防护膜组件及其制造方法技术

本公开的目的在于提供一种具有平坦性良好的粘着剂层的防护膜组件、及用于再现性良好地制造该防护膜组件的方法。所述目的通过如下的防护膜组件来达成，所述防护膜组件具有：防护膜组件框、铺设于防护膜组件框的一端面的防护膜以及设置于防护膜组件框的另一端面的粘着剂层，粘着剂层包含树脂组合物的固化物，所述树脂组合物包含固化性聚合物(A)、固化剂(B1)以及固化剂(B2)，固化剂(B1)及固化剂(B2)为固化条件不同的固化剂。为固化条件不同的固化剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】防护膜组件及其制造方法


[0001]本公开涉及例如在大规模集成电路、超大规模集成电路等半导体装置、液晶显示器面板等的光刻步骤中，作为光刻用掩模的防尘器来使用的防护膜组件及其制造方法。

技术介绍

[0002]防护膜组件在大规模集成电路、超大规模集成电路等半导体装置、液晶显示器面板等的光刻步骤中，安装在光刻用掩模上，以防止异物向掩模附着为目的来使用。防护膜组件通常具有：防护膜组件框、铺设于防护膜组件框的上端面的透明防护膜以及设置于下端面且用于将防护膜组件粘贴于掩模的粘着剂层。若将有形变的防护膜组件粘贴于掩模，则掩模产生形变，曝光位置产生偏移，因此要求没有形变的防护膜组件。因此，对防护膜组件的粘着剂层要求平坦性与应力缓和性。
[0003]另外，近年来，伴随掩模图案的微细化，曝光光的短波长化正在推进。短波长的光的例子有KrF准分子激光、ArF准分子激光等准分子光等。由于这样的短波长为高能量，因此在曝光中粘着剂的成分容易分解，因粘着剂成分的分解，有时产生在曝光步骤中防护膜组件自掩模剥落等问题。
[0004]作为防护膜组件的粘着剂层中所使用的粘着剂，已知有：橡胶系、聚氨基甲酸酯系的粘着剂、如专利文献1中所记载那样的硅酮系粘着剂、如专利文献2中所记载那样的丙烯酸系粘着剂等。例如，专利文献2中公开了一种防护膜组件，其具有包含热自由基聚合引发剂且厚度为400μm以上的粘着剂层。
[0005][现有技术文献][0006][专利文献][0007][专利文献1]日本特开平05
‑
281711号公报<br/>[0008][专利文献2]日本特开2006
‑
146085号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的技术问题
[0010]专利文献2中，将粘着剂层的厚度增大为400μm以上，但若如此增大厚度，则有粘着剂层的平坦性恶化的倾向。因此，防护膜组件容易产生形变，若粘贴防护膜组件，则掩模产生形变的情况多。
[0011]现有的防护膜组件的粘着剂层大多是由包含一种固化剂的树脂组合物形成的。利用这样的树脂组合物形成厚度大的涂膜时，难以按照能够使固化后的涂膜平坦化的适度的硬度进行固化。例如，涂膜完全固化，在平坦化步骤中无法压扁，或者由于固化不充分，涂膜软，在平坦化步骤中被过度压扁，从框中溢出。因此，难以再现性良好地制造具有平坦性良好的粘着剂层的防护膜组件，即便能平坦化的情况下，粘着剂层的厚度也有偏差。
[0012]因此，本公开的目的在于提供一种具有平坦性良好的粘着剂层的防护膜组件、以及用于再现性良好地制造该防护膜组件的方法。
[0013]解决问题的手段
[0014]本公开涉及以下的防护膜组件。
[0015][1]一种防护膜组件，具有：防护膜组件框、铺设于所述防护膜组件框的一端面的防护膜以及设置于所述防护膜组件框的另一端面的粘着剂层，所述粘着剂层包含树脂组合物的固化物，所述树脂组合物包含固化性聚合物(A)、固化剂(B1)以及与所述固化剂(B1)不同的固化剂(B2)。
[0016][2]如[1]所述的防护膜组件，所述固化剂(B1)及固化剂(B2)为自由基聚合引发剂。
[0017][3]如[2]所述的防护膜组件，所述固化剂(B1)为热自由基聚合引发剂，所述固化剂(B2)为光自由基聚合引发剂。
[0018][4]如[3]所述的防护膜组件，所述热自由基聚合引发剂为过氧化物系自由基聚合引发剂或偶氮系自由基聚合引发剂。
[0019][5]如[1]至[4]中任一项所述的防护膜组件，所述固化性聚合物(A)为选自由(甲基)丙烯酸酯共聚物(A
‑
1)、有机聚硅氧烷(A
‑
2)及聚氨基甲酸酯多元醇(A
‑
3)所组成的组中的至少一种固化性聚合物。
[0020][6]如[5]所述的防护膜组件，所述固化性聚合物为(甲基)丙烯酸酯共聚物。
[0021][7]如[6]所述的防护膜组件，所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的多重键当量为156g/mol以上且100,000g/mol以下。
[0022][8]如[1]至[7]中任一项所述的防护膜组件，所述固化性聚合物(A)具有包含含碳
‑
碳多重键的基团的侧链。
[0023][9]如[8]所述的防护膜组件，所述含碳
‑
碳多重键的基团为含碳
‑
碳双键的基团。
[0024][10]如[1]至[9]中任一项所述的防护膜组件，所述固化性聚合物(A)的重均分子量为1万以上且100万以下。
[0025][11]如[1]至[10]中任一项所述的防护膜组件，所述树脂组合物还包含交联剂(C)。
[0026][12]如[11]所述的防护膜组件，其中所述交联剂(C)为多官能性的具有碳
‑
碳多重键的化合物。
[0027]进而，本公开涉及以下的防护膜组件的制造方法。
[0028][13]一种防护膜组件的制造方法，是如[1]至[11]中任一项所述的防护膜组件的制造方法，包括以下步骤：在防护膜组件框的一端面铺设防护膜的步骤；将包含固化性聚合物(A)、固化剂(B1)以及与所述固化剂(B1)不同的固化剂(B2)的树脂组合物涂布于所述防护膜组件框的另一端面的步骤；以及对涂布后的所述树脂组合物实施光固化处理及热固化处理、以及平坦化处理，从而设置粘着剂层的步骤。
[0029]专利技术的效果
[0030]根据本公开，能提供一种具有平坦性良好的粘着剂层的防护膜组件及其制造方法。
具体实施方式
[0031]以解决上述技术问题为目的进行了努力研究，结果发现，防护膜组件的粘着剂层
如果包含含有固化性聚合物以及至少两种固化条件不同的固化剂的树脂组合物的固化物，则平坦性良好。其理由还不确定，但推测如下。
[0032]用于形成防护膜组件的粘着剂层的树脂组合物中包含至少两种固化条件不同的固化剂时，通过调整所使用的固化剂的种类、量，进而与固化剂相应地实施多阶段的固化步骤，从而能够调节包含树脂组合物的涂膜的固化程度。其结果，能够使粘着剂层平坦化而不过度压扁，进而也容易使粘着剂层的厚度一致。
[0033]1.防护膜组件
[0034]本公开的防护膜组件具有：防护膜组件框、铺设于防护薄膜框的一端面的防护膜以及设置于防护膜组件框的另一端面的粘着剂层。
[0035]1‑
1.防护膜组件框
[0036]防护膜组件框可以是通常用作防护膜组件框的框。防护膜组件框的材质的例子包括铝合金、不锈钢、聚乙烯、经黑色耐酸铝(alumite)处理的铝等。这些中，由于为轻量等理由，优选为铝合金或经黑色耐酸铝处理的铝等。
[0037]1‑
2.防护膜
[0038]防护膜固定于防护膜组件框的一个开口部。防护膜可以是通常用作防护膜的膜。作为防护膜的材质，例如可列举：硝化纤维素、乙基纤维素、乙酸纤维素、丙酸纤维素、普鲁兰多糖(p本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种防护膜组件，具有：防护膜组件框、铺设于所述防护膜组件框的一端面的防护膜以及设置于所述防护膜组件框的另一端面的粘着剂层，所述粘着剂层包含树脂组合物的固化物，所述树脂组合物包含固化性聚合物A、固化剂B1以及与所述固化剂B1不同的固化剂B2。2.如权利要求1所述的防护膜组件，所述固化剂B1和所述固化剂B2为自由基聚合引发剂。3.如权利要求2所述的防护膜组件，所述固化剂B1为热自由基聚合引发剂，所述固化剂B2为光自由基聚合引发剂。4.如权利要求3所述的防护膜组件，所述热自由基聚合引发剂为过氧化物系自由基聚合引发剂或偶氮系自由基聚合引发剂。5.如权利要求1～4中任一项所述的防护膜组件，所述固化性聚合物A为选自由(甲基)丙烯酸酯共聚物A
‑
1、有机聚硅氧烷A
‑
2及聚氨基甲酸酯多元醇A
‑
3所组成的组中的至少一种固化性聚合物。6.如权利要求5所述的防护膜组件，所述固化性聚合物A为(甲基)丙烯酸酯共聚物。7.如权利要求1～6中任一项所述的防护膜组件，所述固化性聚合物A具有包含含碳

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤靖，高村一夫，石川彰，畦崎崇，石川比佐子，河关孝志，伊藤健，
申请(专利权)人：三井化学株式会社，
类型：发明
国别省市：