用于硅片传输系统的服务器架构以及信息交换方法技术方案

本发明专利技术公开了用于硅片传输系统的服务器架构以及信息交换方法。所述传输系统包括上位的主控计算机以及连接控制数个硬件设备的传输计算机，所述服务器架构用于传输计算机上，所述服务器架构包括服务器类、通讯类、数个设备状态类以及直接与硬件设备交互的数个设备驱动类，其中服务器类通过通讯类与主控计算机交互消息，服务器将接收的消息下发给设备状态类，设备状态类通过对应的设备驱动类间接控制硬件设备的执行，且将硬件设备的最新状态通过反馈给服务器类来上传至主控计算机。相较现有技术，本发明专利技术提供的服务器架构通过将针对每一硬件设备设置了设备状态类和设备驱动类，实现了硬件设备之间的模块化，提高了传输系统的维护性和扩展性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域硅片传输系统的装置以及信息的控制方法，尤其是 指一种服务器架构以及信息交换方法。
技术介绍
目前在国内，国产的半导体设备产业基本还未形成。研究传输控制系统的科研机构和高校也很少。中国期刊网上的学位论文全文数据库于2006年公开了 文献《硅片传输机器人控制系统的研究与开发》，该文献的第四章节重点分析了 采用的控制策略，DLL动态链接库和Active控件技术是传输系统上层应用程序 和底层硬件设备程序之间交互的主要手段。底层设备程序封装后，以头文件的 形式给上层调用，上层程序通过包含头文件，以函数调用的形式来实现对底层 设备的流程控制。采用这种方式，能较好的实现控制层次的划分，只要系统的 函数接口层次定义完成后，开发人员就能并行开发。但是采用上述函数接口的 形式，底层函数被调用后，到结果返回之前，被调用函数内部经历了复杂执行 过程，上层程序无法获知所调用函数内部执行的细节过程。另外，如杲采用非 异步的函数，执行期间，很容易阻塞上层调用程序。北京航空航天大学出版社 于2004年4月出版的《51系列单片机高级实例开发指南》涉及了运动控制系统 的开发，其中上下层的通讯是通过ASCII形式的命令字符串，应答字符串方式 来实现，通常是一条命令对应一条应答消息，这种方式也不能完全反映出被调 用方的#1行过程细节。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题在于提供一种可实时跟踪传输系统执行细节的服务 器架构和信息交换方法。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种新的用于传输系统的服务器架构。所述传输系统包括上位的主控计算机以及连接数个石更件i殳备的传输计算机，所 述服务器架构用于传输计算机上，所述服务器架构包括服务器类、通讯类、数 个设备状态类以及直接与硬件设备交互的数个设备驱动类，其中服务器类通过 通讯类与主控计算机交互消息，服务器将接收的消息下发给设备状态类，设备 状态类通过对应的设备驱动类间接控制硬件设备的执行，且将硬件设备的最新 状态通过反馈给服务器类来上传至主控计算机。服务器类与主控计算机交互消息包括服务器类接收主控计算机的下发命 令、对每一下发命令的层次状应答消息以及硬件设备自发产生的告示信息。为解决上述技术问题，本专利技术还提供了一种用于传输系统的信息交换方法。该信息交互控制方法包括如下步骤a.设备状态类在设备驱动类中注册所有与 其相关的事件；b.在设备驱动类中定义事件，声明执行函数；c.设备驱动类 处于新状态时触发相应的事件，事件发生触发所有注册过该事件的设备状态类 的更新行为，获取硬件设备的当前状态，使设备状态类和设备驱动类的状态保 持一致；d.设备状态类将硬件设备当前状态通过服务器类、通讯类反馈给主控 计算机。与现有技术相比，承专利技术提供的服务器架构通过将针对每一硬件设备设置 设备状态类和设备驱动类，实现了硬件设备之间的模块化，提高了传输系统的 维护性和扩展性；服务器架构设有与主控计算机交互的通讯类，两者之间交互 釆用的是层次状的消息结构，实现了对硬件设备状态的实时跟踪；采用本专利技术 提供的信息交换方法，允许独立改变设备驱动类和设备状态类，也可以不改动 设备驱动类和其他设备状态类的前提下增加新的状态类。附图说明图1传输系统的物理结构示意图；图2传输系统的通讯结构示意图；图3传输计算机上服务器架构的结构示意图；图4设备驱动类和设备状态类的静态结构图；图5设备驱动类和设备状态类信息交互顺序图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术用于硅片传输系统服务器架构以及信息交换方法的 较佳实施例进行描述，以期进一步理解本专利技术的目的、具体结构特征和优点。图1是一种硅片传输系统的物理结构图，图中显示了该传输系统具有若干个执行部件(设备)，其包括三个独立的用于存放硅片的版库1、 2、 3 (以下分 别称为1号版库、2号版库、3号版库)、 一个直线导轨5， 一个多轴机械手4以 及数个传感器(如真空传感器、扫描传感器、接近开关等等，未图示)。所述机 械手4一共有五个工作位置。版库被抬升之后，机械手4在直线导轨5上滑行， 可以从任何一个版库的任何一个槽位取或者放硅片。图2是所述硅片传输系统的通讯结构图。参阅图2并结合图1,该传输系统 包括主控计算机6、传输计算机7以及若干控制执行部件的设备。大部分设备如 控制机械手的机械手控制器、真空传感器、直线导轨5以及与版库对应的三个 硅片盒管理a、 b、 c是通过以太网或者RS232 COM2-5串口与传输计算机7进 行通讯的，还有一部分部件如数字I/O是通过传输计算机7的扩展槽进行连接控 制的。传输计算机7整合这些设备、部件(以下统称"硬件设备")通过集线器 或者交换器、以太网等与上位的主控计算机6实现通信。主控计算机6和传输 计算机7采用的是双向交互通讯，即传输计算机7不但能接受主控计算机6下 发命令，做出被动应答，还应当具有主动上发消息功能，告知主控计算机6传 输系统硬件设备的最新变化。主控计算机6下发的一条命令比如机械手初始化 命令对应机械手4 一系列复杂动作，而每一个动作的完成只是整个命令序列的 一个步骤。整个初始化过程可以划分成数层次(节点)，每个层次(节点)包含 一系列动作(参阅下附表2)。数个初始化层次(节点)的完成构成一个完整的 初始化过程。主控计算机6在下发传输系统初始化指令后，需要实时感知传输 系统具体初始化过程的每一步骤的进展，判断初始化进程进展到那一个层次， 相关层次中的那一步，这是一个动态实时的跟踪过程。当命令下发失败，初始 化不能继续下去的时候，主控计算机6能在第一时间，根据传输计算机7连续 不断上传的反馈消息做出正确的判断。要达到这一要求，需要设计一套形式有 效的消息机制来反应主控计算机6和传输计算机7之间的信息交互。为了实现主控计算机6与传输计算机7之间实时双向通讯，本专利技术提出了一种层次状的消息结构，表l为该消息结构^t板。表l 消息结构模板事件<事件—XX参数="参数值"> <厂事件—XX参数="参数值">内容(状态码) <状态—XX="状态码'7〉 内容(状态和属性码)<状态—XX="状态码" 属性—XX ="属性码'7>内容(属性码) <属性—XX="属性码"/>错误<错误—XX =="错误码'7>该消息结构模板具有如下特征1. 针对每一条命令(每一项)，消息结构模板分成三个部分事件的开始、结束以及内容，2. 事件位于应答消息的最外层，表示主控计算机下发命令后事件的开始和事件的结束。3. 事件应答消息字符串位于尖括号内，以"事件一XX，，开头，"事件"标识本 消息的性质，其后的"XX"为具体产生事件的所有者，对应硬件设备；"参数="参 数值""是具体事件的特征说明。4. 事件的开始与结東分别通过反馈消息的"<"和"</，，来区别。5. 内容消息包舍于事件消息之内部。6. 内容消息位于尖括号内，内容结束由"/>"结尾。7. 内容的第一种组成形式是"状态—XX二"状态码""，其中"状态"表示本内容 消息的性质，其后的"XX"为产生内容消息的所有者，"状态码"是具体状态特征说明。8. 内容的第二种组成形式是"属性—XX二"属性码""，其中"属性"表示本内容 消息的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于硅片传输系统的服务器架构，所述传输系统包括上位的主控计算机以及连接数个硬件设备的传输计算机，所述服务器架构用于传输计算机上，其特征在于，所述服务器架构包括服务器类、通讯类、数个设备状态类以及直接与硬件设备交互的数个设备驱动类，其中服务器类通过通讯类与主控计算机交互消息，服务器将接收的消息下发给设备状态类，设备状态类通过对应的设备驱动类间接控制硬件设备的执行，且将硬件设备的最新状态通过反馈给服务器类以上传至主控计算机。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海峰，王文刚，李若庆，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]