手动用隔膜阀制造技术

本发明专利技术在于，提供一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够设定阀体的开闭范围，不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，还能够任意地调整全开时的流量。阀本体1具备装配于主体10内部的阀体12和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于主体10并使阀体12与阀座14接触分离的主轴13，在阀本体1的上方，安装有对主轴13手动地进行旋转操作的手柄2，在阀本体1的上部附近，具备全开位置调整机构20，全开位置调整机构20限制手柄2的开阀操作侧的全开时的转动，设定阀体12的全开时的流量的上限。限。限。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】手动用隔膜阀


[0001]本专利技术涉及例如在半导体制造装置中使用、通过手柄等的手动操作来将流路开闭的手动用隔膜阀，特别地涉及能够高精度地调整全开时的流量的手动用隔膜阀。

技术介绍

[0002]这种手动用隔膜阀通常作为半导体制造用气体供给系统的主阀使用，通过设置于阀杆(操作杆)的上部的手动手柄的操作来使阀杆进行升降运动，流路成为全开或全闭状态。通常，在设置有该手动用隔膜阀的流路的二次侧，分支流路以并列状分支而设置，以在各分支流路流动相同流量的方式设置。在各分支流路，连接有能够自动操作的自动隔膜阀，通常通过各自动隔膜阀来分别调整从这些阀向二次侧的流量。
[0003]因此，在将手动用隔膜阀作为主阀使用时，为了利用二次侧的各隔膜来高精度地进行流量控制，要求正确地设定作为其一次侧的手动用隔膜阀的全开时的流量。
[0004]作为作主阀使用的手动用隔膜阀，例如，本申请人申请专利文献1的阀。该隔膜阀在阀轴的上部安装有手动用手柄本体，使该手柄本体以大致90
°
的旋转角度转动，从而通过阀轴来使阀体(隔膜)进行动作，对流路进行开闭操作。在此情况下，一般已知能够通过限定手柄本体的转动范围来设定阀体的开闭范围，作为这样的手柄的旋转限定构造，使联接销突出而安装于手柄的底面，另一方面，有时在阀本体的上表面以大致90
°
的角度形成联接销槽，通过使联接销引导至联接销槽，设定手柄本体的旋转区域。由此，维持紧凑性并同时通过利用凹凸部分(联接销、联接销槽)的卡合的简易构造来限定阀体的开闭动作，而能够设定全开时的流量。
[0005]在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第6580377号公报。

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题然而，构成隔膜阀的各零件在制造时产生尺寸差，因而难以使组装后的阀内部的尺寸完全一致，例如，产生隔膜的微小的形变或形状偏差、或通过铆接等将阀座固定于主体时的阀座的形状或高度的偏差等。这些阀的内部形状的个体差异大大地影响到阀全开时的开度，例如，在针对前述的专利文献1的手动用隔膜阀设置利用凹凸部分(联接销、联接销槽)的卡合的旋转限定构造且欲通过该旋转限定构造来将手柄的旋转角度限定为90
°
时，在其旋转角度产生误差，在每个阀全开时的流量有可能产生个体差异。
[0007]其结果是，存在在连接至二次侧的自动隔膜阀以后的半导体制造过程结果显出差异的可能性，因而为了使制造过程均一化，有时也需要对二次侧的所有自动隔膜阀个别地进行流量调整。
[0008]这样，在通过凹凸状卡合部等来以不能调整手柄本体的旋转角度的方式限定手柄
侧和阀本体侧的情况下，难以抑制阀的个体差异所导致的Cv值的差异，另外，在对二次侧的自动隔膜阀分别进行流量调整的情况下，还存在花费大量人工这一问题。
[0009]进而，半导体制造用阀通常在200℃或其以上的高温区域中使用，如果像这样成为高温，则手动用隔膜阀的隔膜或阀座也因热而膨胀/变形，因而偏差变得更复杂，Cv值受到更大的影响，作为一次侧的阀，有时也不能确保开阀时的恰当的流量。
[0010]出于这些理由，强烈地期望开发一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀具备如下的功能：不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，能够任意地调整全开时的流量。
[0011]本专利技术是为了解决现有的课题而开发的，其目的在于，提供一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够设定阀体的开闭范围，不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，还能够任意地调整全开时的流量。
[0012]用于解决课题的方案为了达成上述目的，技术方案1所涉及的专利技术是如下的手动用隔膜阀：阀本体具备由装配于主体内部的隔膜组成的阀体和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于主体并使阀体与装配于主体内部的阀座接触分离的主轴，在阀本体的上方，安装有对主轴手动地进行旋转操作的手柄，在阀本体的上部附近，具备全开位置调整机构，全开位置调整机构限制手柄的开阀操作侧的全开时的转动，设定阀体的全开时的流量的上限。
[0013]技术方案2所涉及的专利技术是如下的手动用隔膜阀：手柄的底面和阀本体的上表面侧以对置状态装配，设置于手柄底面或阀本体上表面侧的任一个的销卡合于形成于另一侧的大致圆弧状的槽部，设定手柄开闭时的旋转区域的一部分，并且，在槽部的开阀操作侧，设置有全开位置调整机构，该全开位置调整机构具备调整部件，调整部件以能够沿销的移动方向进退的状态形成有该销所抵接的抵接部。
[0014]技术方案3所涉及的专利技术是如下的手动用隔膜阀：分别是，销设置于手柄底面，槽部设置于阀本体的上表面，调整部件是具备阳螺纹的止动螺钉，阳螺纹以能够进退的方式螺纹接合于阴螺纹，该阴螺纹设置于从槽部与阀本体的侧面连通的连通孔，该止动螺钉的螺纹旋入侧端面成为抵接部。
[0015]技术方案4所涉及的专利技术是在连通孔装配有具备阴螺纹的嵌入螺母的手动用隔膜阀。
[0016]技术方案5所涉及的专利技术是在阴螺纹与阳螺纹之间涂敷有粘接剂的手动用隔膜阀。
[0017]技术方案6所涉及的专利技术是如下的手动用隔膜阀：分别是，销设置于手柄底面，槽部设置于阀本体的上表面，调整部件具备圆筒部和形成于该圆筒部的外周侧的突出片，在比槽部更靠内径侧，形成有一部分与该槽部的开阀操作侧连通的圆周槽，调整部件的圆筒部以能够以其旋转轴为中心旋转的状态固接于该圆周槽，将突出片的向销的对置侧作为抵接部。
[0018]技术方案7所涉及的专利技术是如下的手动用隔膜阀：手柄的从闭阀状态直至开阀状态的旋转角度是大致90
°
或大于0
°
且小于360
°
的任意角度。
[0019]专利技术的效果
依据技术方案1所涉及的专利技术，在阀本体的上部附近设置全开位置调整机构，从而通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够高精度地设定阀体的全开位置，即使在组装后的阀的内部形状产生尺寸差等个体差异的情况下，也能够通过全开位置调整机构来限制手柄的开阀操作侧的全开时的转动而调整全开时的流量，不受到阀的内部形状的个体差异的影响地设定全开时的流量的上限。进而，还能够提供一种隔膜阀，该隔膜阀通过全开位置调整机构来任意地高精度地调整全开时的流量，得到期望的Cv值的特性。
[0020]依据技术方案2所涉及的专利技术，能够以简易构造限定阀体的开闭动作，通过使调整部件的抵接部沿销的移动方向进退，能够简便地扩大或缩小手柄的开阀操作侧的旋转而调整成期望的手柄的旋转角度的范围，在手柄全开时，销抵接于抵接部，可靠且高精度地设定其旋转位置的上限，从而在全开时能够确保正确流量。
[0021]依据技术方案3所涉及的专利技术，通过分别将销设置于手柄底面且将槽部设置于阀本体的上表面，从而抑制整体的高度的增长，不会由于配置销或止动螺钉的区域而整体大型化，将这些配置于阀本体的上部而能够维持紧凑性。能够将止动螺钉从阀本体的侧面简单地插入，通过阳螺纹与阴螺纹的螺纹接合使该止动螺钉进退本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种手动用隔膜阀，其特征在于，阀本体具备由装配于主体内部的隔膜组成的阀体和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于所述主体并使所述阀体与装配于所述主体内部的阀座接触分离的主轴，在所述阀本体的上方，安装有对所述主轴手动地进行旋转操作的手柄，在所述阀本体的上部附近，具备全开位置调整机构，所述全开位置调整机构限制所述手柄的开阀操作侧的全开时的转动，设定所述阀体的全开时的流量的上限。2.根据权利要求1所述的手动用隔膜阀，其中，所述手柄的底面和所述阀本体的上表面侧以对置状态装配，设置于所述手柄底面或阀本体上表面侧的任一个的销卡合于形成于另一侧的大致圆弧状的槽部，设定所述手柄开闭时的旋转区域的一部分，并且，在所述槽部的开阀操作侧，设置有所述全开位置调整机构，该全开位置调整机构具备调整部件，所述调整部件以能够沿所述销的移动方向进退的状态形成有该销所抵接的抵接部。3.根据权利要求2所述的手动用隔膜阀，其中，分别是，所述销设置于所述手柄底面，所述槽部设置于所述阀本体的上表面，所述调整部件是具备阳螺纹的止动螺钉，所述阳螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭塚久修，
申请(专利权)人：株式会社开滋SCT，
类型：发明
国别省市：