一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，包括载台底座和载台上盖；载台底座为圆形结构且安装在设备镀锅的镀锅孔处；载台底座开设有第一放片孔，第一放片孔的内侧边缘设置有一圈第一台阶，第一台阶用于放置2寸玻璃片；载台上盖包括第一上盖，第一上盖与第一放片孔的形状相同，且第一上盖的边缘为一圈第一环形凸台，第一环形凸台用于将2寸玻璃片压紧在第一台阶远离设备镀锅的一面。本实用新型专利技术能极大提升DBR玻璃片反射率测试的稳定性及减少成本。及减少成本。及减少成本。

【技术实现步骤摘要】
一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置


[0001]本技术涉及半导体电子
，特别涉及一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置。

技术介绍

[0002]DBR分布式布拉格反射镜(Distributed Bragg reflector)是一种利用不同界面反射光的“相长干涉”对不同波长的光进行增强反射的光学器件，一般由多个1/4波长反射镜组成，实现对多个波长入射光的高效反射。
[0003]DBR玻璃片的反射率可达99％以上，在LED领域其芯片的设计也需要用DBR玻璃片来增强反射效果，芯片厂一般是一炉130片4寸玻璃片进行镀膜作业，作业后确认本炉次片源的反射率是否达到设计的要求。现有通常直接采用设备镀锅的镀锅孔作为4寸玻璃片的载台，常规作业时一个设备镀锅上通过5 个镀锅孔各自装载单片4寸玻璃片进行跟片镀膜，镀膜作业后测量反射率。测试反射率时，单片4寸玻璃片直接放置于设备镀锅的镀锅孔处，如图1所示，再旋上镀锅卡扣进行固定，而镀锅卡扣存在松紧时会造成玻璃片上下抖动，对所镀的膜层可能有所影响，影响反射率基准，而4寸玻璃片的测试点一般为靠近镀锅孔的边缘位置，采用4寸玻璃片作为测试片时容易影响测试效果，并不具有良好的经济效益。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是：提供一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，以提升DBR玻璃片反射率测试的稳定性及减少成本。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，包括载台底座和载台上盖；
[0007]所述载台底座为圆形结构且安装在设备镀锅的镀锅孔处；
[0008]所述载台底座开设有第一放片孔，所述第一放片孔的内侧边缘设置有一圈第一台阶，所述第一台阶用于放置2寸玻璃片；
[0009]所述载台上盖包括第一上盖，所述第一上盖与所述第一放片孔的形状相同，且所述第一上盖的边缘为一圈第一环形凸台，所述第一环形凸台用于将2寸玻璃片压紧在所述第一台阶远离所述设备镀锅的一面。
[0010]进一步地，所述载台底座还开设有第二放片孔，所述第二放片孔的内侧边缘设置有一圈第二台阶，所述第二台阶用于放置1寸玻璃片；
[0011]所述第一放片孔与所述第二放片孔分布在所述载台底座的同一中线上；
[0012]所述载台上盖还包括第二上盖，所述第二上盖与所述第二放片孔的形状相同，且所述第二上盖的边缘为一圈第二环形凸台，所述第二环形凸台用于将1 寸玻璃片压紧在所述第二台阶远离所述设备镀锅的一面。
[0013]进一步地，所述第一上盖的边缘远离所述第一环形凸台的一侧开设有一个第一盖面槽；
[0014]所述第一盖面槽在所述第一上盖将2寸玻璃片压紧在所述第一台阶处时与所述设备镀锅的一个镀锅卡扣的位置及形状相对应。
[0015]进一步地，所述第二上盖的边缘远离所述第二环形凸台的一侧开设有一个第二盖面槽；
[0016]所述第二盖面槽在所述第二上盖将1寸玻璃片压紧在所述第二台阶处时与所述设备镀锅的另一个镀锅卡扣的位置及形状相对应。
[0017]进一步地，所述第一放片孔的边缘远离所述第一放片孔的圆心方向和所述第二放片孔的边缘远离所述第二放片孔的圆心方向各设置有一个定位槽，且所述定位槽设置在位于所述载台底座上放置所述第一上盖和所述第二上盖的一侧；
[0018]所述第一上盖和所述第二上盖的边缘各设置有一个与所述定位槽的位置及形状相对应的定位台。
[0019]进一步地，所述第一上盖和所述第二上盖的中心远离所述载台底座的一侧各设置有一个T型把手；
[0020]所述T型把手距所述第一上盖或所述第二上盖的高度为6～8mm。
[0021]进一步地，所述第一放片孔的直径比2寸玻璃片的直径大1～2mm；
[0022]所述第二放片孔的直径比1寸玻璃片的直径大1～2mm。
[0023]进一步地，所述第一上盖的直径比所述第一放片孔的直径小0.5～1mm；
[0024]所述第二上盖的直径比所述第二放片孔的直径小0.5～1mm。
[0025]进一步地，所述载台底座的边缘延伸有一圈载台台阶；
[0026]所述载台底座通过所述载台台阶卡紧扣合在所述镀锅孔处，且所述载台台阶的一面与所述载台底座上靠近所述载台上盖的一面齐平，所述载台台阶的另一面与所述设备镀锅的表面贴合。
[0027]本技术的有益效果在于：本技术提供一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，设计一种可安装在设备镀锅的镀锅孔处的载台底座，并在载台底座上开设第一放片孔，在第一放片孔边缘设计一圈第一台阶用于放置2寸玻璃片，代替现有采用4寸玻璃片直接放置在镀锅孔处的方式，由于2寸玻璃片远小于载台底座的尺寸，其测试点不会与载台底座的边缘太贴近，从而规避了现有采用4寸玻璃片作为测试片由于测试点一般靠近镀锅孔边缘位置影响测试效果造成经济效益不佳的缺陷；同时还设计有第一上盖，通过第一上盖边缘的第一环形凸台实现将2寸玻璃片压紧在第一放片孔的第一台阶上，而第一盖板的中间部分也不会划伤玻璃片影响测试效果，整体在增加对玻璃片的防护的同时也避免了玻璃片上下振动而影响反射率的测试效果，极大提升了DBR玻璃片反射率测试的稳定性及减少成本。
附图说明
[0028]图1为现有单片4寸玻璃片放置在设备镀锅的镀锅孔处的示意图；
[0029]图2为本技术实施例的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置中载台底座的俯视图；
[0030]图3为本技术实施例的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置中载台上盖的俯视图；
[0031]图4为本技术实施例的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置的整体侧视图；
[0032]图5为本技术实施例的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置中载台底座的主视图。
[0033]标号说明：
[0034]1、设备镀锅；11、镀锅孔；12、镀锅卡扣；2、4寸玻璃片；
[0035]3、载台底座；31、第一放片孔；311、第一台阶；32、第二放片孔；321、第二台阶；33、定位槽；34、载台台阶；
[0036]4、载台上盖；41、第一上盖；411、第一环形凸台；42、第二上盖；421、第二环形凸台；43、定位台；44、第一盖面槽；45、第二盖面槽；46、T型把手； 5、2寸玻璃片；6、1寸玻璃片。
具体实施方式
[0037]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0038]请参照图2至图5，一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，包括载台底座和载台上盖；
[0039]所述载台底座为圆形结构且安装在设备镀锅的镀锅孔处；
[0040]所述载台底座开设有第一放片孔，所述第一放片孔的内侧边缘设置有一圈第一台阶，所述第一台阶用于放置2寸玻璃片；
[0041]所述载台上盖包括第一上盖，所述第一上盖与所述第一放片孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，包括载台底座和载台上盖；所述载台底座为圆形结构且安装在设备镀锅的镀锅孔处；所述载台底座开设有第一放片孔，所述第一放片孔的内侧边缘设置有一圈第一台阶，所述第一台阶用于放置2寸玻璃片；所述载台上盖包括第一上盖，所述第一上盖与所述第一放片孔的形状相同，且所述第一上盖的边缘为一圈第一环形凸台，所述第一环形凸台用于将2寸玻璃片压紧在所述第一台阶远离所述设备镀锅的一面。2.根据权利要求1所述的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，所述载台底座还开设有第二放片孔，所述第二放片孔的内侧边缘设置有一圈第二台阶，所述第二台阶用于放置1寸玻璃片；所述第一放片孔与所述第二放片孔分布在所述载台底座的同一中线上；所述载台上盖还包括第二上盖，所述第二上盖与所述第二放片孔的形状相同，且所述第二上盖的边缘为一圈第二环形凸台，所述第二环形凸台用于将1寸玻璃片压紧在所述第二台阶远离所述设备镀锅的一面。3.根据权利要求2所述的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，所述第一上盖的边缘远离所述第一环形凸台的一侧开设有一个第一盖面槽；所述第一盖面槽在所述第一上盖将2寸玻璃片压紧在所述第一台阶处时与所述设备镀锅的一个镀锅卡扣的位置及形状相对应。4.根据权利要求3所述的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，所述第二上盖的边缘远离所述第二环形凸台的一侧开设有一个第二盖面槽；所述第二盖面槽在所述第二上盖将1寸玻璃片压紧在所述第二台...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪加添，刘印昂，李朝翔，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：