【技术实现步骤摘要】
一种高寿命的石墨夹头
[0001]本技术涉及单晶硅制造工艺
,尤其涉及一种高寿命的石墨夹头。
技术介绍
[0002]在单晶硅的制造工艺中,需要用籽晶对单晶炉内真空环境下的熔融状态的多晶硅进行引晶。籽晶通常安装在籽晶夹头上,籽晶夹头装在重锤上,通过重锤带动籽晶旋转、提拉,并实现单晶硅棒生长。
[0003]目前使用的多为锥形石墨夹头,石墨夹头在使用过程中,随着悬挂晶棒重量的增加,纵向受力增加螺纹孔下端直角部分易裂,会造成生产事故及损失。
技术实现思路
[0004]本技术目的就是为了解决现有石墨夹头螺纹孔直角部分易开裂、寿命短的问题,提供了一种高寿命的石墨夹头,增加石墨夹头的可承受性,增强使用寿命,减少事故风险及损失。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种高寿命的石墨夹头,包括夹头本体,夹头本体为陀螺状结构,其内由上至下依次设有导向孔、螺栓孔、阶梯台、大圆柱孔、缩口段和小圆柱孔,导向孔的纵截面为倒置的梯形,其宽度由上至下逐渐减小,导向孔的下端与竖直的螺栓孔相连,螺栓孔的直径小于导向孔底部的宽度;
[0007]螺栓孔的下端与阶梯台相连,阶梯台的拐角处设为圆角,以用于避免直角易受冲击开裂的现象;
[0008]阶梯台的下方与竖直的大圆柱孔相连,大圆柱孔的直径小于阶梯台的内径,大圆柱孔的下部再与缩口段平滑相连,缩口段的内腔横截面积由上至下逐渐减小,且其下端与竖直的小圆柱孔平滑相连,小圆柱孔的直径与缩口段的底部直径相同,且小圆柱孔的底端穿 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高寿命的石墨夹头,包括夹头本体(1),其特征在于:夹头本体(1)为陀螺状结构,其内由上至下依次设有导向孔(2)、螺栓孔(3)、阶梯台(4)、大圆柱孔(5)、缩口段(6)和小圆柱孔(7),导向孔(2)的纵截面为倒置的梯形,其宽度由上至下逐渐减小,导向孔(2)的下端与竖直的螺栓孔(3)相连,螺栓孔(3)的直径小于导向孔(2)底部的宽度;螺栓孔(3)的下端与阶梯台(4)相连,阶梯台(4)的拐角处设为圆角(4a);阶梯台(4)的下方与竖直的大圆柱孔(5)相连,大圆柱孔(5)的直径小于阶梯台(4)的内径,大圆柱孔(5)的下部再与缩口段(6)平滑相连,缩口段(6)的内腔横截面积由上至下逐渐减小,且其下端与竖直的小圆柱孔(7)平滑相连,小圆柱孔(7)的直径与缩口段(6)的底部直径相同,且小圆柱孔(7)的底端穿出夹头本体(1);导向孔(2)、螺栓孔(3)、阶梯台(4)、大圆柱孔(5)、缩口段(6)和小圆柱孔(7)在夹头本体(1)内形成一个...
【专利技术属性】
技术研发人员:董帅,王军磊,王艺澄,
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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