一种防湍流真空室及真空系统技术方案

本说明书实施例提供一种防湍流真空室及真空系统，真空室包括：真空室腔体，设置于真空室腔体上的至少两个抽气口，抽气口用于对真空室腔体内部抽真空，以使得真空室腔体在抽真空时，真空室腔体内的各处压强同时降低。通过在真空室腔体上增设至少两个抽气口，通过至少两个抽气口对真空室腔体内同时进行抽真空，使得真空室腔体内的各处压强同时降低，能够减小真空室腔体内部的压强梯度，降低气体的流动速度，避免湍流的产生。避免湍流的产生。避免湍流的产生。

【技术实现步骤摘要】
一种防湍流真空室及真空系统


[0001]本说明书涉及抽真空
，具体涉及一种防湍流真空室及真空系统。

技术介绍

[0002]真空系统抽气时，真空系统中会产生气流。特别在刚一开始，初始气压为大气压的情况下，如果抽气速率较高，将会在真空室内产生严重的湍流。湍流会卷起真空室中残留的颗粒物质最后散落在真空室内部的工件表面。在镀膜过程中，这种颗粒物会对被镀物体造成污染，形成膜层的针孔、包裹物等，严重影响膜层的质量。降低粗抽真空的抽速，是克服这种情况的一种方法，但带来的结果是抽真空的时间延长，影响了生产效率。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本说明书实施例提供一种防湍流真空室及真空系统。
[0004]本说明书实施例提供以下技术方案：一种防湍流真空室，包括：
[0005]真空室腔体；
[0006]设置于所述真空室腔体上的至少两个抽气口，所述抽气口用于对所述真空室腔体内部抽真空，以使得所述真空室腔体在抽真空时，所述真空室腔体内的各处压强同时降低。
[0007]优选的，所述抽气口分布在所述真空室腔体的上、中、下和各个方位。
[0008]优选的，所述抽气口上连接有若干抽气管，所述若干抽气管端部设有若干连接头。
[0009]优选的，所述若干连接头之间通过连接管相连接。
[0010]一种真空系统，包括粗抽泵、真空泵和如上述任一项所述的真空室；
[0011]所述真空泵与所述真空室腔体之间通过管道相连通。
[0012]所述粗抽泵的抽气口与所述连接管之间相连接，所述粗抽泵用于对所述真空室腔体内部抽真空，以使所述真空室腔体内部达到所述真空泵工作的压强。
[0013]优选的，所述系统还包括：支撑机构，所述支撑机构设置于所述真空室腔体底部。
[0014]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
[0015]通过在真空室腔体上增设至少两个抽气口，通过至少两个抽气口对真空室腔体内同时进行抽真空，使得真空室腔体内的各处压强同时降低，能够减小真空室腔体内部的压强梯度，降低气体的流动速度，避免湍流的产生。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1是本技术提供的一种防湍流真空室的结构示意图；
[0018]图2是本技术提供的一种防湍流真空室的右视图；
[0019]图3是本技术提供的一种防湍流真空室的主视图；
[0020]图4是本技术提供的一种防湍流真空室的后视图。
具体实施方式
[0021]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0022]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0024]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0025]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
[0026]在真空系统抽气的研究中发现，对于空气，其分子数密度n0为：
[0027]n0＝2.7*10^25m^
‑
3，
[0028]气体可以被看作连续介质流体，其运动符合欧拉方程：
[0029][0030]其中v是气体流速，p是气体压强分布，ρ是气体密度分布，它们都是空间坐标的函数。
[0031]从方程中可以看到，气体流动的原因在于存在压强梯度，压强梯度越大，气体流速越大。对于固定的真空泵，抽速是确定的，单位时间的抽气量也是固定的，或者按照真空泵本身的抽气速率曲线随压强变化。在真空泵的作用下，真空室内部的一部分气体通过抽气口被排到真空室的外部。抽气的过程，抽气口的压强减小，形成真空室内部的压强梯度。真空泵的抽气量越大压强梯度也越大，过大的压强梯度造成气体流动速度过大，搅起真空室内颗粒物的飞扬。这种情况对应着抽气过程的湍流，湍流由雷诺系数来描述：
[0032]Re＝vdp/η
[0033]Re>2200时，气体流动状态是湍流，
[0034]Re<1200时，气体流动状态时粘滞流，
[0035]其中，v是气体流速(m/s)，d是管道直径(m)，ρ是气体密度(kg/m^3)，η是气体粘滞系数。
[0036]抑制湍流的办法就是减小雷诺系数，减小雷诺系数的有效办法是减小气体的流速，而减小流速的方式就是减小压强梯度。
[0037]为在不降低抽气量的情况下减少气体的流速，或者在不产生湍流的情况下保证尽量多的抽气量，通过在真空室腔体上增设至少两个抽气口，通过至少两个抽气口对真空室腔体内同时进行抽真空，使得真空室腔体内的各处压强同时降低，能够减小真空室腔体内部的压强梯度，降低气体的流动速度，避免湍流的产生。
[0038]以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。
[0039]如图1、图2、图3和图4所示，一种防湍流真空室，包括：
[0040]真空室腔体1；
[0041]设置于所述真空室腔体1上的至少两个抽气口2，所述抽气口2用于对所述真空室腔体1内部抽真空，以使得所述真空室腔体1在抽真空时，所述真空室腔体1内的各处压强同时降低。
[0042]通过在真空室腔体1上增设至少两个抽气口2，通过至少两个抽气口2 对真空室腔体1内进行同时抽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防湍流真空室，其特征在于，包括：真空室腔体(1)；设置于所述真空室腔体(1)上的至少两个抽气口(2)，所述抽气口(2)用于对所述真空室腔体(1)内部抽真空，以使得所述真空室腔体(1)在抽真空时，所述真空室腔体(1)内的各处压强同时降低；所述抽气口(2)分布在所述真空室腔体(1)的上、中、下和各个方位；所述抽气口(2)上连接有若干抽气管(3)，所述若干抽气管(3)端部设有若干连接头(4)；所述若干连接头(4)之间通过连接管相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪同群，谢圣鸣，
申请(专利权)人：上海新产业光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：