吸盘组件及用于半导体石英环卧式车床加工的转换套件制造技术

本发明专利技术属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种吸盘组件及用于半导体石英环卧式车床加工的转换套件。其中吸盘组件，包括：吸盘底座，顶面为平面，底面设置有底座凸缘，具有上下联通的导气孔；吸盘主体，底面为平面，顶面具有至少一圈吸盘气槽，具有上下联通的接气孔，接气孔位于吸盘气槽内，吸盘主体的底面设置于吸盘底座的顶面上，接气孔与导气孔联通；石英定位环，底面为平面，当底面设置在吸盘主体顶面上时将吸盘气槽覆盖；吸盘定位环，与吸盘底座固定，位于吸盘主体的内环内侧，设置有定位凸缘，定位凸缘位于石英定位环内环内侧，定位凸缘抵接在吸盘主体顶面内缘上。本发明专利技术的吸盘组件用于装夹半导体石英环所需时间大幅减少少，效率提高。效率提高。效率提高。

【技术实现步骤摘要】
吸盘组件及用于半导体石英环卧式车床加工的转换套件


[0001]本专利技术属于半导体加工设备
，具体涉及一种吸盘组件及用于半导体石英环卧式车床加工的转换套件。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，半导体发展迅速，对于石英部件的要求也越来越高，需求量也越来越大。传统的加工装夹方式繁琐效率低，导致大大影响产品加工效率。
[0003]传统上，石英半导体部件在卧式车床上装夹有两种，一种是通过三爪卡盘直接装夹进行半成品加工，一种是通过蜡进行粘接，具体为，准备相同材质的底板，将底板和部件同时在加热平台上加热，加热时间约为20分钟，然后将蜡涂抹在粘接面，将粘接面的气泡赶出，调平，移出加热台，等待冷却，自然冷却时间约为45分钟，通过强制冷却，冷却时间约为20分钟，然后底板用于装夹在机床上。待产品加工完成后，需要重新加热，将蜡融化，分离产品，清洗产品表面的残留物，整个装夹周期约为90分钟，同时还浪费电能，蜡等。效率低下，不能完全满足生产要求。
[0004]另外，普通的真空吸盘为网格密集型真空吸盘，根据产品需求使用密封条密封，这种通用型的真空吸盘不能很好的贴合产品的外形，且无法直接使用在卧式车床上，造成在本行业中应用受限，且容易造成产品的松动，因而造成产品的报废。

技术实现思路

[0005]本专利技术针对上述技术问题，目的在于提供一种吸盘组件及用于半导体石英环卧式车床加工的转换套件。
[0006]一种吸盘组件，包括：
[0007]一吸盘底座，环状结构，顶面为平面，底面设置有底座凸缘，具有上下联通的导气孔；
[0008]一吸盘主体，环状结构，底面为平面，顶面具有至少一圈吸盘气槽，具有上下联通的接气孔，所述接气孔位于所述吸盘气槽内，所述吸盘主体的底面设置于所述吸盘底座的顶面上，所述接气孔与所述导气孔联通；
[0009]一石英定位环，环状结构，底面为平面，当底面设置在所述吸盘主体顶面上时将所述吸盘气槽覆盖；
[0010]一吸盘定位环，环状结构，与所述吸盘底座固定，位于所述吸盘主体的内环内侧，设置有定位凸缘，所述定位凸缘位于所述石英定位环内环内侧，所述定位凸缘抵接在所述吸盘主体顶面内缘上。
[0011]本专利技术的吸盘组件在使用时，气管可通过旋转连接头与吸盘底座的导气孔连接，进而实现气管与吸盘气槽联通，以用于吸气后实现真空吸盘作用。吸盘定位环用于定位吸盘主体在吸盘底座上的位置。
[0012]所述底座凸缘与所述吸盘底座一体制成，所述底座凸缘的外径小于所述吸盘底座
的外径，所述底座凸缘的内径与所述吸盘底座的内径相同，且所述底座凸缘内壁与所述吸盘底座的内环内壁齐平。
[0013]位于所述导气孔周边的顶面挖设有导气槽，所述导气槽的长度方向为径向，所述导气槽与所述导气孔联通，所述导气孔经所述导气槽联通所述接气孔。
[0014]所述吸盘主体的顶面具有两圈所述吸盘气槽，两圈所述吸盘气槽沿径向同心设置，每圈所述吸盘气槽上均设置有所述接气孔。
[0015]所述定位凸缘一体设置在所述吸盘定位环顶部外侧，所述定位凸缘的顶面与所述吸盘定位环的顶面齐平。
[0016]所述吸盘定位环的底面一体设置有内嵌凸缘，所述内嵌凸缘的外径小于所述吸盘定位环的外径，所述内嵌凸缘的内径与所述吸盘定位环的内径相同，且所述内嵌凸缘内壁与所述吸盘定位环的内环内壁齐平；
[0017]所述内嵌凸缘内嵌于所述吸盘底座的内环内侧。
[0018]所述吸盘底座的顶面沿周向设置有若干底座固定孔；
[0019]所述吸盘定位环上设置有上下联通的定位环沉孔；
[0020]所述吸盘底座和所述吸盘定位环通过固定螺栓可拆卸连接。
[0021]所述吸盘底座和所述底座凸缘为采用304不锈钢一体制成的不锈钢底座；
[0022]所述吸盘主体为采用石英材质制成的石英吸盘；
[0023]所述吸盘定位环和定位凸缘为采用PP材质一体制成的PP定位环。
[0024]所述石英定位环的顶面一体设置有限位凸缘，所述限位凸缘的外径小于所述石英定位环的外径，所述限位凸缘的内径大于所述石英定位环的外径，致使所述限位凸缘绕所述石英定位环的顶面周向一圈设置。
[0025]一种用于半导体石英环卧式车床加工的转换套件，包括一卧式车床，所述卧式车床上设置有三爪卡盘；
[0026]还包括：
[0027]所述吸盘组件，其底座凸缘连接于三爪卡盘上；
[0028]一真空泵；
[0029]一储气罐，通过气管与所述真空泵连接；
[0030]一手拉阀，通过另一气管与所述储气罐连接；
[0031]一旋转接头，与所述吸盘组件的导气孔连接，通过另一气管与所述手拉阀连接。
[0032]所述手拉阀与所述气管连接处设置有消音器。
[0033]有益效果：本专利技术具有如下优点：
[0034]1、吸盘组件用于装夹半导体石英环所需时间大幅减少少，效率提高；
[0035]2、整体结构简单，操作相对便利；
[0036]3、降低了能源消耗，减少了生产成本。
附图说明
[0037]图1为本专利技术的一种整体结构示意图；
[0038]图2为图1的俯视图；
[0039]图3为图1的仰视图；
[0040]图4为图1的爆炸图；
[0041]图5为图1的部分爆炸图；
[0042]图6为本专利技术吸盘底座的一种结构示意图；
[0043]图7为图6的俯视图；
[0044]图8为本专利技术吸盘主体的一种俯视图；
[0045]图9为图8的仰视图；
[0046]图10为本专利技术吸盘定位环的一种结构示意图；
[0047]图11为图10的另一侧结构示意图。
具体实施方式
[0048]为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本专利技术。
[0049]参照图1至图11，一种吸盘组件，包括吸盘底座1、吸盘主体2、石英定位环3和吸盘定位环4。
[0050]参照图1至图7，吸盘底座1为环状结构，吸盘底座1的顶面为平面，吸盘底座1的底面设置有底座凸缘11，底座凸缘11用于与卧式车床上的三爪卡盘连接，以实现将吸盘组件固定在三爪卡盘上。
[0051]底座凸缘11与吸盘底座1优选为一体制成，底座凸缘11的外径小于吸盘底座1的外径，底座凸缘11的内径与吸盘底座1的内径相同，且底座凸缘11内壁与吸盘底座1的内环内壁齐平。
[0052]吸盘底座1具有上下联通的导气孔12。位于导气孔12周边的顶面挖设有导气槽13，导气槽13的长度方向为径向，导气槽13与导气孔12联通，导气孔12经导气槽13联通吸盘主体2的接气孔22。
[0053]吸盘底座1和底座凸缘11为采用304不锈钢一体制成的不锈钢底座。
[0054]参照图1至图5、图8和图9，吸盘主体2为环状结构，吸盘主体2的底面为平面，吸盘主体2的顶面具有至少一圈吸盘气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸盘组件，其特征在于，包括：一吸盘底座，环状结构，顶面为平面，底面设置有底座凸缘，具有上下联通的导气孔；一吸盘主体，环状结构，底面为平面，顶面具有至少一圈吸盘气槽，具有上下联通的接气孔，所述接气孔位于所述吸盘气槽内，所述吸盘主体的底面设置于所述吸盘底座的顶面上，所述接气孔与所述导气孔联通；一石英定位环，环状结构，底面为平面，当底面设置在所述吸盘主体顶面上时将所述吸盘气槽覆盖；一吸盘定位环，环状结构，与所述吸盘底座固定，位于所述吸盘主体的内环内侧，设置有定位凸缘，所述定位凸缘位于所述石英定位环内环内侧，所述定位凸缘抵接在所述吸盘主体顶面内缘上。2.如权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，所述底座凸缘与所述吸盘底座一体制成，所述底座凸缘的外径小于所述吸盘底座的外径，所述底座凸缘的内径与所述吸盘底座的内径相同，且所述底座凸缘内壁与所述吸盘底座的内环内壁齐平。3.如权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，位于所述导气孔周边的顶面挖设有导气槽，所述导气槽的长度方向为径向，所述导气槽与所述导气孔联通，所述导气孔经所述导气槽联通所述接气孔。4.如权利要求3所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘主体的顶面具有两圈所述吸盘气槽，两圈所述吸盘气槽沿径向同心设置，每圈所述吸盘气槽上均设置有所述接气孔。5.如权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，所述定位凸缘一体设置在所述吸盘定位环顶部外侧，所述定位凸缘的顶面与所述吸盘定位环的顶面齐平。6.如权利要求1所述的吸盘组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：马洋洋，舒宇珩，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：