本实用新型专利技术涉及半导体生产技术领域领域，公开了一种圆柱籽晶自动抛光装置，包括机架，机架上固定安装有第一基座，第一基座上安装有内缸，内缸内部的第一基座上转动的穿设有第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒，第一基座下方的机架上固定安装有第一电机、第二电机、第三电机和第四电机，第一电机与第一抛光棒传动连接，第二电机与第二抛光棒传动连接，第三电机与第三抛光棒传动连接；第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒中心位置的第一基座上转动的穿设有设置有圆柱卡具，圆柱卡具上卡接有圆柱支柱，第四电机与圆柱卡具传动连接。本实用新型专利技术解决目前对籽晶的抛光采用人工抛光处理，存在效率低、抛光不均匀的质量问题。抛光不均匀的质量问题。抛光不均匀的质量问题。
【技术实现步骤摘要】
一种圆柱籽晶自动抛光装置
[0001]本技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种圆柱籽晶自动抛光装置。
技术介绍
[0002]磷化铟(InP)是一种具有闪锌矿结构的化合物半导体材料，它具有直接跃迁型能带结构，与硅(Si)和砷化镓(GaAs)材料相比，具有高的电光转换效率，高的电子迁移率，高的工作温度，以及强抗辐射能力的特点，因而在民用和军事领域的应用广泛。
[0003]目前，制备InP单晶材料的方法主要有液封直拉技术(LEC)、改进的LEC技术、蒸气压控制直拉技术(PC
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LEC)、垂直梯度凝固(VB)和垂直布里奇曼技术(VGF)、水平布里奇曼(HB)和水平梯度凝固技术(HGF)等。然而，这些不同的InP单晶生长技术各有优缺点，但也存在一些共同点。它们都需要将InP的多晶料进行高温熔融，并且必须在具有红磷(P)蒸汽的一个环境生长InP单晶。同时，在该过程中都需要使用氧化硼(B2O3)做液封剂。其中，还有一个共同点是这些生长技术中，在生长过程中都需要用InP圆柱籽晶来进行引晶。
[0004]因此，不管利用任何生长技术来生长InP单晶，都需要使用InP圆柱籽晶，并且还需要充分考虑籽晶表面质量。通常来说，一个生长籽晶的纯度和高结晶质量都在一定程度上决定着制备单晶的纯度与结晶质量。根据研究发现，籽晶对晶体中位错的贡献主要表现为两个方面：籽晶原有的位错以及引晶过程的热冲击在籽晶中产生的位错。于是，研究人员从中可以知道减少籽晶原有的位错是决定后期生长单晶质量好坏的关键之一。当前在原有的生长工艺中，一般都采用选取之前生长较好的单晶来作为下一次生长中的备用籽晶，这种备用籽晶需要对其进行抛光，目前对籽晶的抛光大多采用人工抛光处理，但人工抛光存在效率低、抛光不均匀的质量问题。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本技术的目的是提供一种圆柱籽晶自动抛光装置，解决目前对籽晶的抛光采用人工抛光处理，存在效率低、抛光不均匀的质量问题。
[0006]本技术通过以下技术手段解决上述技术问题：
[0007]一种圆柱籽晶自动抛光装置，包括机架，所述机架上固定安装有第一基座，所述第一基座上固定安装有内缸，所述内缸内部的第一基座上转动的穿设有第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒，所述第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒上均套设有圆柱抛光垫，所述第一基座下方的机架上固定安装有第一电机、第二电机、第三电机和第四电机，所述第一电机与第一抛光棒传动连接，所述第二电机与第二抛光棒传动连接，所述第三电机与第三抛光棒传动连接；所述第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒中心位置的第一基座上转动的穿设有设置有圆柱卡具，所述圆柱卡具上卡接有圆柱支柱，所述第四电机与圆柱卡具传动连接。
[0008]进一步，所述内缸的外部滑动的设置有外缸，所述外缸的顶部固定连通有三根引流导管，位于外缸内部的引流导管一端分别对准第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒。当
第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒对籽晶进行抛光时，可以利用引流导管注入抛光液，抛光液对准第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒进行喷射，使得籽晶的抛光质量更好；而外缸可以将内缸笼罩在内，防止抛光时的粉尘或者抛光液乱溅，影响工作环境。
[0009]进一步，所述外缸的开口端设置有第二基座，所述第一基座与第二基座通过螺栓固定连接。通过第一基座与第二基座的螺栓连接，可以将内缸和外缸进行固定，防止抛光时因为抖动使得外缸位置调整导致引流导管与三个抛光棒错位的问题。
[0010]进一步，所述外缸的顶部螺纹连接有螺杆，所述螺杆位于内缸外部的一端固定连接有螺帽，所述螺杆位于内缸内部的一端固定连接有圆片，所述圆片上固定连接有圆形抛光垫。在对籽晶进行抛光前，可以旋转螺母，转动螺杆，使得螺杆上升或者下降，进而调整圆片的高度，从而将圆片抵紧在籽晶的顶部，如此，在对籽晶的外圆周进行抛光的同时，可以利用圆片上的圆形抛光垫对籽晶的顶部同时进行抛光处理。
[0011]进一步，所述第一基座上固定连通有与内缸内部连通的废液排出管。当籽晶进行抛光时，从引流导管注入的抛光液在辅助进行抛光之后，可以从废液排出管排出。
[0012]进一步，所述第一电机的输出轴上固定连接有第一齿轮，所述第一抛光棒穿出第一基座的一端固定连接有第二齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮啮合；所述第二电机的输出轴上固定连接有第三齿轮，所述第二抛光棒穿出第一基座的一端固定连接有第四齿轮，所述第三齿轮与第四齿轮啮合；所述第三电机的输出轴上固定连接有第五齿轮，所述第三抛光棒穿出第一基座的一端固定连接有第六齿轮，所述第五齿轮与第六齿轮啮合；所述第四电机的输出轴上固定连接有第七齿轮，所述圆柱卡具穿出第一基座的一端固定连接有第八齿轮，所述第七齿轮与第八齿轮啮合。如此，通过齿轮之间的啮合，利用电机带动第一抛光棒、第二抛光棒、第三抛光棒和圆柱卡具旋转，方便抛光棒、圆柱卡具的拆卸和安装。
[0013]进一步，所述内缸内部设置有弹簧模具，所述第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒均位于弹簧模具内，所述第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒的圆心三点相连组成等边三角形，所述第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒靠近基座的部分上转动连接有套环，所述套环与弹簧模具的内壁之间固定连接有弹簧。如此，可以利用弹簧将第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒紧紧的抵触到籽晶的表面，保证籽晶始终固定于第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒的中心位置。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]本技术在对籽晶进行抛光时，引流导管外接外部的抛光液进液管，抛光液从引流导管进入，从喷嘴喷出，对准第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒进行喷射，此时打开第一电机、第二电机、第三电机和第四电机，通过齿轮之间的啮合，利用四个电机带动第一抛光棒、第二抛光棒、第三抛光棒和圆柱卡具旋转，在旋转过程中，第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒上的圆柱抛光垫对籽晶的外侧面进行抛光，圆片上的圆形抛光垫对籽晶的顶部同时进行抛光处理；整个抛光过程通过三根抛光棒和圆形抛光垫同时对籽晶进行机械化的抛光，提升了抛光的效率，也使得籽晶的抛光更加的均匀。
附图说明
[0016]图1是本技术一种圆柱籽晶自动抛光装置的示意图；
[0017]图2为图1中外缸去除缸体后的结构示意图；
[0018]图3为图1中内缸去除缸体后的结构示意图。
[0019]其中，第一基座1、内缸2、第一抛光棒3、第二抛光棒4、第三抛光棒5、废液排出管6、外缸7、引流导管8、喷嘴9、第二基座10、螺栓11、螺杆12、螺帽13、圆片14、第一电机15、第二电机16、第三电机17、第四电机18、圆柱卡具19、圆柱支柱20、弹簧模具21、弹簧22、籽晶23。
具体实施方式
[0020]以下将结合附图对本技术进行详细说明：
[0021]如图1～图3所示，本实施例的一种圆柱籽晶自动抛光装置，包括机架，机架上通过螺栓11固定安装有第一基座1，第一基座1上一体成型的设有内缸2，内缸本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种圆柱籽晶自动抛光装置，其特征在于：包括机架，所述机架上固定安装有第一基座，所述第一基座上固定安装有内缸，所述内缸内部的第一基座上转动的穿设有第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒，所述第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒上均套设有圆柱抛光垫，所述第一基座下方的机架上固定安装有第一电机、第二电机、第三电机和第四电机，所述第一电机与第一抛光棒传动连接，所述第二电机与第二抛光棒传动连接，所述第三电机与第三抛光棒传动连接；所述第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒中心位置的第一基座上转动的穿设有设置有圆柱卡具，所述圆柱卡具上卡接有圆柱支柱，所述第四电机与圆柱卡具传动连接。2.根据权利要求1所述的一种圆柱籽晶自动抛光装置，其特征在于：所述内缸的外部滑动的设置有外缸，所述外缸的顶部固定连通有三根引流导管，位于外缸内部的引流导管一端分别对准第一抛光棒、第二抛光棒和第三抛光棒。3.根据权利要求2所述的一种圆柱籽晶自动抛光装置，其特征在于：所述外缸的开口端设置有第二基座，所述第一基座与第二基座通过螺栓固定连接。4.根据权利要求3所述的一种圆柱籽晶自动抛光装置，其特征在于：所述外缸的顶部螺纹连接有螺杆，所述螺杆位于内缸外部的一端固定连接有螺帽，所述螺杆位于内缸内部的一端固...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘振华，张海军，李勇，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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