本发明专利技术涉及一种衬底搬送装置及衬底搬送方法。本发明专利技术的衬底搬送装置具备构成为能够保持衬底的手、设置在手上的多个反射型光检测器、局部位置算出部、及衬底位置判定部。多个反射型光检测器朝配置在手上的衬底的外周部分别出射光，且由线状的光通过面分别接受从衬底反射的光，输出表示受光量的信号。局部位置算出部基于多个反射型光检测器的输出信号，分别算出手上的衬底的外周端部的多个部分的位置。衬底位置判定部基于算出的衬底的多个部分的位置，判定衬底相对于手的位置。判定衬底相对于手的位置。判定衬底相对于手的位置。
【技术实现步骤摘要】
衬底搬送装置及衬底搬送方法
[0001]本专利技术涉及一种搬送衬底的衬底搬送装置及衬底搬送方法。
技术介绍
[0002]以往，为了对用于液晶显示装置或有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置等的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用衬底、半导体衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、磁光盘用衬底、光罩用衬底、陶瓷衬底或太阳能电池用衬底等各种衬底进行各种处理，可使用衬底处理装置。
[0003]衬底处理装置中，例如在多个处理单元中对一块衬底连续进行处理。因此，在衬底处理装置设置在多个处理单元间搬送衬底的衬底搬送装置。这种衬底搬送装置中，衬底以由保持部保持的状态搬送。当衬底以偏移的位置保持在保持部时，无法高精度搬送衬底。因此，提出了判定衬底相对于保持部的位置的构成。
[0004]例如，日本专利特开2018
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133415号公报所记载的衬底搬送装置中，成为处理对象的衬底由保持部(手)保持，通过使保持部移动而搬送衬底。具体来说，从第1位置向第2位置搬送衬底时，在第1位置由保持部接收衬底后，保持衬底的保持部移动到预设的第3位置(进退初始位置)。所述移动时，检测由保持部保持的衬底的外周端部的第1～第5部分。基于所述检测，分别算出保持部上的第1～第5部分的位置。基于算出的第1～第5部分的位置，判定保持部上的衬底的位置。此外，日本专利特开2012
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182393号公报所记载的衬底搬送装置中，在保持衬底的保持部(叉)位于预设位置的状态下，测量由保持部保持的衬底的外周端部的4个部分的位置。基于测量结果判定保持部上的衬底的位置。
技术实现思路
[0005]如果能缩短衬底搬送装置搬送衬底的时间，那么衬底搬送装置的衬底处理的产能提高。因此，期望减少衬底搬送装置判定衬底位置所需的时间。
[0006]本专利技术的目的在于提供一种能减少衬底的位置判定所需的时间的衬底搬送装置及衬底搬送方法。
[0007](1)依照本专利技术的一态样的衬底搬送装置搬送衬底，且具备：保持部，能保持衬底而构成；多个反射型光检测器，具有线状的受光面且设置在保持部，朝配置在保持部上的衬底的外周部分别出射光，且由受光面分别接受从衬底反射的光，输出表示受光量的信号；局部位置算出部，基于多个反射型光检测器的输出信号，对配置在保持部上的衬底分别算出保持部上的衬底的外周端部的多个部分的位置；及位置判定部，基于由局部位置算出部算出的衬底的多个部分的位置，判定衬底相对于保持部的位置。
[0008]所述衬底搬送装置中，从设置在保持部的多个反射型光检测器对衬底的外周部分别出射光。所述情况下，在衬底的外周部反射的光的光量根据线状的受光面所延伸的方向上的衬底的外周端部的位置而变化。因此，根据由多个第1反射型光检测器的输出信号所示的受光量，能算出多个反射型光检测器的线状的受光面所延伸的方向上的衬底的外周端部
的多个部分的位置。由此，能在将衬底配置在保持部上的时点，判定衬底相对于保持部的位置。结果，能减少衬底搬送时衬底的位置判定所需的时间。
[0009](2)也可为，多个反射型光检测器各自具有从受光面朝上方延伸的带状的检测区域，多个部分为俯视时多个反射型光检测器的检测区域与配置在保持部上的衬底的外周端部的交点。所述情况下，能基于算出的衬底的多个部分的位置判定衬底的位置。
[0010](3)也可为，多个反射型光检测器为了受光面在一个方向上不互相重合，而包含设置在保持部的第1及第2反射型光检测器。所述情况下，能基于第1及第2反射型光检测器的输出信号与第1及第2反射型光检测器的位置关系，高精度算出衬底的多个部分的位置。
[0011](4)也可为，衬底搬送装置还具备存储部，存储表示多个反射型光检测器接受的受光量与保持部上的衬底的多个部分的位置之间的预设的关系的光量位置信息，局部位置算出部除多个反射型光检测器的输出信号外，基于存储在存储部的光量位置信息，分别算出保持部上的衬底的多个部分的位置。所述情况下，能基于光量位置信息，高精度算出衬底的外周端部的多个部分的位置。
[0012](5)也可为，衬底搬送装置具备：受光量测定器，设置在保持部，朝位于比衬底的外周部内侧的内侧部分出射光，且接收由衬底反射的光，输出表示受光量的信号；及光量位置信息产生部，基于受光量测定器的输出信号，产生表示多个反射型光检测器接收的受光量与保持部上的衬底的多个部分的位置之间的关系的光量位置信息；且局部位置算出部除多个反射型光检测器的输出信号外，还基于由光量位置信息产生部产生的光量位置信息，分别算出保持部上的衬底的多个部分的位置。
[0013]所述情况下，即使光对衬底的反射率未知的情况下，也基于受光量测定器的输出信号产生光量位置信息。由此，能基于产生的光量位置信息，高精度算出衬底的外周端部的多个部分的位置。
[0014](6)也可为，保持部还具有吸附保持衬底的下表面的多个吸附部，受光量测定器与多个吸附部中的一个吸附部间的距离小于多个反射型光检测器中的每一个与一个吸附部间的距离。
[0015]所述情况下，受光量测定器与多个反射型光检测器相比，位于一个吸附部附近。因此，即使衬底产生弯曲等变形的情况下，接受来自受光量测定器的光的衬底的内侧部分的高度也由一个吸附部保持大致一定的高度。因此，减少用来产生光量位置信息的条件的不均。结果，能基于适当产生的光量位置信息，更高精度算出衬底的外周端部的多个部分的位置。
[0016](7)也可为，衬底搬送装置还具备：高度检测部，检测保持部上的衬底的多个部分的高度；及修正部，基于由高度检测部检测出的衬底的多个部分的高度，分别修正由局部位置算出部算出的衬底的多个部分的位置；位置判定部基于由修正部修正后的衬底的多个部分的位置，判定衬底相对于保持部的位置。
[0017]通过从反射型光检测器出射并由衬底反射而返回到所述反射型光检测器的光的光量根据反射型光检测器与衬底之间的距离而变化。根据所述构成，检测衬底的外周端部的多个部分的高度，基于检测出的高度，修正衬底的外周端部的多个部分的位置算出结果。因此，能进一步高精度取得衬底的外周端部的多个部分的位置。
[0018](8)也可为，衬底搬送装置还具备控制多个反射型光检测器的光检测器控制部，光
检测器控制部构成为能以第1控制模式与第2控制模式动作，且所述第1控制模式在由保持部保持衬底的状态下，控制多个反射型光检测器；所述第2控制模式在未由保持部保持衬底且保持部配置在支撑在支撑部的衬底下方的位置的状态下，控制多个反射型光检测器。
[0019]所述情况下，即使处于由保持部保持衬底的状态及保持部配置在支撑在支撑部的衬底下方的状态中的任一个状态，也能分别判定保持部上的衬底的位置。
[0020](9)也可为，衬底搬送装置还具备：移动部，使保持部移动；及移动控制部，基于位置判定部的判定结果，以将由保持部保持的衬底从预设的第1位置搬送到第2位置的方式控制移动部。
[0021]所述情况下，能基于本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种衬底搬送装置，搬送衬底，且具备：保持部，构成为能够保持衬底；多个反射型光检测器，具有线状的受光面且设置在所述保持部，朝配置在所述保持部上的衬底的外周部分别出射光，且由所述受光面分别接受从衬底反射的光，输出表示受光量的信号；局部位置算出部，基于所述多个反射型光检测器的输出信号，对配置在所述保持部上的衬底分别算出所述保持部上的衬底的外周端部的多个部分的位置；及位置判定部，基于由所述局部位置算出部算出的衬底的所述多个部分的位置，判定衬底相对于所述保持部的位置。2.根据权利要求1所述的衬底搬送装置，其中所述多个反射型光检测器各自具有从所述受光面朝上方延伸的带状检测区域，所述多个部分为俯视时多个反射型光检测器的检测区域与配置在所述保持部上的衬底的外周端部的交点。3.根据权利要求1或2所述的衬底搬送装置，其中所述多个反射型光检测器为了所述受光面在一个方向上不互相重合，而包含设置在所述保持部的第1及第2反射型光检测器。4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底搬送装置，还具备存储部，存储表示所述多个反射型光检测器接收的受光量与所述保持部上的衬底的所述多个部分的位置之间的预设的关系的光量位置信息，所述局部位置算出部除所述多个反射型光检测器的输出信号外，还基于存储在所述存储部的所述光量位置信息，分别算出所述保持部上的衬底的所述多个部分的位置。5.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底搬送装置，还具备：受光量测定器，设置在所述保持部，朝位于比衬底的外周部更内侧的内侧部分出射光，且接收由衬底反射的光，输出表示受光量的信号；及光量位置信息产生部，基于所述受光量测定器的输出信号，产生表示所述多个反射型光检测器接受的受光量与所述保持部上的衬底的所述多个部分的位置之间的关系的光量位置信息；且所述局部位置算出部除所述多个反射型光检测器的输出信号外，还基于由所述光量位置信息产生部产生的所述光量位置信息，分别算出所述保持部上的衬底的所述多个部分的位置。6.根据权利要求5所述的衬底搬送装置，其中所述保持部还具有吸附所述保持衬底的下表面的多个吸附部，所述受光量测定器与所述多个吸附部中的一个吸附部之间的距离小于所述多个反射型光检测器中的每一个与所述一个吸附部之间的距离。7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的衬底搬送装置，还具备：高度检测部，检测所述保持部上的衬底的所述多个部分的高度；及修正部，基于由所述高度检测部检测出的衬底的所述多个部分的高度，分别修正由所述局部位置算出部算出的衬底的所述多个部分的位置；且所述位置判定部基于由所述修正部修正后的衬底的所述多个部分的位置，判定所述衬
底相对于所述保持部的位置。8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的衬底搬送装置，还具备控制所述多个反射型光检测器的光检测器控制部，所述光检测器控制部构成为能以第1控制模式与第2控制模式动作，且所述第1控制模式在由所述保持部保持衬底的状态下，控制所述多个反射型光检测器；所述第2控制模式在未由所述保持部保持衬底且所述保持部配置在支撑在支撑部的衬底下方的位置的状态下，控制所述多个反射型光检测器。9.根据权利要求1到8中任一权利要求所述的衬底搬送装置，还具备：移动部，使所述保持部移动；及移动控制部，基于所述位置判定部的判定结果，以将由所述保持部保持的衬底从预设的第1位置搬送到第2位置的方式控制所述移动部。1...
【专利技术属性】
技术研发人员：桒原丈二，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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