半导体行业用多级过滤水箱制造技术

本实用新型专利技术是半导体行业用多级过滤水箱，其结构包括不锈钢SUS304的水箱体和安装在水箱体顶面上的不锈钢SUS304的沉淀池，水箱体内由2块隔板分隔为3个腔，隔板上开孔并可更换装有不锈钢滤网，沉淀池盖设在水箱体其中相邻2个腔顶部且沉淀池出水口与水箱体一端的腔进水口相通，水箱体剩余1个腔顶部盖设有开有水泵口的水泵盖板、侧面还设有排水口。本实用新型专利技术的优点：结构设计合理，便于移动，且方便废料的收集，过滤精度高，实现了多级过滤，可有效去除磨削液内的杂质，保证晶体的正常磨削，还能将可二次回收的晶体废料集中在一个装置中，便于二次收集。于二次收集。于二次收集。

【技术实现步骤摘要】
半导体行业用多级过滤水箱


[0001]本技术涉及的是半导体行业用多级过滤水箱，具体涉及一种用于半导体磨削行业磨削液过滤的多级过滤水箱。

技术介绍

[0002]现有技术中，晶体磨削行业用过滤装置一般是纸袋式过滤器或水箱。纸袋式过滤机适用于常规金属磨削行业，因为金属磨削行业需要磨削的余量小，金属磨削废料价值不高，而半导体行业，晶体长晶完成以后，直接上半导体专用磨床进行磨削，余量较大且磨削灰比较多，用一般的纸袋式过滤机，废料会直接黏糊在纸带上，无法拖动。半导体行业中，晶体价值比较高，多数高价值晶体磨削废料还需二次回收利用。用纸带式过滤机无法实现，如用一般水箱的过滤系统，一般仅为一级过滤，即水箱中间做一块可插式隔板，隔板上面安装可换式不锈钢滤网。一级过滤无法很有效的去除磨削液里面的杂质。

技术实现思路

[0003]本技术提出的是半导体行业用多级过滤水箱，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现多级过滤，去除磨削液内杂质，且可收集二次回收的晶体废料。
[0004]本技术的技术解决方案：半导体行业用多级过滤水箱，其结构包括不锈钢SUS304的水箱体和安装在水箱体顶面上的不锈钢SUS304的沉淀池，水箱体内由2块隔板分隔为3个腔，隔板上开孔并可更换装有不锈钢滤网，沉淀池盖设在水箱体其中相邻2个腔顶部且沉淀池出水口与水箱体一端的腔进水口相通，水箱体剩余1个腔顶部盖设有开有水泵口的水泵盖板、侧面还设有排水口。
[0005]优选的，所述的沉淀池分隔为4个依次相通的沉淀腔，第一个沉淀腔上开有进水口，第四个沉淀腔底部设有出水口与水箱体一端的腔进水口相通。
[0006]优选的，所述的水箱体底部装4个脚轮、两侧面上装有把手，4个脚轮其中2个为定向轮、2个为万向轮。
[0007]本技术的优点：结构设计合理，便于移动，且方便废料的收集，过滤精度高，实现了多级过滤，可有效去除磨削液内的杂质，保证晶体的正常磨削，还能将可二次回收的晶体废料集中在一个装置中，便于二次收集。
附图说明
[0008]图1是本技术半导体行业用多级过滤水箱的结构示意图。
[0009]图2是图1中水箱体的结构示意图。
[0010]图3是图1中沉淀池的结构示意图。
[0011]图中的1是水箱体、2是沉淀池、3是脚轮、4是隔板、5是腔、6是孔、7是把手、8是沉淀腔、9是水泵盖板、10是水泵口、11是进水口。
具体实施方式
[0012]下面结合实施例和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0013]为解决以上技术问题，考虑切削液为牌号LY113(按比例与水混合)，若用一般材质(如Q235A)水箱，易生锈。考虑材质采用不锈钢SUS304，为了便于推动水箱，方便根据现场情况挪动水箱的位置，故设计成可移动式的结构。另外在箱体上增加一个三层沉淀式过滤结构，主要磨削废料都可以沉积在上层。下层采用传统的不锈钢滤网过滤模式，将水箱的出水腔与回水腔分开。水箱上有可显示液位的装置，便于用户观察。
[0014]如图1
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3所示，半导体行业用多级过滤水箱，其结构包括不锈钢 SUS304的水箱体1和安装在水箱体1顶面上的不锈钢SUS304的沉淀池2，水箱体1内由2块隔板4分隔为3个腔5，隔板4上开孔6并可更换装有不锈钢滤网，沉淀池2盖设在水箱体1其中相邻2个腔5顶部且沉淀池2 出水口与水箱体1一端的腔5进水口相通，水箱体1剩余1个腔5顶部盖设有开有水泵口10的水泵盖板9、侧面还设有排水口。
[0015]沉淀池2分隔为4个依次相通的沉淀腔8，第一个沉淀腔8上开有进水口11，第四个沉淀腔8底部设有出水口与水箱体1一端的腔5进水口相通。
[0016]水箱体1底部装4个脚轮3、两侧面上装有把手7，4个脚轮10其中 2个为定向轮、2个为万向轮。
[0017]根据以上结构，循环磨削液从第1个沉淀腔8进，经第2
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4号沉淀腔8沉积以后，磨削液流往水箱体1下层，再经2层不锈钢滤网过涮之后，再重新从水泵口10打进机床。
[0018]以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
[0019]以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体行业用多级过滤水箱，其特征在于，包括不锈钢SUS304的水箱体(1)和安装在水箱体(1)顶面上的不锈钢SUS304的沉淀池(2)，水箱体(1)内由2块隔板(4)分隔为3个腔(5)，隔板(4)上开孔(6)并可更换装有不锈钢滤网，沉淀池(2)盖设在水箱体(1)其中相邻2个腔(5)顶部且沉淀池(2)出水口与水箱体(1)一端的腔(5)进水口相通，水箱体(1)剩余1个腔(5)顶部盖设有开有水泵口(10)的水泵盖板(9)、侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪艳艳，吴福文，姚志雯，邹根根，赵长政，姚小威，刘毅，
申请(专利权)人：无锡连强智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：