的不同，有时需要将晶圆正面作为加工面、有时则需要将晶圆背面作为加工面，所以需对晶圆的正背面朝向进行调换。即使是在同一晶圆面的加工工艺中，有的加工设备需要晶圆正面朝向载片台，而有的加工设备则需要晶圆背面朝向载片台，现有片盒形状复杂，制造过程困难、成本高，片盒容纳的晶圆数量受片盒长度的限制，且每个片盒仅能容纳同一种尺寸的晶圆，进一步地增加了芯片制备的成本与时间。
[0003]晶圆是制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，其中晶圆的浸泡工艺是晶圆生产重要的生产工艺之一，晶圆的浸泡工艺需要使装有晶圆的片盒在浸泡溶液中翻转。
[0004]现有的片盒翻转装置需要至少两个驱动力互相配合才可实现片盒翻转，受浸泡空间的限制驱动力安装不便；此外，两个驱动力成本高，运动复杂。
技术实现思路
[0005]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种片盒翻转装置，以解决现有技术的片盒翻转装置需要至少两个驱动力互相配合才能实现片盒翻转，以及受浸泡空间的限制驱动力安装不便的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0007]一种片盒翻转装置，包括片盒架、主动摆动杆、驱动组件、支撑组件及片盒，其中片盒架上安装至少一个所述片盒；支撑组件设置于片盒架上，用于与外部固定物连接；
[0008]主动摆动杆与片盒架的两侧铰接，驱动组件铰接在主动摆动杆的顶部，驱动组件用于与外部驱动设备连接。
[0009]进一步地，所述支撑组件包括连接板、固定板、从动摆动杆及安装架，其中安装架设置于外部固定物上；
[0010]所述连接板和从动摆动杆的一端通过固定板垂直连接，所述连接板的另一端与所述片盒架的垂直连接，从动摆动杆的另一端与安装架铰接。
[0011]进一步地，所述驱动组件包括铰接座、调节杆、驱动杆及螺纹杆；其中铰接座与所
述主动摆动杆固定连接，调节杆的一端与铰接座铰接，调节杆的另一端与螺纹杆的一端固定连接，螺纹杆的另一端与驱动杆的一端螺纹连接。
[0012]进一步地，所述片盒包括两组侧板及设置于两组侧板之间且呈周向分布的多个晶圆固定组件，各晶圆固定组件上开设有深度不同的第一晶圆固定槽和第二晶圆固定槽，通过第一晶圆固定槽和第二晶圆固定槽分别支撑不同尺寸的晶圆。
[0013]进一步地，所述晶圆固定组件包括主体支杆，主体支杆上呈线性等距设置有多个凸块，所述第一晶圆固定槽开设于各所述凸块的末端端面上，所述第二晶圆固定槽开设于两个所述凸块之间，且所述第二晶圆固定槽的深度大于所述第一晶圆固定槽的深度。
[0014]进一步地，所述第一晶圆固定槽和所述第二晶圆固定槽宽度从开口处至底部逐渐减小；所述第一晶圆固定槽和所述第二晶圆固定槽的底部均设置有用于辅助夹紧晶圆的弹性夹紧组件。
[0015]进一步地，所述弹性夹紧组件包括弹性柱和抵触结构；
[0016]所述第一晶圆固定槽和第二晶圆固定槽的底部开设有插孔，弹性柱的一端固定插接于插孔内部，弹性柱另一端设有抵触结构，抵触结构上安装有表面粗糙的垫块。
[0017]进一步地，所述弹性柱包括外套管、环形挡块、插杆、圆柱形限位板及压缩弹簧，其中外套管的开口处设置有环形挡块；插杆的一端穿过环形挡块插设于外套管内且与圆柱形限位板连接，插杆的另一端与所述抵触结构连接；
[0018]所述压缩弹簧容置于外套管内，压缩弹簧的两端分别与外套管的底部和圆柱形限位板抵接。
[0019]进一步地，所述抵触结构包括抵触块，抵触块上开设有V形槽，所述垫块固定于V形槽的内壁上。
[0020]进一步地，所述侧板为圆形板，所述侧板上开设有若干组浸泡液过孔和用于安装所述晶圆固定组件的若干组固定结构；
[0021]所述固定结构包括卡槽及设置于卡槽底部的贯穿孔；
[0022]所述主体支杆的两端分别一体成型有插接块，所述插接块的端面上开设有螺纹盲孔；所述插接块插接于卡槽的内部，使螺纹盲孔与贯穿孔相对应，并通过固定螺栓锁紧固定。
[0023]本专利技术实施例提供的片盒翻转装置，具有结构简单、制备方便、运动灵活的优点，只需要一个驱动力就能实现片盒翻转，驱动装置的安装不受浸泡空间的限制，安装方便，成本低。
附图说明
[0024]图1为本专利技术的实施例中的片盒的轴测图之一；
[0025]图2为本专利技术的实施例中的片盒的轴测图之二；
[0026]图3为本专利技术的实施例中晶圆固定组件的结构示意图；
[0027]图4为本专利技术的实施例中侧板的结构示意图；
[0028]图5为本专利技术的实施例中弹性夹紧组件的结构示意图；
[0029]图6为本专利技术的实施例中弹性柱的结构示意图；
[0030]图7为本专利技术的实施例中片盒翻转装置的轴测图之一；
[0031]图8为本专利技术的实施例中片盒翻转装置的轴测图之二；
[0032]图9为本专利技术的实施例中片盒架的结构示意图；
[0033]图10为本专利技术的实施例中驱动组件的结构示意图；
[0034]图11为本专利技术的实施例中支撑组件的结构示意图；
[0035]图中：1、侧板；2、腰孔；3、晶圆固定组件；4、第一晶圆固定槽；5、第二晶圆固定槽；6、固定结构；7、主体支杆；8、凸块；9、插接块；10、浸泡液过孔；11、螺纹盲孔；12、贯穿孔；13、卡槽；15、沉头孔；16、弹性柱；17、插孔；18、抵触结构；19、垫块；20、外套管；21、环形挡块；22、插杆；23、圆柱形限位板；24、压缩弹簧；25、抵触块；26、V形槽；27、加固板；31、片盒架；32、主动摆动杆；33、铰接座；34、调节杆；35、驱动杆；36、连接板；37、第一固定板；38、第二固定板；39、从动摆动杆；40、安装架；41、锁紧杆；42、锁紧板；43、连接杆；44、螺纹杆，45为中间板，100、片盒。
具体实施方式
[0036]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。基于本专利技术中的实施例，本领域普本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种片盒翻转装置，其特征在于，包括片盒架(31)、主动摆动杆(32)、驱动组件、支撑组件及片盒(100)，其中片盒架(31)上安装至少一个所述片盒(100)；支撑组件设置于片盒架(31)上，用于与外部固定物连接；主动摆动杆(32)与片盒架(31)的两侧铰接，驱动组件铰接在主动摆动杆(32)的顶部，驱动组件用于与外部驱动设备连接。2.根据权利要求1所述的片盒翻转装置，其特征在于，所述支撑组件包括连接板(36)、固定板、从动摆动杆(39)及安装架(40)，其中安装架(40)设置于外部固定物上；所述连接板(36)和从动摆动杆(39)的一端通过固定板垂直连接，所述连接板(36)的另一端与所述片盒架(31)的垂直连接，从动摆动杆(39)的另一端与安装架(40)铰接。3.根据权利要求1所述的片盒翻转装置，其特征在于，所述驱动组件包括铰接座(33)、调节杆(34)、驱动杆(35)及螺纹杆(44)；其中铰接座(33)与所述主动摆动杆(32)固定连接，调节杆(34)的一端与铰接座(33)铰接，调节杆(34)的另一端与螺纹杆(44)的一端固定连接，螺纹杆(44)的另一端与驱动杆(35)的一端螺纹连接。4.根据权利要求1所述的片盒翻转装置，其特征在于，所述片盒(100)包括两组侧板(1)及设置于两组侧板(1)之间且呈周向分布的多个晶圆固定组件(3)，各晶圆固定组件(3)上开设有深度不同的第一晶圆固定槽(4)和第二晶圆固定槽(5)，通过第一晶圆固定槽(4)和第二晶圆固定槽(5)分别支撑不同尺寸的晶圆。5.根据权利要求4所述的片盒翻转装置，其特征在于，所述晶圆固定组件(3)包括主体支杆(7)，主体支杆(7)上呈线性等距设置有多个凸块(8)，所述第一晶圆固定槽(4)开设于各所述凸块(8)的末端端面上，所述第二晶圆固定槽(5)开设于两个所述凸块(8)之间，且所述第二晶圆固定槽(5)的深度大于所述第一晶圆固定槽(4)的深度。6.根据权利要求5所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王阳，魏猛，张佳男，
申请(专利权)人：芯达半导体设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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