本申请涉及供气设备技术领域，具体而言，涉及一种盲堵装置、特气柜用封板以及特气柜。盲堵装置包括封挡件、卡接件、螺杆以及限位件。螺杆同时穿过封挡件和卡接件；螺杆与卡接件螺纹连接，和/或螺杆与封挡件螺纹连接；定义卡接件绕螺杆的轴向的边缘上与螺杆的轴向之间的最大距离处为卡接件的极限边缘区域。限位件设置于封挡件的靠近卡接件的表面并用于限制卡接件绕螺杆的轴向相对封挡件转动且限位件位于卡接件的非极限边缘区域。当螺杆转动时，卡接件能够远离或靠近封挡件。本申请提供的盲堵装置在转动螺杆以使得卡接件与封挡件相互靠近或远离的过程中，能够实现盲堵装置快速封堵特气柜上的连通孔或快速脱离特气柜。特气柜上的连通孔或快速脱离特气柜。特气柜上的连通孔或快速脱离特气柜。
【技术实现步骤摘要】
盲堵装置、特气柜用封板以及特气柜
[0001]本申请涉及供气设备
，具体而言，涉及一种盲堵装置、特气柜用封板以及特气柜。
技术介绍
[0002]特气柜是一种供应特种气体的柜子，主要用于供应易燃、易爆、毒性、腐蚀性等特性的气体，常用于半导体等新兴行业。特气柜上设置有用于连通特气柜内外的连通孔，连通孔用于通过连接线或连接管路以将特气柜外部的器件与特气柜的内部器件连接。特气柜上设置的盲堵装置用于封堵特气柜上的连通孔，在特气柜的内部器件未与外界器件连接时以阻止特气从连通孔中溢出泄露而造成安全隐患，而特气柜与外界器件连接时则需要将盲堵装置从特气柜上拆卸，将连接线或连接管道穿过连通孔以与特气柜的内部器件进行连接。
[0003]目前，从特气柜上拆卸盲堵装置的方式需要将特气柜的柜门打开，从特气柜的内部拆卸螺帽以使得盲堵装置脱离特气柜上的连通孔。但是，由于特气柜中大多使用气动阀门以及PLC编程控制以减少人工手动干预，使得特气柜内部结构紧凑且元器件布局紧密，使得打开特气柜门以拆卸盲堵装置时，会造成盲堵装置拆卸繁琐和不便，也易造成安全隐患。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种盲堵装置、特气柜用封板以及特气柜，其旨在改善现有的从特气柜上拆卸盲堵装置较为繁琐和不便的技术问题。
[0005]第一方面，本申请提供一种盲堵装置，包括封挡件、卡接件、螺杆以及限位件。
[0006]螺杆同时穿过封挡件和卡接件；螺杆与卡接件螺纹连接，和/或，螺杆与封挡件螺纹连接；螺杆远离卡接件的一端用于与外界动力源连接；定义卡接件绕螺杆的轴向的边缘上与螺杆的轴向之间的最大距离处为卡接件的极限边缘区域。
[0007]限位件设置于封挡件的靠近卡接件的表面，限位件用于限制卡接件绕螺杆的轴向相对封挡件转动且限位件位于卡接件的非极限边缘区域。
[0008]当螺杆转动时，卡接件能够沿螺杆的轴向远离或靠近封挡件。
[0009]本申请提供的盲堵装置通过设置螺杆同时穿过封挡件和卡接件，设置限位件位于封挡件的靠近卡接件的表面，并使得限位件能够限制卡接件绕螺杆的轴向相对封挡件转动。设置螺杆与卡接件和/或封挡件螺纹连接，当螺杆远离卡接件的一端与外界动力源连接以使得螺杆转动时，卡接件能够沿螺杆的轴向远离或靠近封挡件。当卡接件与封挡件处于相互远离的状态时，卡接件用于伸入连通孔内并使得封挡件和卡接件分别位于连通孔所在基板的相对两侧。设置限位件位于卡接件的非极限边缘区域，当封挡件和卡接件分别位于连通孔所在基板的相对两侧时，可以使得卡接件的凸出于限位件的极限边缘区域能够用于抵持连通孔所在基板的内壁(即基板远离封挡件的壁体)。当卡接件与封挡件分别位于连通孔所在基板的相对两侧且卡接件抵持连通孔所在基板的内壁时，卡接件与封挡件相互靠近时，封挡件可以用于与连通孔所在基板的外壁抵持以使得封挡件能够封挡连通孔。当卡接
件与封挡件再次处于相互远离的状态时，卡接件用于伸出连通孔外，以使得整个盲堵装置脱离连通孔所在基板。
[0010]因此，本申请提供的盲堵装置在转动螺杆以使得卡接件与封挡件相互靠近或远离的过程中，能够实现盲堵装置快速封堵连通孔或快速脱离连通孔所在基板，且拆卸盲堵装置于连通孔所在基板时也无需从连通孔所在基板的内壁处进行拆卸，操作简单易行。
[0011]在本申请第一方面的一些实施例中，卡接件包括相互垂直交叉连接的第一卡接杆和第二卡接杆；螺杆穿过第一卡接杆与第二卡接杆的连接处。
[0012]在本申请第一方面的一些实施例中，限位件包括间隔设置于封挡件的表面的两个限位凸起，两个限位凸起位于卡接件的相对两侧并共同抵持卡接件。
[0013]上述设置方式，可以有效实现限制卡接件绕螺杆的轴向相对封挡件转动。
[0014]在本申请第一方面的一些实施例中，封挡件包括沿螺杆的轴向相互连接的挡板和凸台，螺杆同时贯穿挡板和凸台；沿螺杆的轴向，挡板的投影覆盖凸台；限位件设置于凸台远离挡板的表面。
[0015]上述设置方式，可以使得当凸台用于伸入连通孔时，凸台能够用于与连通孔的孔壁抵持并用于限制整个盲堵装置相对连通孔所在基板偏移，进而有利于避免由于盲堵装置相对连通孔所在基板偏移而造成的封挡件无法有效封挡连通孔的情况。
[0016]在本申请第一方面的一些实施例中，凸台绕螺杆的轴向的周壁体至少部分为平面。
[0017]上述设置方式，可以使得当卡接件与封挡件分别抵持于连通孔所在基板的相对两侧时，凸台能够用于限制整个盲堵装置绕螺杆的轴向相对连通孔所在基板转动，有利于提高盲堵装置对连通孔的封堵稳定性。
[0018]第二方面，本申请提供一种特气柜用封板，包括基板以及上述第一方面提供的盲堵装置。
[0019]基板设置有沿基板的厚度方向贯穿基板的连通孔；以螺杆的轴向为圆心，定义卡接件绕螺杆的轴向的边缘形成的最大外接圆的直径为基准尺寸。
[0020]卡接件与封挡件之间的最大距离大于或等于基板的厚度，封挡件在基板上的正投影能够覆盖连通孔；基准尺寸小于或等于连通孔的最大孔径，且基准尺寸大于连通孔的最小内径，能够使得卡接件与封挡件处于相互远离的状态时，卡接件能够伸入连通孔且卡接件与封挡件能够分别位于基板的厚度方向的相对两侧，并使得卡接件与封挡件处于相互靠近的状态时，卡接件和封挡件能够分别抵持基板的厚度方向的相对两侧且封挡件能够覆盖连通孔。
[0021]本申请通过在特气柜用封板的基板上设置连通孔，并调控盲堵装置与基板的尺寸关系，可以使得卡接件与封挡件处于相互远离的状态时，卡接件能够伸入连通孔且卡接件与封挡件能够分别位于基板的厚度方向的相对两侧，并使得卡接件与封挡件处于相互靠近的状态时，卡接件和封挡件能够分别抵持基板的厚度方向的相对两侧且封挡件能够覆盖连通孔。本申请提供的特气柜用封板可以用于安装于特气柜的柜体上，基板上的连通孔即作为整个特气柜的连通孔，盲堵装置可以快速封堵连通孔或快速脱离连通孔所在基板。拆卸盲堵装置时，无需打开特气柜门，操作简单易行，有利于减少安全隐患。
[0022]在本申请第二方面的一些实施例中，封挡件包括沿螺杆的轴向相互连接的挡板和
凸台，螺杆同时贯穿挡板和凸台；沿螺杆的轴向，挡板的投影覆盖凸台；限位件设置于凸台远离挡板的表面；凸台沿螺杆的轴向的尺寸小于或等于基板的厚度。
[0023]卡接件与封挡件处于相互靠近的状态时，凸台能够伸入连通孔并与连通孔的孔壁抵持。
[0024]凸台沿螺杆的轴向的尺寸小于或等于基板的厚度，可以使得当凸台伸入连通孔时，凸台能够与连通孔的孔壁抵持并用于限制整个盲堵装置相对基板发生偏移，进而有利于避免由于盲堵装置相对基板偏移而造成的封挡件无法有效封挡连通孔的情况。
[0025]在本申请第二方面的一些实施例中，连通孔为方形孔；凸台绕螺杆的轴向的周壁体包括四个为平面的子壁体，且每两个子壁体相对且平行设置。
[0026]上述设置方式，可以使得当卡接件与封挡件分别抵持于基板的相对两侧时，凸台能够限制整个盲堵装置绕螺杆的轴向相对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种盲堵装置，其特征在于，包括封挡件、卡接件、螺杆以及限位件；所述螺杆同时穿过所述封挡件和所述卡接件；所述螺杆与所述卡接件螺纹连接，和/或，所述螺杆与所述封挡件螺纹连接；所述螺杆远离所述卡接件的一端用于与外界动力源连接；定义所述卡接件绕所述螺杆的轴向的边缘上与所述螺杆的轴向之间的最大距离处为所述卡接件的极限边缘区域；所述限位件设置于所述封挡件的靠近所述卡接件的表面，所述限位件用于限制所述卡接件绕所述螺杆的轴向相对所述封挡件转动且所述限位件位于所述卡接件的非所述极限边缘区域；当所述螺杆转动时，所述卡接件能够沿所述螺杆的轴向远离或靠近所述封挡件。2.根据权利要求1所述的盲堵装置，其特征在于，所述卡接件包括相互垂直交叉连接的第一卡接杆和第二卡接杆；所述螺杆穿过所述第一卡接杆与所述第二卡接杆的连接处。3.根据权利要求1所述的盲堵装置，其特征在于，所述限位件包括间隔设置于所述封挡件的表面的两个限位凸起，两个所述限位凸起位于所述卡接件的相对两侧并共同抵持所述卡接件。4.根据权利要求1所述的盲堵装置，其特征在于，所述封挡件包括沿所述螺杆的轴向相互连接的挡板和凸台，所述螺杆同时贯穿所述挡板和所述凸台；沿所述螺杆的轴向，所述挡板的投影覆盖所述凸台；所述限位件设置于所述凸台远离所述挡板的表面。5.根据权利要求4所述的盲堵装置，其特征在于，所述凸台绕所述螺杆的轴向的周壁体至少部分为平面。6.一种特气柜用封板，其特征在于，包括基板以及如权利要求1
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5中任一项所述的盲堵装置；所述基板设置有沿所述基板的厚度方向贯穿所述基板的连通孔；以所述螺杆的轴向为圆心，定义所述卡接件绕所述螺杆的轴向的边缘形成的最大外接圆的直径为基准尺寸；所述卡接件与所述封挡件之间的最大距离大于或等于...
【专利技术属性】
技术研发人员：王小辉，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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