一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具制造技术

本实用新型专利技术主要应用于半导体设备上的零部件，在等离子刻蚀和CVD中广泛应用。一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具，主要包括：治具一、治具二、治具三、治具四；治具一与零件通过螺纹固定，治具二套接在治具一上，治具二端部与零件内腔抵接；治具三螺合连接在治具一外侧，治具三将治具二与治具一固定，治具四与治具一尾部内螺纹螺合连接，实现零件遮蔽上挂。通过治具相互连接固定，实现特殊工位的硬遮蔽，同时其余位置刷镍均匀，确保产品质量。本实用新型专利技术为高深度小孔特殊工位遮蔽提供新的治具。高深度小孔特殊工位遮蔽提供新的治具。高深度小孔特殊工位遮蔽提供新的治具。

【技术实现步骤摘要】
一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具


[0001]本技术属于半导体表面处理加工领域，具体说是一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具，适用于半导体领域等离子刻蚀等关键零部件。

技术介绍

[0002]用于半导体晶圆加工的IC设备中涉及到的匀流板零部件，小孔尺寸比较精密且需要局部刷镍，因此，对于刷镍前的遮蔽工艺要求也越来越高，对于有零件有裸铝要求的位置需要使用胶带遮蔽，但是对于深孔裸铝工位，普通的胶带遮蔽无法实现很好的遮蔽效果，因此开发一种新型遮蔽上挂治具，借助治具完成裸铝位置的硬遮蔽。因此，鉴于上述情况，为解决这一问题，需要采用特殊的遮蔽治具来满足此类零件的特殊要求。

技术实现思路

[0003]针对上述存在的技术问题，本技术提供一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具，可以满足遮蔽且不渗漏的需求。
[0004]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具，主要包括：治具一、治具二、治具三、治具四；治具一与零件通过螺纹固定，治具二套接在治具一上，治具二端部与零件内腔抵接；治具三螺合连接在治具一外侧，治具三将治具二与治具一固定，治具四与治具一尾部内螺纹螺合连接，实现零件遮蔽上挂。
[0006]优选技术方案是治具二设有多个圆孔，中心孔为凹槽结构，中心孔扣合在治具一凸起边上。
[0007]优选技术方案是治具三维圆盘结构，设有多个扇形孔，中心设有固定螺栓。
[0008]优选技术方案是治具四末端与刷镍挂具固定连接。
[0009]优选技术方案是治具一、治具二、治具三、治具四采用钛合金制成，保证很好的机械强度，质量轻，重复利用率高。
[0010]本技术的有益效果为：本新型的实现深孔裸铝工位遮蔽，提高遮蔽效果，实现此类产品的稳定化生产。同时为深孔特殊工位遮蔽提供了一种新的治具，为深孔的遮蔽的阳极产品生产提供了可行性方法。
附图说明
[0011]图1为本技术实施例中深孔零件遮蔽上挂治具的组装示意图。
[0012]图2为本技术实施例中深孔零件遮蔽上挂治具一示意图。
[0013]图3为本技术实施例中深孔零件遮蔽上挂治具二示意图。
[0014]图4为本技术实施例中深孔零件遮蔽上挂治具三示意图。
[0015]图5为本技术实施例中深孔零件遮蔽上挂治具四示意图。
具体实施方式
[0016]在本技术中，为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。使用方位词表达位置关系仅是为了便于描述和表达本技术位置关系，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0017]下面结合说明书附图1
‑
5及附图标记对本技术进一步详细说明。
[0018]实施例
[0019]一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具，主要包括：治具一1、治具二2、治具三3、治具四4；治具1一与零件通过螺纹固定，治具二2套接在治具一1上，治具二2端部与零件内腔抵接；治具三3螺合连接在治具一1外侧，治具三3将治具二2与治具一1固定，治具四4与治具一1尾部内螺纹螺合连接，实现零件遮蔽上挂。
[0020]治具一1前端设有与零件螺合连接的外螺纹一5，头部设有限位治具二2的凸起6，尾部设有与治具三3螺合连接的外螺纹二7，尾端设有与治具四4螺合连接的内螺纹孔8。
[0021]治具二2设有多个圆孔，中心孔为凹槽结构，中心孔扣合在治具一1凸起上。治具三3维圆盘结构，设有多个扇形孔，中心设有固定螺栓。将胶带贴附在治具一1上，通过治具一1封闭在零件螺纹孔周围位置，实现裸铝位置的遮蔽作用；治具三3旋紧在治具一1上，并与治具二2紧密贴合；治具二2和治具三3上开有多个孔洞，方便溶液流动，保证内壁刷镍均匀。
[0022]治具四4末端与刷镍挂具固定连接。治具四4跟刷镍挂具固定，可以实现产品的阳极，实现产品的稳定化生产。
[0023]治具一、治具二、治具三、治具四采用钛合金制成，保证很好的机械强度，质量轻，重复利用率高。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具，其特征在于：主要包括：治具一、治具二、治具三、治具四；治具一与零件通过螺纹固定，治具二套接在治具一上，治具二端部与零件内腔抵接；治具三螺合连接在治具一外侧，治具三将治具二与治具一固定，治具四与治具一尾部内螺纹螺合连接，实现零件遮蔽上挂。2.根据权利要求1所述的一种深孔零件刷镍遮蔽上挂治具，其特征在于，治具二设有多个圆孔，中心孔为凹槽结构，中心孔扣合在治具...

【专利技术属性】
技术研发人员：许国庆，张艳娟，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：