OLED金属掩模及其制造方法技术

提供了一种OLED蒸镀用金属掩模的制造方法，该方法可以将OLED蒸镀金属掩模的制备过程中的变形或弯曲概率降到最低，随着材料蒸镀时材料的均匀蒸镀而便于进行尺寸管理，可靠性提高。此外，提供了一种OLED蒸镀用金属掩模的制造方法，该方法在制造OLED蒸镀金属掩模时，可以使内饰线的凸起部分最小化，从而显著减少基板上产生划痕的概率，从而减少基板损伤造成的工艺不良，提高工艺收率。提高工艺收率。提高工艺收率。

【技术实现步骤摘要】
OLED金属掩模及其制造方法


[0001]这个专利技术涉及显示领域，更详细地说，涉及一种有机电致发光器件蒸镀用金属掩模，即 显示的一种。

技术介绍

[0002]到目前为止，液晶显示屏占据了平板显示屏的大部分，但开发更经济、性能更好、与液 晶显示屏有差异化的新型平板显示屏也在全球范围内如火如荼进行着。有机电致发光器件(以 下简称OLED)是近年来备受瞩目的新一代平板显示器，并将位置精度定为数微米(μm)以 内。
[0003]OLED的发光层是由有机化合物组成的薄膜发光二极管。OLED的结构由基板、阳极、 阳极接受空穴的空穴注入层、输送空穴的空穴输送层、阻止电子从发光层进入空穴输送层的 电子阻挡层、空穴和电子结合发光的发光层、阻止从发光层进入电子输送层的空穴阻挡层、 从阴极接收电子并输送发光层的电子输送层、从阴极接收电子的电子注入层及阴极构成。根 据情况，也可以在电子输运层或空穴输运层中掺杂少量的荧光或磷光染料，而无需单独的发 光层来构成发光层。在制造OLED时，需要将这些多数薄膜层叠起来并进行图案化的薄膜工 艺。薄膜工艺使用具有各自相应图案的掩膜组件，包含化学气相蒸镀(CVD，Chemical vapordeposition)、溅射(sputtering)、离子镀(ion plating)和真空蒸镀(evaporation)等。
[0004]一般来说，真空蒸镀工艺是一种广泛应用于半导体元件制造或平板显示元件制造的工艺， 在真空室中，通过对含有有机物质的蒸镀单元进行加热，使有机物质汽化并蒸镀在位于上部 的玻璃基板上的方法。
[0005]这个时候，为了让有机物质蒸镀在玻璃基板中的期望位置，我们将利用荫罩(掩膜图案)， 在这些荫罩(掩膜图案)中形成目标图案单元，只蒸镀该部分。
[0006]另一方面，加载图案形成的掩模和框架，用多个夹具夹紧掩模后，通过调节拉伸电机的 驱动值，向外拉伸，并通过位于上部的CCD摄像机确认实际图案值与拉伸后的掩模的图案值 是否相匹配。然后通过位于下部的上下台使框架上升，并将其置于对等台上。
[0007]通过将拉伸掩膜和框架分别形成的对准标记进行对准，并将位置程度对准在几微米μm 以内。
[0008]这样将对齐的掩模与框架贴紧，使框架的焊接突起区域随着位于上部的激光移动焊接成 一体化。
[0009]实际上，在有机EL薄膜工艺中，要制造全彩色设备，图案的精密度和图案位置的准确 度都要在数微米以内，而且根据制造商技术水平的不同，掩模的制造单价也有差异。
[0010]在真空涂层室中，将准备好的掩模与玻璃基板对齐，当蒸镀单元的状态符合蒸镀工艺的 条件时，打开主卷帘，将有机蒸气蒸镀在对准的基板上。
[0011]此时，暴露的蒸镀源的辐射热使掩模温度上升，使掩模因热膨胀而拉长，长时间使用时， 由于温度升高，导致掩模片热膨胀，对图案的准确度和图案位置的准确性产生了相
当大的影 响，成为面板不良的原因。
[0012]相关的先行文献规定，在用于加工掩模片的图案单元开口的蚀刻工艺中，在贯穿 开口槽之前，在上半部分预先以半加工形式蚀刻半槽(采用双步蚀刻方式)，上述半 槽根据设定值与开口槽比具有小幅度的宽度间隔和一定的阶梯深度差距。对图案单元 的规格精细化要求提高蚀刻加工性，这种阶梯式半槽是通过开口槽防止有机物蒸镀时 对玻璃基板产生异物化现象(图案掩模片或玻璃基板本身和室的内壁上也可能发生)， 防止在蚀刻工艺中产生的玻璃基板和掩模片之间的燃烧现象(由于热源而燃烧)。这 是韩国注册的专利第101984112号，其目的是显著减少产品不良，改善有机物蒸镀性， 大幅提高了最终显示器产品的性能。
[0013]另外，韩国注册专利第10
‑
230000号,其目的是提供OLED掩模制造装置和方法。 在制造OLED掩模时，对安装在掩模框架上的掩模进行线条扫描，将获得的扫描影像 与设计图纸数据进行比较，确定误差后，利用此方法生成的加工数据加工掩模，这样 即使在拉伸工艺中OLED的掩模发生变形，也能解决OLED掩模的误差。
[0014]另外，韩国注册专利第10
‑
2269904号，是通过对应钢薄板的精密尺寸测量进行 尺寸管理后，完成第一次光化学全过程蚀刻和第二光化学全过程后，进行张力拉伸， 然后用激光焊接固定在掩模框架上，制作掩模框架组件。
[0015]另外，韩国注册专利第10
‑
2186447号是在掩模片上成形多个开口时，在开口的 内侧形成与地基部及开口的内侧连接的连接部后，拉伸掩模片并接合到掩模框架上， 通过从连接到掩模框架的掩模片上切断连接至开口内侧的连接部，从而在掩模片上形 成开口，减少因形成开口时应力而使开口变形的技术。
[0016]另外，韩国注册专利第10
‑
2188656号，是在掩模片的四面外侧端以指状的形式 分割，将突出的多个拉伸口延长，在上述每个拉伸口上，分别对应结合单独的夹具， 并赋予其拉力。这将使掩模片中彼此相邻的直角端沿垂直(直角)方向产生的拉力分
[0017]但是，这种传统的蒸镀掩模在掩模框架上焊接，然后沿着内饰线切割的话，由于金属掩 模的厚度太薄且面积大，因此金属掩模可能会因负荷而下垂或变形。此时，如果传统的金属 掩模因自身载荷而发生弯曲时，那么存在于虚拟区域的内饰线中的尖锐突出部分与基板接触 的可能性增大。
[0018]另外，暴露的蒸镀源的辐射热使掩模的温度上升，使掩模片因受热膨胀而拉伸，长时间 使用时，由于温度上升导致掩模片的热膨胀，内饰线中存在的尖锐突出部分对基板造成划痕， 从而导致产出率下降。

技术实现思路

[0019]【要解决的技术问题】
[0020]本专利技术是为了解决传统的上述问题而提出的。
[0021]这是为了在制造OLED蒸镀用金属掩模时，将变形或弯曲最小化，在蒸镀时均匀蒸镀， 从而提供便于尺寸管理、提高信赖性的OLED蒸镀用金属掩模制造方法及由此制造的OLED 蒸镀用金属掩模。
[0022]本专利技术的另一目的是，在制造OLED蒸镀用金属掩模时，可使内饰线的突出部分最小化， 从而显著减少在基板上产生划痕的概率，减少因基板损伤造成的工艺不良，从而提
供提高工 艺收率的OLED蒸镀金属掩模制造方法及由此制造的OLED蒸镀金属掩模。
[0023]【技术问题的解决手段】
[0024]为了实现上述目的，根据本专利技术的实施例，使内饰线的突出部分最小化的OLED蒸镀用 金属掩模包含正面和背面，具有布置有多个掩模图案的掩模单元区域，以及上述掩模单元区 域外侧的虚拟区域的掩模片；以及布置在上述虚拟区域，包括包围上述掩模单元区域外侧的 内饰线。上述的内饰线，是从上述掩模片的正面向背面方向去除了部分厚度的第一条内饰线 和从上述掩模片的背面向正面方向去除了部分厚度第一条内饰线，具有去掉或贯通的n个第 二条内饰线的特点。
[0025]上述掩模片包括布置在上述虚拟区域，有板状的虚拟部；布置在上述掩模本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED金属掩模，其具有OLED蒸镀用金属板的正面及与所述正面相反的背面，放置有多个掩模图案的掩模单元区域，以及放置在所述掩模单元区域外侧的虚拟区域的掩模片；放置在所述虚拟区域中，包围所述掩模单元区域的外侧，包括关于正面的前侧内饰线和背面的n条后侧内饰线。其中n是1到5的整数。所述掩模片包含：放置在所述虚拟区域，具有板型形态的虚拟部，放置所述掩模单元区域，排列成包围所述多个掩模图案的网格结构的具有多个加强肋的支撑部，和放置在所述掩模单元区域，贯通所述掩模片的正面和背面的所述多个掩模图案。所述内饰线，具有从所述掩模片的正面向背面方向去除部分厚度的前侧内饰线，以及从所述掩模片的第背面向正面方向去除部分厚度或穿透的n条的后侧内饰线；所述前侧内饰线和后侧内饰线被放置在所述虚拟区域中，并以一定的间隔隔离放置以包围所述掩模单元区域的外侧；所述前侧内饰线和后侧内饰线分别独立的以0.5～5mm的横向长度配置为特征的OLED蒸镀金属掩模制造方法。2.根据权利要求1所述的O...

【专利技术属性】
技术研发人员：金振禹，
申请(专利权)人：江苏精润鸿测控技术有限公司，
类型：发明
国别省市：