一种AMHS系统中的防撞控制装置制造方法及图纸

技术编号:35152164 阅读:28 留言:0更新日期:2022-10-05 10:30
本实用新型专利技术提供了一种AMHS系统中的防撞控制装置,属于半导体生产加工设备技术领域,包括具有分叉口的轨道,所述的轨道包括主轨道和与主轨道汇流的分叉轨道,主轨道与分叉轨道相交于汇流点,主轨道与分叉轨道供天车通行,所述主轨道的外侧固定有光带一,分叉轨道的外侧固定有光带二,所述的主轨道位于汇流点的后侧固定有若干光电传感器一,分叉轨道上固定有若干光电传感器二,所述的天车上固定有能够识别光源的光电传感接收器,所述的轨道上还固定有汇流控制器,所述的光带一、光带二、光电传感器一、光电传感器二和光电传感接收器均与汇流控制器电连接。本实用新型专利技术能够有效防止来自不同轨道上的天车在汇流处发生碰撞,从而提高天车的输送效率。车的输送效率。车的输送效率。

【技术实现步骤摘要】
一种AMHS系统中的防撞控制装置


[0001]本技术属于半导体生产加工设备
,涉及一种AMHS系统中的防撞控制装置。

技术介绍

[0002]半导体领域内,晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(AMHS)来提高工厂的自动化程度,更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。轨道是自动物料传输系统中重要子系统,主要负责自动物料传输系统所有物料搬运小车(OHT)运行路线规划及控制。
[0003]由于晶圆厂内成千上万道的工艺,必需靠物料搬运小车在自动物料传输系统中各种不同支线的轨道内快速且有效的穿梭移动,即时且精准的把控物料搬运小车在叉路口优先通行许可的前后秩序。尤其在两车或多车相互交汇时,多车轨道汇流防撞控制系统则是至关重要的叉路口汇流辅助机构。
[0004]然而现有自动物料传输系统中的轨道,其汇流防撞控制系统主要存在以下诸多不足:1、因透过网络通讯的层层传递,会因通讯速度较慢,造成剎车控制反应不够及时,再加上刹车距离不够刹车惯性的物理距离,易导致两个或多个物料搬运小车的碰撞或追撞;2、弯道的停车位置必需另外想方法,因弯道启动,电流过大,致使物料搬运小车无法在弯道停车后启动,只能在直线段停车后启动。
[0005]所以,对于本领域内的技术人员,还有待对现有技术中的轨道进行改进,以克服上述的不足。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种AMHS系统中的防撞控制装置,本技术所要解决的技术问题是如何防止来自不同轨道上的天车在汇流处发生碰撞。
[0007]本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种AMHS系统中的防撞控制装置,包括具有分叉口的轨道,所述的轨道包括主轨道和与主轨道汇流的分叉轨道,主轨道与分叉轨道相交于汇流点,主轨道与分叉轨道供天车通行,所述主轨道的外侧固定有光带一,所述分叉轨道的外侧固定有光带二,所述的主轨道位于汇流点的后侧固定有若干光电传感器一,所述的分叉轨道上固定有若干光电传感器二,所述的天车上固定有能够识别光源的光电传感接收器,所述的轨道上还固定有汇流控制器,所述的光带一、光带二、光电传感器一、光电传感器二和光电传感接收器均与汇流控制器电连接。
[0008]本AMHS系统中的防撞控制装置,其工作原理是这样的:
[0009]1、当光电传感器一和光电传感器二检测不到主轨道或分叉轨道内有天车时,光带一与光带二均会点亮,表示主轨道与分叉轨道均可以供天车通行;
[0010]2、当天车进入主轨道位于汇流点的后方时,即进入主轨道的通行许可检查路段,进入主轨道的天车上的光电传感接收器会收到光带一的光源,表示主轨道上的天车可以通
行,所以天车保持继续行进状态;同时,因为光电传感器一检测到主轨道有天车进入,会通过汇流控制器来关闭光带二的光源,使之熄灭,分叉轨道因此变成不可通状态;此时若有天车进入分叉轨道时,即先进入分叉轨道的通行许可检查路段,因为进入分叉轨道的天车上的光电传感接收器收不到光带二的光源,分叉轨道上的天车会立即暂停等待;
[0011]3、当主轨道上的天车进入汇流点的前方时,光电传感器一检知不到天车时,通过汇流控制器会重新点亮光带二,使分叉轨道的天车上的光电传感接收器可以接收到光带二的光源后,分叉轨道上的天车才可以继续通行;同时,因为光电传感器二检测到分叉轨道有天车进入,汇流控制器会关闭光带一的光源使之熄灭,以使主轨道位于汇流点的后方无法通行天车;
[0012]4、当分叉轨道上的天车进入汇流点的前方时,光电传感器二检知不到天车时,通过汇流控制器才会再度把光带一点亮;
[0013]5、动作反之亦相同。
[0014]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,相邻所述的光电传感器一之间的间距小于天车的长度,相邻所述的光电传感器二之间的间距小于天车的长度。
[0015]采用上述的技术方案,就可以使天车在主轨道位于汇流点的后侧的任何一个位置都可以被检知到,或者是使天车在分叉轨道内的任何一个位置都可以被检知到。
[0016]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,所述的主轨道位于汇流点的前侧固定有若干光电传感器三,所述的光电传感器三与汇流控制器电连接。
[0017]采用上述的技术方案,当光电传感器三检知到主轨道位于汇流点的前侧处有天车通过时,通过汇流控制器会使主轨道或者是分叉轨道上处于熄灭状态的光带一或者光带二重新点亮。
[0018]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,所述的主轨道上位于汇流点与光电传感器三之间固定有若干光电传感器四,所述的光电传感器四与汇流控制器电连接。
[0019]采用上述的技术方案,当光电传感器四检知到主轨道位于汇流点的前侧处有天车通过时,通过汇流控制器可以实时监测天车位于主轨道上的位置。
[0020]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,相邻所述的光电传感器四之间的间距小于天车的长度。
[0021]采用上述的技术方案,就可以使天车在主轨道位于汇流点的前侧的任何一个位置都可以被检知到,从而确定天车的实时位置。
[0022]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,所述的光电传感器一、光电传感器二、光电传感器三和光电传感器四均为反射式光电传感器。
[0023]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,所述的光电传感接收器为对照式光电传感器。
[0024]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,所述的主轨道与分叉轨道之间固定有遮光板。
[0025]在上述的AMHS系统中的防撞控制装置中,所述的汇流控制器为PLC控制器、单片机或计算机。
[0026]与现有技术相比,本技术具有以下优点:
[0027]1、本技术通过在主轨道位于汇流点的后侧固定若干光电传感器一,分叉轨道
上固定若干光电传感器二,就可以检知天车是否在主轨道上或是分叉轨道通行;通过在主轨道位于汇流点的前侧固定若干光电传感器三,当光电传感器三检知到在主轨道上有天车通过时,就可以使处于熄灭状态的光带一或者光带二重新点亮;通过在主轨道上位于汇流点与光电传感器三之间固定若干光电传感器四,通过汇流控制器可以实时监测天车位于主轨道上的位置。
[0028]2、本技术通过设置遮光板,以防止主轨道上的光带一与分叉轨道上的光带二相互影响主轨道与分叉轨道上的天车管制。
附图说明
[0029]图1为本技术的俯视图;
[0030]图2为本技术的立体图。
[0031]图中:1、主轨道;2、分叉轨道;3、光带一;4、光带二;5、光电传感器一;6、光电传感器二;7、光电传感器三;8、光电传感器四;9、光电传感接收器;10、汇流控制器;11、遮光板。
具体实施方式
[0032]以下是本技术的具体实施例并结合附图,对本技术的技术方案作进一步的描述,但本技术并不限于这些实施例。
[0033]如图1

2所示,一种AMHS系统中的防撞控制装置,本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种AMHS系统中的防撞控制装置,包括具有分叉口的轨道,所述的轨道包括主轨道(1)和与主轨道(1)汇流的分叉轨道(2),主轨道(1)与分叉轨道(2)相交于汇流点,主轨道(1)与分叉轨道(2)供天车通行,其特征在于,所述主轨道(1)的外侧固定有光带一(3),所述分叉轨道(2)的外侧固定有光带二(4),所述的主轨道(1)位于汇流点的后侧固定有若干光电传感器一(5),所述的分叉轨道(2)上固定有若干光电传感器二(6),所述的光电传感器一(5)和光电传感器二(6)均为反射式光电传感器,所述的天车上固定有能够识别光源的光电传感接收器(9),所述的光电传感接收器(9)为对照式光电传感器,所述的轨道上还固定有汇流控制器(10),所述的光带一(3)、光带二(4)、光电传感器一(5)、光电传感器二(6)和光电传感接收器(9)均与汇流控制器(10)电连接。2.根据权利要求1所述的一种AMHS系统中的防撞控制装置,其特征在于,相邻所述的光电传感器一(5)之间的间距小于天车的长度,相邻所述的光电传感器二(6)之间的间距小于天车的长度。...

【专利技术属性】
技术研发人员:余君山温孟川邱海洲王伟忠
申请(专利权)人:华芯嘉兴智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1