控制实现水平开关的挡板及蒸发源装置制造方法及图纸

技术编号:35055897 阅读:21 留言:0更新日期:2022-09-28 11:03
本实用新型专利技术涉及一种控制实现水平开关的挡板及蒸发源装置,包括挡板本体,所述挡板本体水平转动设置在蒸发源的正上方,所述挡板本体的底部设置有转动杆,所述挡板本体固设在所述转动杆的顶部,所述转动杆带动所述挡板本体水平转动,所述转动杆的另一端伸出蒸镀腔体外,所述转动杆底部还设置有用于驱动转动杆旋转的驱动件,所述驱动件可拆卸连接在转动杆上,所述转动杆上还设置有用于手动驱动转动杆转动的带动件,本实用新型专利技术具有保证产品连续生产不受影响,节约了时间,且无需破开蒸镀腔体来进行维修,影响蒸镀的良品率的效果。影响蒸镀的良品率的效果。影响蒸镀的良品率的效果。

【技术实现步骤摘要】
控制实现水平开关的挡板及蒸发源装置


[0001]本技术涉及真空蒸镀设备的
,具体涉及一种控制实现水平开关的挡板及蒸发源装置。

技术介绍

[0002]OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术,具有对比度高、色域广、柔性、轻薄以及节能等优点,逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视以及白光照明等领域普及。
[0003]OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备,其设备核心部分为蒸发源装置,蒸发源装置分为点蒸发源、线蒸发源以及面蒸发源等。线蒸发源为当前重要的OLED量产技术,主要分为一体式线蒸发源和输送式线蒸发源。
[0004]点蒸发源广泛应用于研发及量产设备,在一个蒸镀腔体内,放置蒸发源,然后在蒸发源的上方设置有蒸发源遮挡板,从而通过蒸发源遮挡板来控制蒸发源镀膜的开始或者结束时间,现有的蒸发源遮挡板,都是自动控制或通过软件控制,如果软件故障或自动控制部分出现机械故障,会导致蒸发源遮挡板打不开或关不上,OLED就无法实现蒸镀,蒸发源遮挡板在高真空的腔室内,如果不能控制,此时只能停止OLED生产,破真空并降温开腔,打开腔室处理故障,非常消耗时间,此外OLED产品也会因此良率降低。

技术实现思路

[0005]因此,本技术要解决的蒸发源遮挡板的控制出现问题,需要停止OLED生产,破真空并降温开腔,浪费时间,降低OLED的生产效率,OLED产品良率降低的技术问题,从而提供一种控制实现水平开关的挡板及蒸发源装置。
[0006]一种控制实现水平开关的挡板,包括挡板本体,所述挡板本体水平转动设置在蒸发源的正上方,所述挡板本体的底部设置有转动杆,所述挡板本体固设在所述转动杆的顶部,所述转动杆带动所述挡板本体水平转动,所述转动杆的另一端伸出蒸镀腔体外,所述转动杆底部还设置有用于驱动转动杆旋转的驱动件,所述驱动件可拆卸连接在转动杆上,所述转动杆上还设置有用于手动驱动转动杆转动的带动件。
[0007]进一步的,所述驱动件包括摆动气缸,所述摆动气缸的伸缩杆和转动杆的底部之间设置有联轴器,所述联轴器分别和摆动气缸的伸缩杆以及转动杆可拆卸连接。
[0008]进一步的,所述带动件包括设置在转动杆上的手轮,所述手轮和转动杆垂直设置,所述手轮位于所述蒸镀腔体外。
[0009]进一步的,所述蒸镀腔体外壁位于所述摆动气缸处设置有支架,适于对摆动气缸进行放置,所述支架设置为L型,所述支架一端连接在蒸镀腔体外壁上,所述摆动气缸安装在支架上。
[0010]进一步的,所述支架上位于所述摆动气缸处设置有两个水平设置的限位条,所述
摆动气缸位于两个限位条内,并且和限位条抵紧。
[0011]进一步的,所述转动杆靠近蒸镀腔体外壁处还设置有刻度指针,蒸镀腔体位于转动杆周沿设置有环形的刻度线,所述刻度指针以转动杆为轴心做圆周运动。
[0012]进一步的,所述转动杆和蒸镀腔体的连接处设置有密封圈,所述密封圈密封住所述转动杆和蒸镀腔体间的缝隙。
[0013]一种蒸发源装置,包括上述所述的控制实现水平开关的挡板。
[0014]本技术技术方案,具有如下优点:
[0015]1.本技术提供的控制实现水平开关的挡板,包括挡板本体,所述挡板本体水平转动设置在蒸发源的正上方,所述挡板本体的底部设置有转动杆,所述挡板本体固设在所述转动杆的顶部,所述转动杆带动所述挡板本体水平转动,所述转动杆的另一端伸出蒸镀腔体外,所述转动杆底部还设置有用于驱动转动杆旋转的驱动件,所述驱动件可拆卸连接在转动杆上,所述转动杆上还设置有用于手动驱动转动杆转动的带动件,在正常使用时,驱动件用于控制挡板本体在镀膜过程中的与所述蒸发源之间的遮挡面积,从而来控制蒸镀,当驱动件开始工作时,此时驱动件带动转动杆转动,转动杆转动,从而带动和转动杆连接的挡板本体转动,从而将挡板本体在蒸发源正上方移动开或者将挡板本体移动到蒸发源正上方,当蒸发源装置处于完全关闭状态时,此时挡板本体完全遮挡所述蒸发源,当所述蒸发源装置处于部分开启状态时,所述挡板本体部分遮挡所述蒸发源,当蒸发源装置处于完全开启状态时,所述蒸发源未遮挡所述蒸发源,当自动控制软件或者驱动件出现机械故障时,此时工作人员可以立即出现蒸发源装置处,手动将驱动件和转动杆分离,并且手动转动蒸镀腔体外的带动件,由于带动件和转动杆连接,带动件转动时,能够带动转动杆转动,转动杆转动从而来带动挡板本体转动,从而将挡板本体在蒸发源正上方移动开或者将挡板本体移动到蒸发源正上方,来完成蒸镀工作,实现挡板本体的水平开合,继续进行蒸镀工作,保证产品连续生产不受影响,节约了时间,且无需破开蒸镀腔体来进行维修,影响蒸镀的良品率。
[0016]2.本技术提供的控制实现水平开关的挡板,所述驱动件包括摆动气缸,所述摆动气缸的伸缩杆和转动杆的底部之间设置有联轴器,所述联轴器分别和摆动气缸的伸缩杆以及转动杆可拆卸连接,当需要进行蒸镀时,此时外部的控制器的软件控制摆动气缸启动,摆动气缸启动时,此时带动联轴器转动,联轴器转动从而带动转动杆转动,转动杆转动从而带动转动杆最顶端的挡板本体转动,从而将挡板本体在蒸发源正上方移动开或者将挡板本体移动到蒸发源正上方,来实现蒸发源装置蒸镀的开启或者关闭,当外部的控制器的控制软件异常或者驱动件出现机械故障时,此时工作人员立即移动到蒸发源装置处,手动松开联轴器,将联轴器和转动杆分离开,此时工作人员通过手动转动带动件,从而带动转动杆转动,从而带动挡板本体转动,来实现挡板本体的水平开合,从而继续完成蒸镀工作,保证产品连续生产不受影响,节约了时间,且无需破开蒸镀腔体来进行维修,影响蒸镀的良品率。
[0017]3.本技术提供的控制实现水平开关的挡板,所述带动件包括设置在转动杆上的手轮,所述手轮和转动杆垂直设置,所述手轮位于所述蒸镀腔体外,通过手轮,在外部的控制器的控制软件出现异常或者驱动件发生机械故障时,此时直接转动手轮,手轮转动从而带动转动杆转动,转动杆转动从而带动挡板本体转动,来实现挡板本体的水平开合,从而
继续完成蒸镀工作,保证产品连续生产不受影响,节约了时间,且无需破开蒸镀腔体来进行维修,影响蒸镀的良品率。
[0018]4.本技术提供的控制实现水平开关的挡板,所述蒸镀腔体外壁位于所述摆动气缸处设置有支架,适于对摆动气缸进行放置,所述支架设置为L型,所述支架一端连接在蒸镀腔体外壁上,所述摆动气缸安装在支架上,支架的设置,能够方便对摆动气缸进行放置,使摆动气缸能够在蒸镀腔体外有个支撑点,便于摆动气缸工作。
[0019]5.本技术提供的控制实现水平开关的挡板,所述支架上位于所述摆动气缸处设置有两个水平设置的限位条,所述摆动气缸位于两个限位条内,并且和限位条抵紧,通过限位条的设置,从而来对摆动气缸的位置进行限制,从而在摆动气缸工作时,摆动气缸本体在限位条的限制下,不会发生自转,影响到摆动气本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种控制实现水平开关的挡板,包括挡板本体(3),其特征在于,所述挡板本体(3)水平转动设置在蒸发源(2)的正上方,所述挡板本体(3)的底部设置有转动杆(4),所述挡板本体(3)固设在所述转动杆(4)的顶部,所述转动杆(4)带动所述挡板本体(3)水平转动,所述转动杆(4)的另一端伸出蒸镀腔体(1)外,所述转动杆(4)底部还设置有用于驱动转动杆(4)旋转的驱动件(5),所述驱动件(5)可拆卸连接在转动杆(4)上,所述转动杆(4)上还设置有用于手动驱动转动杆(4)转动的带动件。2.根据权利要求1所述的控制实现水平开关的挡板,其特征在于,所述驱动件(5)包括摆动气缸(51),所述摆动气缸(51)的伸缩杆和转动杆(4)的底部之间设置有联轴器(52),所述联轴器(52)分别和摆动气缸(51)的伸缩杆以及转动杆(4)可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的控制实现水平开关的挡板,其特征在于,所述带动件包括设置在转动杆(4)上的手轮(6),所述手轮(6)和转动杆(4)垂直设置,所述手轮(6)位于所述蒸镀腔体(1)外。4.根据权利要求2所述的控制实现水平开关的挡板,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:张浩杰陈志宽
申请(专利权)人:宁波卢米蓝新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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