本申请涉及一种旋转喷淋装置，包括清洗槽；喷管组件，设置在清洗槽内，喷管组件包括固定喷管和若干旋转喷管，固定喷管、若干旋转喷管均具有进水端，进水端上设置有进水口，进水端穿出清洗槽的侧壁，进水口位于清洗槽外，固定喷管与若干旋转喷管上均设置有喷水机构，喷水机构位于清洗槽内；及驱动机构，驱动若干旋转喷管在清洗槽内绕其轴线转动。本申请通过设置驱动机构来驱动若干旋转喷管在清洗槽内绕其轴线转动以对硅片进行旋转喷淋，增加了每个旋转喷管的喷淋面积，硅片的同一区域可被不同的旋转喷管喷淋清洗，节省时间，降低成本，提高清洗效率。清洗效率。清洗效率。
【技术实现步骤摘要】
旋转喷淋装置
[0001]本技术涉及一种旋转喷淋装置，属于硅片加工设备
技术介绍
[0002]硅是目前很常见的半导体原料，是太阳能电池最理想的原材料。硅原料一般需要经过清洗、铸锭、切块、粘胶、切片、脱胶、清洗等工序后，才能用于太阳能电池的制备生产。在实际的生产操作中，硅块被切成片状后，必须要经过脱胶和清洗才能进行使用。传统工艺中都是通过三组固定的喷管对硅片进行喷淋冲洗，但是，清洗效果并不理想，且经常存在清洗不干净的情况，后续还要对硅片进行二次清洗，增加了生产成本，延长了生产周期，降低了工作效率，同时也增强了产线工人的劳动强度。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种结构简单、清洗效率高且清洗效果好的旋转喷淋装置。
[0004]为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：一种旋转喷淋装置，包括：
[0005]清洗槽；
[0006]喷管组件，设置在所述清洗槽内，所述喷管组件包括固定喷管和若干旋转喷管，所述固定喷管、若干所述旋转喷管均具有进水端，所述进水端上设置有进水口，所述进水端穿出所述清洗槽的侧壁，所述进水口位于所述清洗槽外，所述固定喷管与若干所述旋转喷管上均设置有喷水机构，所述喷水机构位于所述清洗槽内；及
[0007]驱动机构，驱动若干所述旋转喷管在所述清洗槽内绕其轴线转动。
[0008]进一步地，所述旋转喷管在所述清洗槽内呈360度连续转动。
[0009]进一步地，所述进水端与所述侧壁之间通过旋转接头连接，以使所述进水端可相对所述侧壁转动。
[0010]进一步地，所述旋转接头内形成有环形水槽，所述旋转接头上开设有将所述环形水槽与外部连通的进水通孔，所述进水端穿过所述旋转接头，且所述进水口与所述环形水槽对接。
[0011]进一步地，所述进水端上设置有用以将所述进水端安装在所述旋转接头上的防脱件。
[0012]进一步地，所述固定喷管通过卡固件固定在所述清洗槽内。
[0013]进一步地，所述固定喷管位于若干所述旋转喷管上方。
[0014]进一步地，所述驱动机构设置在所述清洗槽外侧，所述旋转喷管具有与所述进水端相对设置的连接端，所述连接端穿过所述清洗槽的另一侧壁，所述驱动机构驱动所述连接端转动。
[0015]进一步地，所述驱动机构包括若干气缸组件和传动组件，所述传动组件连接所述气缸组件的柱塞和所述连接端以将所述气缸组件的直线运动转化为旋转运动。
[0016]进一步地，所述清洗槽的外侧上设置有用以安装所述驱动机构的安装架。
[0017]进一步地，所述喷水机构为设置在所述固定喷管与所述旋转喷管上的若干喷口，所述若干喷口等间距设置且所述若干喷口的轴线垂直于所述旋转喷管的轴线。
[0018]本技术的有益效果在于：本申请通过设置驱动机构来驱动若干旋转喷管在清洗槽内绕其轴线转动以对硅片进行旋转喷淋，增加了每个旋转喷管的喷淋面积，且硅片的同一区域可以被不同的旋转喷管喷淋清洗，与现有技术相比，避免因喷淋位置固定而导致的硅片部分区域清洗不到或清洗不充分的情况，无需对硅片进行重复清洗，既节省时间、降低生产成本，又能保证硅片的清洗效果，提高清洗效率。
[0019]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0020]图1为本技术一实施例旋转喷淋装置的结构示意图；
[0021]图2为图1所示旋转喷淋装置另一视角的结构示意图；
[0022]图3为图1所示的气缸组件及安装架组装后的结构示意图。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0024]请参见图1至图3，本技术一实施例所示的一种旋转喷淋装置包括清洗槽1、喷管组件2和驱动机构3。喷管组件2设置在清洗槽1内，喷管组件2包括固定喷管21和若干旋转喷管22，固定喷管21、若干旋转喷管22均具有进水端，进水端上设置有进水口(未图示)，进水端穿出清洗槽1的侧壁12，进水口位于清洗槽1外，固定喷管21与若干旋转喷管22上均设置有喷水机构8，喷水机构8位于清洗槽1内。驱动机构3驱动若干旋转喷管22在清洗槽1内绕其轴线转动。本申请通过设置驱动机构3来驱动若干旋转喷管22在清洗槽1内绕其轴线转动以对硅片进行旋转喷淋，增加了每个旋转喷管22的喷淋面积，且硅片的同一区域可以被不同的旋转喷管22喷淋清洗，与现有技术相比，避免因喷淋位置固定而导致的硅片部分区域清洗不到或清洗不充分的情况，无需对硅片进行重复清洗，既节省时间、降低生产成本，又能保证硅片的清洗效果，提高了清洗效率。
[0025]需要说明的是，硅片是以硅块为原材料被切割后得到的的片状物体，是一种良好的半导体材料，硅块在被切成片状后，必须要经过脱胶和清洗才能进行使用，当硅片进行脱胶清洗时，需将硅片固定在晶托上，然后通过晶托使硅片伸入清洗槽1内，以使喷管组件2对该硅片进行清洗。在本实施例中，清洗槽1为上端具有开口11的长方形槽体结构，其侧壁12上开设有用以进水端穿出的若干开口6，晶托与硅片通过开口11伸入清洗槽1内。
[0026]在本实施例中，若干旋转喷管22在清洗槽1内呈360度连续转动。具体的，若干旋转喷管22呈360度连续转动，以使若干旋转喷管22上喷水机构8即可以清洗硅片，也可以清洗清洗槽1的内部，同时多个旋转喷管22之间还可以相互清洗，避免清洗槽1或旋转喷管22上的残余污渍会对清洗干净的硅片产生二次污染，提高清洗效率。在其他实施例中，若干旋转
喷管22的转动方式及范围也可设置成其他模式，具体如若干旋转喷管22在清洗槽1内呈180度往复转动，或者呈30度至90度转动，具体结合设计需求进行调整，在此不详细列举。
[0027]在本实施例中，进水端与侧壁12之间通过旋转接头4连接，以使进水端可相对侧壁12转动。同时，旋转接头4内形成有环形水槽(未图示)，旋转接头4上开设有将环形水槽与外部连通的进水通孔41，进水端穿过旋转接头4，且进水口与环形水槽对接。具体的，旋转接头4固定在侧壁12上，进水端穿插在旋转接头4的轴孔(未图示)里。需要说明的是，旋转接头4是一种管路连接器件，其内部具有两个轴承，当旋转接头4的外部壳体固定在侧壁12上，其内部的轴承可相对进水端静止，以实现进水端可相对侧壁12转动。进一步地，通过环形水槽、进水口及进水通孔41的配合，使得进水通孔41预侧壁12相对静止的同时可以实现与环形水槽及进水口通水，从而使旋转喷管22不会因其旋转的工作特性而影响通水效果。当然，在其他实施例中，也可通过在清洗槽1的其他位置设置轴承来实现进水端可相对侧壁12转动，具体如，在清洗槽1的内壁上设置轴承，并使进水端穿过该轴承再穿出于开孔6。
[0028]在本实施例中，进水端上设置有用以将本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转喷淋装置，其特征在于，包括：清洗槽；喷管组件，设置在所述清洗槽内，所述喷管组件包括固定喷管和若干旋转喷管，所述固定喷管、若干所述旋转喷管均具有进水端，所述进水端上设置有进水口，所述进水端穿出所述清洗槽的侧壁，所述进水口位于所述清洗槽外，所述固定喷管与若干所述旋转喷管上均设置有喷水机构，所述喷水机构位于所述清洗槽内；及驱动机构，驱动若干所述旋转喷管在所述清洗槽内绕其轴线转动。2.如权利要求1所述的旋转喷淋装置，其特征在于，若干所述旋转喷管在所述清洗槽内呈360度连续转动。3.如权利要求1所述的旋转喷淋装置，其特征在于，所述进水端与所述侧壁之间通过旋转接头连接，以使所述进水端可相对所述侧壁转动。4.如权利要求3所述的旋转喷淋装置，其特征在于，所述旋转接头内形成有环形水槽，所述旋转接头上开设有将所述环形水槽与外部连通的进水通孔，所述进水端穿过所述旋转接头，且所述进水口与所述环形水槽对接。5.如权利要求3所述的旋...
【专利技术属性】
技术研发人员：李胤冉，李愫，孟宁宁，
申请(专利权)人：昆山硅瑞自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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