一种镀膜载具制造技术

技术编号:35054525 阅读:36 留言:0更新日期:2022-09-28 10:59
本申请涉及光伏技术领域,涉及一种镀膜载具。该载具包括承载面板和多个镂空凹槽。多个镂空凹槽设置在承载面板上。多个镂空凹槽矩阵式排布于承载面板内,用于承载硅片。镂空凹槽包括两条平行设置的第一支撑边以及两条平行设置的第二支撑边;第一支撑边和第二支撑边垂直设置;第一支撑边的长度大于第二支撑边的长度,第二支撑边的宽度大于所述第一支撑边的宽度。该镀膜载具能够适用于长方形异质结电池生产过程中镀TCO膜层工艺。第二支撑边的宽度大于第一支撑边的宽度,能够弥补第一支撑边的膨胀量,从而保证硅片长短边的掩膜量一致,从而能够解决由于掩膜过小造成的电池漏电和填充因子偏低的问题;或者掩膜过大造成电池短流损失的问题。失的问题。失的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜载具


[0001]本申请涉及光伏
,具体而言,涉及一种镀膜载具。

技术介绍

[0002]异质结太阳能电池(HIT)技术作为近年来引起行业高度关注的高效技术路线,因其光电转换效率高、性能优异、降本空间大,平价上网前景好,成为行业公认的下一代商业光伏产业技术。
[0003]目前为了提升组件CTM、降低内部电损耗一般采用切片电池即长方形电池,而对常规完整电池片进行划片切割时,会对电池片造成一定的损伤,特别是对异质结等高效电池,在划片过程中,激光会对切割划片区域钝化层造成热损伤,从而导致效率的下降,因此目前在电池生产之前对原硅片先进行切片,然后制备电池。对于异质结太阳能电池,在制备电池时,需要对切片后的硅片镀TCO膜层。
[0004]异质结太阳能电池,镀TCO膜层主要采用磁控溅射或反应等离子沉积,沉积过程需要采用托盘作为镀膜过程中承载硅片的载具。在TCO镀膜过程中,首先将硅片放入设计好的托盘中,托盘通过传输系统传到真空镀膜设备中,在真空镀膜设备内部,通过磁控溅射或反应等离子沉积的方法将TCO膜层沉积到硅片表面,以形成一定厚度的TCO膜;沉积完成后,通过传动系统,将带硅片的托盘传出真空腔室,完成镀膜,即可将镀完TCO膜的硅片从托盘中取出。
[0005]TCO膜层的作用是导电与减反射,为了正背面电极不导通一般在电池背面或正面有掩膜的设计。
[0006]硅片薄片化是异质结太阳能电池发展的必然趋势。目前长方形硅片特别是薄长方形硅片在制备掩膜时,常常出现掩膜过小造成电池漏电和填充因子偏低的问题;或者掩膜过大造成电池短流损失的问题。

技术实现思路

[0007]本申请实施例的目的在于提供一种镀膜载具,能够适用于长方形异质结电池生产过程中镀TCO膜层工艺,并且解决由于掩膜过小造成的电池漏电和填充因子偏低的问题;或者掩膜过大造成电池短流损失的问题。
[0008]本申请提供一种镀膜载具,包括:
[0009]承载面板;以及
[0010]多个镂空凹槽;矩阵式排布于承载面板内,用于承载硅片;镂空凹槽包括两条平行设置的第一支撑边以及两条平行设置的第二支撑边;第一支撑边和第二支撑边垂直设置;第一支撑边的长度大于第二支撑边的长度,第二支撑边的宽度大于第一支撑边的宽度。
[0011]该镀膜载具能够适用于长方形异质结电池生产过程中镀TCO膜层工艺。多个镂空凹槽矩阵式排布于承载面板内,用于承载硅片。镂空凹槽能够容置长方形硅片。镂空凹槽的第一支撑边的长度大于第二支撑边,在进行镀TCO膜层时,相同温度下,镂空凹槽的第一支
撑边受热后膨胀量大于第二支撑边,第二支撑边的宽度大于第一支撑边,能够弥补第一支撑边的膨胀量,从而保证硅片长短边的掩膜量一致,进而能够解决由于掩膜过小造成的电池漏电和填充因子偏低的问题;或者掩膜过大造成电池短流损失的问题。
[0012]在本申请的其他实施例中,上述的镂空凹槽为狭长状。
[0013]通过设置镂空凹槽为狭长状,能够容置长方形硅片。
[0014]在本申请的其他实施例中,上述的镂空凹槽形状为长方形。
[0015]通过设置镂空凹槽形状为长方形,能够更好地匹配长方形硅片。
[0016]在本申请的其他实施例中,上述的镂空凹槽大部分的面积镂空,镂空面积占全部凹槽面积的90%以上。
[0017]在本申请的其他实施例中,上述的第二支撑边的宽度比第一支撑边的宽度,宽0.02mm~1mm。
[0018]通过设置第二支撑边的宽度比第一支撑边的宽度,宽0.02mm~1mm,能够保证硅片长短边的掩膜均满足要求。
[0019]在本申请的其他实施例中,承载面板具有第一表面和相对的第二表面;上述的第一支撑边和第二支撑边的承载面距离第一表面的深度为0.5mm~3mm。
[0020]通过设置第一支撑边和第二支撑边的承载面距离第一表面的深度为0.5mm~3mm,能够满足硅片的高度要求,使得硅片完全容置在镂空凹槽内,为后续进行镀TCO膜层工艺提供有利保障。
[0021]在本申请的其他实施例中,上述的镀膜载具一体成型。
[0022]通过设置镀膜载具一体成型,保证了整个镀膜载具结构的稳固性以及结构强度。
[0023]在本申请的其他实施例中,上述的镀膜载具的材料均为不锈钢或石英材料。
[0024]通过设置镀膜载具的材料均为不锈钢或石英材料,能够保证镀膜载具的强度,以及受热膨胀变形量较小。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0026]图1为本申请实施方式提供的镀膜载具的结构示意图;
[0027]图2为本申请实施方式提供的镀膜载具镂空凹槽的结构示意图。
[0028]图标:100

镀膜载具;110

承载面板;120

镂空凹槽;121

第一支撑边;122

第二支撑边。
具体实施方式
[0029]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0030]因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
[0031]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0032]在本申请实施例的描述中,需要理解的是,术语“上”、“左”、“右”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
[0033]此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]在本申请实施例的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜载具,其特征在于,包括:承载面板;以及多个镂空凹槽;矩阵式排布于所述承载面板内,用于承载硅片;所述镂空凹槽包括两条平行设置的第一支撑边以及两条平行设置的第二支撑边;所述第一支撑边和所述第二支撑边垂直设置;所述第一支撑边的长度大于所述第二支撑边的长度,所述第二支撑边的宽度大于所述第一支撑边的宽度。2.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于,所述镂空凹槽为狭长状。3.根据权利要求2所述的镀膜载具,其特征在于,所述镂空凹槽形状为长方形。4.根据权利要求3所述的镀膜载具,其特征在于,所述镂空凹槽大部分的面积镂空,...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵锋毛卫平任明冲徐锐杨伯川
申请(专利权)人:东方日升常州新能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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