一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法技术

本发明专利技术公开了一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法；包括清理箱体；丝杆，所述丝杆连接在所述清理箱体的内部并与所述清理箱体的轴线相重合；转动支架，所述转动支架的下部与所述丝杆之间螺纹连接，所述转动支架的上部连接有与所述丝杆传动连接的传动组件；滑动支架，所述转动支架滑动连接在所述转动支架上，所述滑动支架的两侧均设置有喷头组件；该装置通过喷头组件可以吸取清理箱体中的碱性溶液，经过喷头组件喷出后作用在清理箱体的内部，进而使碱性溶液雾化，充分与尾气进行反应，进一步提高装置的清洗效果；同时高压液体直接作用在清理箱体的内壁上后，还可以将附着在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法


[0001]本专利技术属于尾气处理
，具体涉及一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法。

技术介绍

[0002]CVD是Chemical Vapor Deposition的简称，是指高温下的气相反应。硬质合金刀具深加工过程中，高端硬质合金刀具均需进行涂层工序，通常在CVD涂层炉中进行。CVD涂层炉尾气中的主要成为AlCl3和TiCl4，在清理过程中，直接将尾气通入至碱性溶液进行清理，但尾气直接通入到溶液当中并不能完全使尾气中的AlCl3和TiCl4和碱性溶液完全反应；同时尾气与溶液反应后生成的沉淀物附着在设备的内壁上，影响尾气与溶液反应的同时也不好对设备的内部进行清理。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术存在的上述问题，本专利技术目的在于提供一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法。
[0004]本专利技术所采用的技术方案为：
[0005]一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，包括清理箱体；
[0006]丝杆，所述丝杆连接在所述清理箱体的内部并与所述清理箱体的轴线相重合；
[0007]转动支架，所述转动支架的下部与所述丝杆之间螺纹连接，所述转动支架的上部连接有与所述丝杆传动连接的传动组件；
[0008]滑动支架，所述转动支架滑动连接在所述转动支架上，所述滑动支架的两侧均设置有喷头组件；所述喷头组件还设置有水泵，所述喷头组件与所述水泵之间通过导管相连接，所述水泵嵌入在碱性溶液的中。/>[0009]优选的，所述丝杆的两端均转动连接在所述清理箱体上，所述丝杆的顶端连接有固定组件。
[0010]优选的，所述固定组件套设在所述丝杆上，所述固定组件包括第一电磁铁，所述第一电磁铁的移动端上固定设置有摩擦垫，所述第一电磁铁的移动端与固定端之间设置有第二弹性件。
[0011]优选的，所述传动组件包括转动连接在所述转动支架上的传动套筒，所述传动套筒上设置有凸台，所述凸台嵌入滑动连接在所述丝杆的凹槽内。
[0012]优选的，所述传动套筒上套设有滑动套筒，所述滑动套筒与所述传动套筒之间传动连接，所述滑动套筒的地段固定连接有传动轮，所述滑动套筒与所述传动套筒之间设置有第二电磁铁。
[0013]优选的，所述滑动支架上固定安装有传动条，所述传动条与所述传动轮之间传动连接。
[0014]优选的，所述滑动支架上还设置有安装耳及滑轨，所述安装耳与所述转动支架之
间设置有第一弹性件，所述滑轨滑动连接在所述转动支架上。
[0015]优选的，所述清理箱体下部侧边上设置有进气孔与排液口，所述清理箱体的顶部设置有出气孔与加液口，所述加液口上设置有密封可拆卸上盖。
[0016]优选的，所述清理箱体的内部设置有凸起台，所述凸起台采用奇数设置。
[0017]一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备进行的尾气处理方法，其特征在于：该尾气处理方法包括如下步骤：
[0018](1)利用喷头组件可以吸取清理箱体中的碱性溶液，经过喷头组件喷出后作用在清理箱体的内部，使碱性溶液扩散雾化；
[0019](2)将吸气泵安装在冷凝器清理设备的进气孔处，启动吸气泵使得尾气由进气孔进入后与冷凝器清理设备中的碱性溶液进行反应；
[0020](3)尾气进入清理设备后分为两粉阶段：
[0021]第一阶阶段，尾气大直接通入清理箱体底部，与碱性溶液进行反应：
[0022]第二阶阶段，滤出后的尾气，与清理箱体上部雾化后的碱性溶液进反应；
[0023]尾气与雾化碱性溶液反应后，附着在清理箱体内壁上的杂质可利用喷头组件喷出的碱性溶液进行清洗。
[0024]本专利技术的有益效果为：
[0025]1、该装置通过喷头组件可以吸取清理箱体中的碱性溶液，经过喷头组件喷出后作用在清理箱体的内部，进而使碱性溶液雾化，充分与尾气进行反应，进一步提高装置的清洗效果；同时高压液体直接作用在清理箱体的内壁上后，还可以将附着在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。
[0026]2、该方法通过第一阶阶段，直接是尾气与碱性溶液进行反应后，在经过第二阶阶段与雾化后的碱性溶液进反应，这样的设置可以使得尾气与碱性溶液反应的更加充分，提升装置清理尾气的能力。
附图说明
[0027]下面结合附图和具体实施方法对本专利技术做进一步详细的说明。
[0028]图1是本专利技术整体的结构示意图；
[0029]图2是本专利技术清理箱体的结构示意图；
[0030]图3是本专利技术部分的结构示意图一；
[0031]图4是本专利技术固定组件的结构示意图；
[0032]图5是本专利技术部分的结构示意图二；
[0033]图6是本专利技术传动组件的结构示意图。
[0034]图中：1
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清理箱体，101
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进气孔，102
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排液口，103
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出气孔，104
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加液口，105
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上盖，106
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凸起台，2
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丝杆，3
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转动支架，4
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滑动支架，401
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安装耳，402
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滑轨，403
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传动条，5
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传动组件，501
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传动套筒，502
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滑动套筒，503
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传动轮，504
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第二电磁铁，6
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喷头组件，7
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固定组件，701
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第一电磁铁，702
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摩擦垫，703
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第二弹性件。
具体实施方式
[0035]下面结合附图及具体实施例对本专利技术作进一步阐述。
[0036]下面结合图1
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6说明本专利技术的具体实施方式，一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法，包括清理箱体1；
[0037]丝杆2，所述丝杆2连接在所述清理箱体1的内部并与所述清理箱体1的轴线相重合；
[0038]转动支架3，所述转动支架3的下部与所述丝杆2之间螺纹连接，所述转动支架3的上部连接有与所述丝杆2传动连接的传动组件5；
[0039]滑动支架4，所述转动支架3滑动连接在所述转动支架3上，所述滑动支架4的两侧均设置有喷头组件6；所述喷头组件6还设置有水泵，所述喷头组件6与所述水泵之间通过导管相连接，所述水泵嵌入在碱性溶液的中。
[0040]喷头组件6可以吸取清理箱体1中的碱性溶液，经过喷头组件6喷出后作用在清理箱体1的内部，进而使碱性溶液雾化，充分与尾气进行反应，进一步提高装置的清洗效果；同时高压液体直接作用在清理箱体1的内壁上后，还可以将附着在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。
[0041]优选的，在本专利技术的一个具体实施例中，再次本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：包括清理箱体(1)；丝杆(2)，所述丝杆(2)连接在所述清理箱体(1)的内部并与所述清理箱体(1)的轴线相重合；转动支架(3)，所述转动支架(3)的下部与所述丝杆(2)之间螺纹连接，所述转动支架(3)的上部连接有与所述丝杆(2)传动连接的传动组件(5)；滑动支架(4)，所述转动支架(3)滑动连接在所述转动支架(3)上，所述滑动支架(4)的两侧均设置有喷头组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述丝杆(2)的两端均转动连接在所述清理箱体(1)上，所述丝杆(2)的顶端连接有固定组件(7)。3.根据权利要求2所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述固定组件(7)套设在所述丝杆(2)上，所述固定组件(7)包括第一电磁铁(701)，所述第一电磁铁(701)的移动端上固定设置有摩擦垫(702)，所述第一电磁铁(701)的移动端与固定端之间设置有第二弹性件(703)。4.根据权利要求1所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述传动组件(5)包括转动连接在所述转动支架(3)上的传动套筒(501)，所述传动套筒(501)上设置有凸台，所述凸台嵌入滑动连接在所述丝杆(2)的凹槽内。5.根据权利要求4所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述传动套筒(501)上套设有滑动套筒(502)，所述滑动套筒(502)与所述传动套筒(501)之间传动连接，所述滑动套筒(502)的地段固定连接有传动轮(503)，所述滑动套筒(502)与所述传动套筒(501)之间设置有第二电磁铁(504)。6.根据权利要求5所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王以任，徐同康，袁鹏，
申请(专利权)人：湖南富欧科技有限公司，
类型：发明
国别省市：