倾斜度监测仪制造技术

本实用新型专利技术一种倾斜度监测仪，用于监测仪器在搬运过程中的倾角，其包括：夹持组件以及监测组件；所述夹持组件用于夹持于待搬运的仪器上，并被限制相对所述搬运的仪器的倾角；所述监测组件包括铅坠以及标尺，所述标尺与所述夹持组件连接，所述铅坠悬吊于所述标尺上，用于指示当前所述标尺的倾角。如此配置，使用者能够通过铅坠在标尺上的位置来判断仪器在搬运过程中的倾角，以便于及时调整角度，避免仪器滑动或倾倒造成损坏，进而影响产能。进而影响产能。进而影响产能。

【技术实现步骤摘要】
倾斜度监测仪


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其是一种倾斜度监测仪。

技术介绍

[0002]半导体生产精密仪器搬入作业时半导体芯片工厂建设的重要环节。如何安全、高效的搬入高价值的半导体生产精密仪器，成为了每个半导体工厂必须要面临的问题。在搬运过程中，叉车叉起、运输、堆放货物时，容易引起货物的倾斜。作业人员稍不注意，倾斜角度过大会导致仪器倾倒，不仅使仪器遭到损坏，而且对于整个工厂来说，关键仪器的损坏还将严重影响产能，造成无法估量的损失。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种倾斜度监测仪，以解决精密仪器在搬运过程中易滑动、倾倒造成损坏从而影响产能的问题。
[0004]为了达到上述目的，本技术提供了一种倾斜度监测仪，用于监测仪器在搬运过程中的倾角，其包括：夹持组件以及监测组件；
[0005]所述夹持组件用于夹持于待搬运的仪器上，并被限制相对所述搬运的仪器的倾角；
[0006]所述监测组件包括铅坠以及标尺，所述标尺与所述夹持组件连接，所述铅坠悬吊于所述标尺上，用于指示当前所述标尺的倾角。
[0007]可选的，所述夹持组件包括夹具，所述夹具沿夹持方向的夹持距离可调节，以适配于不同尺寸的仪器。
[0008]可选的，所述夹具具有第一侧板、第二侧板以及连接件，所述第一侧板与所述第二侧板分别与所述连接件的两端连接，并沿所述连接件的轴向相向设置。
[0009]可选的，所述夹具具有伸缩槽，所述伸缩槽位于所述连接件上，所述伸缩槽沿所述连接件的轴向可移动，用于增大或减小所述夹具的尺寸。
[0010]可选的，所述夹持组件还包括固定件，所述固定件与所述连接件连接，用于固定所述伸缩槽沿所述连接件的轴向移动。
[0011]可选的，所述夹持组件所述夹持组件还包括第一连接层和第二连接层；
[0012]所述第一连接层位于所述第一侧板靠近所述第二侧板的侧面上，用于与待搬运的仪器相抵靠；
[0013]所述第二连接层位于所述第二侧板的顶面，用于与待搬运的仪器相抵靠。
[0014]可选的，在仪器处于初始状态时，所述连接件沿水平方向延伸。
[0015]可选的，所述第一侧板在其轴向上的长度大于所述第二侧板在其轴向上的长度。
[0016]可选的，所述监测组件还包括铅坠连接点，所述标尺的横截面为半圆形，所述铅坠连接点位于所述标尺的圆心处，用于悬挂所述铅坠。
[0017]可选的，所述监测组件还包括至少两个指示柱，所述指示柱自所述标尺的圆心处
向外延伸，且围绕所述标尺的周向角度可调节。
[0018]综上所述，在本技术提供的一种倾斜度检测仪中，其用于监测仪器在搬运过程中的倾角，其包括：夹持组件以及监测组件；所述夹持组件用于夹持于待搬运的仪器上，并被限制相对所述搬运的仪器的倾角；所述监测组件包括铅坠以及标尺，所述标尺与所述夹持组件连接，所述铅坠悬吊于所述标尺上，用于指示当前所述标尺的倾角。
[0019]如此配置，使用者能够通过标尺与铅坠之间的位置关系，来判断仪器在搬运过程中的倾斜程度，从而能够及时调整叉车的牙叉的倾角，避免仪器在搬运过程中出现滑动或倾倒，并造成损坏，从而严重影响产能。
附图说明
[0020]图1是本技术实施例的仪器在初始状态时的示意图；
[0021]图2是本技术实施例的仪器在滑移前的状态示意图；
[0022]图3是本技术实施例的仪器在倾倒前的状态示意图；
[0023]图4是本技术实施例的倾斜度监测仪的俯视图；
[0024]图5是本技术实施例的倾斜度监测仪的正视图；
[0025]图6是本技术实施例的倾斜度监测仪的侧视图。
[0026]其中，附图标记为：
[0027]10
‑
夹持组件；20
‑
监测组件；30
‑
仪器；101
‑
第一侧板；102
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第二侧板；103
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连接件；104
‑
伸缩槽；105
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固定件；106
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第一连接层；107
‑
第二连接层；201
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铅坠；202
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标尺；203
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铅坠连接点；204
‑
指示柱。
具体实施方式
[0028]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0029]如在本说明书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本说明书中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。术语“上”、“下”、“顶”、“底”通常是
按重力方向进行排布的相对位置关系；术语“竖向、竖直方向”通常是指沿重力方向，其一般垂直于地面，“水平向、水平面方向”通常是沿平行于地面的方向；对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本说明书中的具体含义。
[0030]本技术的目的在于提供一种倾斜度监测仪，以解决精密仪器在搬运过程中易滑动、倾倒造成损坏从而影响产能的问题。
[0031]以下参考附图进行描述。
[0032]请参考图1至图3，专利技术人发现，在搬运高窄半导体仪器30，诸如：立式炉管、显影机、清洗机时，由于仪器30与叉车的牙叉面有摩擦力，当仪器30到达一定倾角时，仪器30本身会在牙叉上滑动，不会发生倾倒。这类滑动是十分危险的，为了避免滑动，在作业时会在仪器30与牙叉的接触面上铺设防滑胶皮，但这类预防措施使得仪器30倾本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种倾斜度监测仪，用于监测仪器在搬运过程中的倾角，其特征在于，包括：夹持组件以及监测组件；所述夹持组件用于夹持于待搬运的仪器上，并被限制相对所述搬运的仪器的倾角；所述监测组件包括铅坠以及标尺，所述标尺与所述夹持组件连接，所述铅坠悬吊于所述标尺上，用于指示当前所述标尺的倾角。2.如权利要求1所述的倾斜度监测仪，其特征在于，所述夹持组件包括夹具，所述夹具沿夹持方向的夹持距离可调节，以适配于不同尺寸的仪器。3.如权利要求2所述的倾斜度监测仪，其特征在于，所述夹具具有第一侧板、第二侧板以及连接件，所述第一侧板与所述第二侧板分别与所述连接件的两端连接，并沿所述连接件的轴向相向设置。4.如权利要求3所述的倾斜度监测仪，其特征在于，所述夹具具有伸缩槽，所述伸缩槽位于所述连接件上，所述伸缩槽沿所述连接件的轴向可移动，用于增大或减小所述夹具的尺寸。5.如权利要求4所述的倾斜度监测仪，其特征在于，所述夹持组件还包括固定件，所述固定件与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昊，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：