X射线检查装置以及X射线检查方法制造方法及图纸

提供X射线检查装置以及X射线检查方法，X射线检查装置(1、11)具有X射线源(10)、X射线照相机(20)和保持检查对象的保持部(40)，X射线源、X射线照相机、保持部中的任意方作为旋转部进行旋转运动，而取得检查对象的三维图像并检查，旋转部在多个场所依次进行旋转运动，并且从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点沿着作为将各旋转圆在旋转结束点和旋转开始点处平滑地连结的轨迹的特定移动轨迹移动，下一个旋转运动的旋转开始点被计算为以配置于下一个旋转运动的旋转圆上的方式设定的多个候选点中的、旋转部能够沿着特定移动轨迹以最短的移动时间从一个旋转运动的旋转圆移动至下一个旋转运动的旋转圆的点。的旋转圆移动至下一个旋转运动的旋转圆的点。的旋转圆移动至下一个旋转运动的旋转圆的点。

【技术实现步骤摘要】
X射线检查装置以及X射线检查方法


[0001]本专利技术涉及取得被检查物的多个X射线图像来制作三维数据的X射线检查装置。

技术介绍

[0002]以往，存在如下技术：从多个方向拍摄基板表面等被检查物的X射线图像，根据拍摄到的多个X射线图像制作三维数据，进行检查部位的内部构造的检查。作为该例子，能够列举层析摄影合成、CT等技术。在该技术中，从X射线源对被检查物的检查部位照射X射线，利用X射线照相机拍摄透过的X射线。然后，一边使X射线源、被检查物、X射线照相机的位置关系相对地变化，一边拍摄多张X射线图像。
[0003]此时，通过使X射线源、被检查物、X射线照相机中的至少任意方进行旋转运动来改变彼此的相对位置，当一次旋转运动结束而该检查部位的拍摄结束时，向用于拍摄下一个检查部位的拍摄位置进行移动运动，进而进行旋转运动。因此，为了缩短被检查物的检查时间，需要高效地进行上述的旋转运动和移动运动。这里，旋转运动表示以匀速进行圆旋转的运动，不包含圆旋转前的加速助跑运动、圆旋转后的减速制动运动。另一方面，移动运动表示从旋转圆向下一个旋转圆移动的运动。例如，与移动运动相关的运动距离为旋转圆之间的移动距离。
[0004]针对该问题，公知有如下技术：基于用于拍摄放射线透视图像的拍摄条件，求解各个处理的时间(例如，到放射线发生器所照射的放射线稳定为止所需的时间、移动放射线发生器所需的时间、使基板保持部在基板旋转轨道所延伸的平面上平行移动所需的时间、检测器驱动部使检测器移动以及与检测器联动地使基板保持部移动所需的时间等)的组合、最优化问题，由此，求出拍摄多个放射线透视图像所需的时间变短的拍摄路径(例如，参照专利文献1)。
[0005]然而，在以往的技术中，对于使X射线源、被检查物、X射线照相机移动时的移动轨迹、移动时间的最优化没有充分地进行研究。
[0006]专利文献1：日本特开2011
‑
209054号公报
[0007]专利文献2：日本特开2013
‑
247228号公报

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的问题
[0009]本专利技术是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于提供能够缩短X射线检查装置中的被检查物的检查时间的技术。
[0010]用于解决问题的手段
[0011]用于解决上述的课题的本专利技术包含一种X射线检查装置，其具有：X射线源，其产生向检查对象照射的X射线；X射线照相机，其拍摄基于从所述X射线源照射到所述检查对象的X射线的X射线图像；以及保持部，其保持所述检查对象，通过所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意方作为旋转部进行旋转运动，一边变更拍摄方向一边拍摄所述
X射线图像，取得所述检查对象的三维图像而进行检查，其特征在于，所述旋转部在多个场所依次进行旋转运动，并且进行用于从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点移动的移动运动，在所述旋转部从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点移动时，作为所述旋转部的所述X射线源、所述X射线照相机、所述保持部中的任意方沿着特定移动轨迹移动，该特定移动轨迹是将所述一个旋转运动的旋转圆与所述下一个旋转运动的旋转圆在所述旋转结束点和所述旋转开始点处连结的轨迹，该X射线检查装置还具有计算所述旋转运动中的所述旋转开始点和所述特定移动轨迹的轨迹计算部，所述下一个旋转运动的旋转开始点是作为以配置于所述下一个旋转运动的旋转圆上的方式设定的多个候选点中的、作为所述旋转部的所述X射线源、所述X射线照相机、所述保持部中的任意方能够沿着所述特定移动轨迹以最短的移动时间从所述一个旋转运动的旋转圆移动到所述下一个旋转运动的旋转圆的点而由所述轨迹计算部计算出的。
[0012]由此，在旋转部从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点移动时，能够从配置于下一个旋转运动的旋转圆上的多个候选点中选择能够以最短的移动时间移动的旋转开始点。其结果是，旋转部能够更可靠地从一个旋转运动的旋转结束点移动到下一个旋转运动的旋转开始点。其结果，能够更可靠地缩短X射线检查装置中的被检查物的检查时间。这里，旋转部(线源、照相机、保持部中的进行旋转运动的部件)被控制为在移动运动时同时到达下一个旋转运动的旋转开始点。并且，上述最短的移动时间是指例如针对各候选点计算使得作为旋转部的线源和照相机同时到达下一个旋转运动的旋转开始点的移动时间的时间候选而得的计算出的时间候选中的最早的移动时间。
[0013]另外，可以是，针对作为所述旋转部的所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意方在所述下一个旋转运动的旋转圆上顺时针旋转的情况和逆时针旋转的情况这双方的情况，设定所述多个候选点。由此，能够从更宽的范围选择下一个旋转运动的旋转开始点的候选，可以增加能够选择使得旋转部能够以更短的时间从一个旋转运动的旋转结束点移动到下一个旋转运动的旋转开始点的旋转开始点的可能性。
[0014]另外，可以是，所述轨迹计算部包含多个运算装置，所述轨迹计算部使用所述多个运算装置并行运算针对所述多个候选点的移动时间。由此，能够使用多个运算装置并行运算旋转部相对于多个候选点的移动时间，能够更高速地决定下一个旋转运动的旋转开始点。此外，这里，多个运算装置除了具有多个独立的运算装置的情况之外，还包含使用一个运算装置的内部的多个运算功能的情况。
[0015]另外，可以是，不存在所述旋转部在所述旋转运动和所述移动运动的中途停止的停止区间。这里，在以往的技术中，在从旋转运动转移到移动运动或者从移动运动转移到旋转运动时，旋转部需要暂时停止。而且，在旋转运动的中途需要用于进行加速运动和减速运动的助跑距离、制动距离。与此相对，在本专利技术中，构成为不存在所述旋转部在所述旋转运动以及所述移动运动的中途停止的停止区间，因此旋转部不需要进行用于旋转运动与移动运动之间的停止的加速运动、减速运动。其结果，不需要在用于X射线图像的拍摄的旋转运动的前后进行用于加速减速的追加的旋转运动。因此，能够降低多个旋转运动和移动运动的合计运动时间，缩短检查时间。
[0016]另外，可以是，所述特定移动轨迹是在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处所述旋转部的线速度连续的轨迹。另外，可以是，所述特定移动轨迹是在所述旋转结束点和/
或所述旋转开始点处所述旋转部的线速度和加速度连续、或者在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处所述旋转部的线速度、加速度和跃度连续的轨迹。而且，在该情况下，可以是，在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处，所述旋转部的加速度为0。
[0017]即，在特定移动轨迹中，要求旋转部的线速度在旋转结束点和/或旋转开始点连续。而且，优选线速度以及加速度连续。另外，理想的是线速度、加速度以及跃度连续。另外，在加速度连续的情况下，理想的是加速度为0。
[0018]由此，能够缓和在从旋转运动向移动运动、或者从移动运动向旋转运动转移时作用于旋转部的加速、冲击。其结果，能够进一步缩短检查时间。这里，也如上所述，旋转运动表示以匀速进行圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线检查装置，其具有：X射线源，其产生向检查对象照射的X射线；X射线照相机，其拍摄基于从所述X射线源照射到所述检查对象的X射线的X射线图像；以及保持部，其保持所述检查对象，通过所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意方作为旋转部进行旋转运动，一边变更拍摄方向一边拍摄所述X射线图像，取得所述检查对象的三维图像而进行检查，所述X射线检查装置的特征在于，所述旋转部在多个场所依次进行旋转运动，并且进行用于从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点移动的移动运动，在所述旋转部从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点移动时，作为所述旋转部的所述X射线源、所述X射线照相机、所述保持部中的任意方沿着特定移动轨迹移动，该特定移动轨迹是将所述一个旋转运动的旋转圆与所述下一个旋转运动的旋转圆在所述旋转结束点和所述旋转开始点处连结的轨迹，所述X射线检查装置还具有计算所述旋转运动的所述旋转开始点和所述特定移动轨迹的轨迹计算部，所述下一个旋转运动的旋转开始点是作为以配置于所述下一个旋转运动的旋转圆上的方式设定的多个候选点中的、作为所述旋转部的所述X射线源、所述X射线照相机、所述保持部中的任意方能够沿着所述特定移动轨迹以最短的移动时间从所述一个旋转运动的旋转圆移动到所述下一个旋转运动的旋转圆的点而由所述轨迹计算部计算出的。2.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，针对作为所述旋转部的所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意方在所述下一个旋转运动的旋转圆上顺时针旋转的情况和逆时针旋转的情况这双方的情况，设定所述多个候选点。3.根据权利要求1或2所述的X射线检查装置，其特征在于，所述轨迹计算部包含多个运算装置，所述轨迹计算部使用所述多个运算装置并行运算针对所述多个候选点的移动时间。4.根据权利要求1或2所述的X射线检查装置，其特征在于，不存在所述旋转部在所述旋转运动和所述移动运动的中途停止的停止区间。5.根据权利要求1或2所述的X射线检查装置，其特征在于，所述特定移动轨迹是在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处所述旋转部的线速度、或者线速度和加速度、或者线速度、加速度以及跃度连续的轨迹。6.根据权利要求5所述的X射线检查装置，其特征在于，在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点，所述旋转部的加速度为0。7.根据权利要求1或2所述的X射线检查装置，其特征在于，所述特定移动轨迹是作为多项式而被计算出的或者是通过对三角函数使用参变量而计算出的。8.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：七吕真，惠木守，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：